MDHS-AL8 8" Fuldautomatisk enkeltsidet litografimaskine , Kina MDHS-AL8 8" Fuldautomatisk enkeltsidet litografimaskine Producenter, leverandører, fabrik

Produkt beskrivelse

MDHS-AL8 8" Fuldautomatisk enkeltsidet litografimaskine

1. Arbejdstilstand: Indlæsningsrobotten indlæser automatisk wafers fra AB (genanvendelige) waferboks til præpositioneringen

arbejdsbænk, og gennem justering af kamerapositioneringswaferen og automatisk rotationssystem opnås forpositioneringen af waferen; Indlæsningsrobotten indlæser derefter de forudplacerede wafere på justeringsarbejdsbordet. Gennem computerbilledgenkendelse og automatisk justering af justeringssystem kan den automatiske justering af grafikken på masken og waferne opnås. Det er også muligt at fuldføre én eksponering uden at justere grafikken. Efter automatisk eksponering af overeksponeringssystemet placerer aflæsningsrobotten automatisk waferne i CD-waferboksen (genanvendelig).
2. Eksponeringsområde: 160 × 160 mm;
3. Ujævn eksponeringsbelysning: ≤ 3%;
4. Eksponeringsintensitet: 0~≥ 40mw/cm2 justerbar (strålevinkel 2°);
5. UV-strålevinkel: ≤ 3 °;
6. Centerbølgelængde af ultraviolet lys: 365nm;
7. UV-lyskildens levetid: ≥ 20000 timer;
8. Separationskapacitet: 0~≥ 1000um justerbar;
9. Justeringsnøjagtighed: ≤ ± 1.5 μM;
10. Eksponeringsnøjagtighed: Kontakteksponering ± 1 μm. Nær eksponeringsadskillelse på 20 μ M strålevinkel 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Eksponeringsmetoder: hård kontakt, blød kontakt og nærhedseksponering;
12. Eksponeringstilstand: Du kan vælge mellem engangseksponering eller forskudt eksponering
13. Forpositionsbilledgenkendelse og automatisk rotationssystem (inklusive forpositioneringsarbejdsbord): rotationsvinkel Q ≥ ± 180 °, rotationsnøjagtighed Q ≤ 0.01 °;
14. Billedgenkendelse og automatisk justeringssystem (inklusive UVW justering arbejdsbord): justeringsområde XY ≥ ± 5 mm, rotationsvinkel Q ≥ ± 3 °, og to linser i mikroskopet styres af to XYZ elektriske platforme.
15. Maskestørrelse: 5 " × 5" og 7 " × 7 ";
16. Wafer størrelse: 4 "og 6";
17. Øvre og nedre filmboksarbejdsstationer: dobbelte arbejdsstationer;
18. Fodpude airbag
19. Indlæsning og aflæsning af dobbeltarms robotarm: Z ≥ 350 mm, R135 mm;
20. Antal wafers i waferboksen: bestemmes ud fra antallet af wafers i kundens waferboks;
21. Positioneringsbordløftning: Z ≥ ± 25 mm;
22. Eksponeringstid: justerbar fra 0 til 999.9 sekunder;
23. Produktionsrytme:>120 stykker i timen;
24. Strømforsyning: enfaset AC220V 50Hz, strømforbrug ≤ 3KW;
25. Ren lufttryk: ≥ 0.4 MPa;
26. Vakuumgrad: -0.07MPa~-0.09MPa;
27. Størrelse: 1400 * 1000 * 2100 mm;
28. Vægt: Cirka 400 kg

Denne maskine består af et LED ultraviolet eksponeringshoved, et billedgenkendelse og automatisk rotationssystem, et forudplaceret arbejdsbord og et billedgenkendelses- og automatiske justeringssystemer, justeringsarbejdsborde, læsserobotter, aflæsningsrobotter, stativer og elektrisk styring bestående af udstyr , ekstra tilbehør mv.

Specification

1. Eksponeringshoved: Et LED ultraviolet eksponeringshoved (365nm);
2. Billedgenkendelse og præjustering arbejdsbord:
1) 1 kamera (1.3 millioner pixels)
2) Midterpositionsfikstur
3) 1 sæt roterende platform (ved hjælp af servomotor)
4) 1 sæt positioneringssystem
3. Billedgenkendelse og automatisk justeringssystem:
1) 2 kameraer (5 millioner pixel høj billedhastighed)
2) 2 linser (4x high-definition linse)
3) Én industricomputer
4) En controller (styret af PLC)
5) Et sæt justeringsplatform (ved hjælp af 5-faset stepmotor)
6) Et sæt af sports-system
7) Toppladeanordningen anvender en motor til løft og sænkning
7) Softwaren anvender den seneste version af LabVIEW Professional Edition
4. Lastning og aflæsning af mekanisk arm:
1) X Y. Et sæt Z automatisk bevægelsesmekanisme
2) Dobbeltarms robotarm (læsse- og aflæsningsarme)
5. Vaffelboksfastgørelsesmekanisme:
1) AB er den faste placering af foderfilmkassen
2) CD er den faste placering af skærefilmboksen
3) G er den faste placering af NG-positionsfilmboksen
6. Kamera fast platform:
7. To sæt YZ elektriske justeringsmekanismer (styret af servomotorer)
8. Stativ og elektrisk kontrolkonsol:
1) 1 industricomputer
2) Et sæt PLC;
3) Et sæt magnetventiler og kontrolsystem
4) Et sæt digitale pneumatiske instrumenter
5) Et sæt kontrolkonsol
8. Reservedele:
1) Luftrør: 15 meter
2) 2 magnetventiler
3) Vakuumpumpe: 1 enhed
9. Tekniske data:
1) En brugervejledning
2) Ét overensstemmelsesattest
10. Yderligere
Udstyrssoftwaren skal være udstyret med SECS-kommunikationsprotokol, og køberen leverer et dynamisk bibliotek med funktionen til at docke med køberens MES-system, automatisk registrere produktbatchnummer, jobnummer og driftsstatus og uploade dem. Samtidig har den den funktion at identificere maskepladens QR-kode, sammenligne den med MES-systemets maskeplade QR-kode og forhindre, at den forkerte maskeplade tages.

Pakning og levering