Vakuum plasma værtsenhed (60) | ||||
Udstyrsstørrelse | L 950×B 900×H 1650mm | |||
vægt | 350Kg | |||
Efterspørg strømforsyning | AC380V, 50 / 60Hz, 5 linjer, 16A (total åben type over C) | |||
Specifikation for plasmagenerator | ||||
magt | radiofrekvens | mellemliggende frekvens | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
forsyningsfrekvens | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Vakuumsystem | ||||
vakuumpumpe | Totrins rotationspumpe (oliepumpe): 40m3/t | |||
vakuum rørledning | Helt rustfrit stål linje, samt højstyrke vakuumbælge | |||
materialekvalitet | Aluminiumslegering (tilpasset hulrum i rustfrit stål) | |||
tykkelse | 25mm | |||
stramhed | Svejseforsegling af militær kvalitet | |||
Indvendige dimensioner af hulrummet | 375*375*430mm (Bredde* høj * dybde) | |||
Elektrisk plade effektiv størrelse | 247*281 mm (bred* dybde) | |||
Ledig pladsafstand | 22mm | |||
Elektroplade arrangement | Vandret layout, kan være aktiv udvinding | |||
bakker | Standard sæt, materiale valgfrit (aluminium, ståltrådsnet) | |||
arbejdsplads | 6 lag | |||
procesgas | ||||
Flow rækkevidde | 0~300SCCM | |||
Procesgasgasrute | Standard med to måder, kan tilpasses. Procesgasrørledningen er lavet af ferroflon | |||
navigere | ||||
SC | PLC | |||
interaktiv tilstand | 7-tommer berøringsskærm |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes