MDHS-AL8 8" fuldt automatiske enkelt-sideret tryksystem , China MDHS-AL8 8" fuldt automatiske enkelt-sideret tryksystem Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

MDHS-AL8 8" fuldt automatiske enkelt-sideret tryksystem

1. Arbejdsform: Indlæsningsroboten indlæser pladerne automatisk fra A-B (genbrugelige) pladearkiver til den forudgående positioneringsarbejdsbænk

arbejdsbord, og gennem justeringen af kameraets placering af skive og automatiske rotationsystem opnås forudgående positionering af skiven; Indlæsningsroboten indlæser derefter de forudpositionerede skiver på justeringsarbejdsbordet. Gennem computerbilledgenkendelse og justering af automatiske justeringsanlæg kan der opnås automatisk justering af grafikken på masken og skiverne. Det er også muligt at udføre en ekspozur uden at justere grafikken. Efter automatisk ekspozur af overekspozursystemet placerer udlastningsroboten skiverne automatisk i C-D (genbrugsbar) skiveboks.
2. Ekspozueringsområde: 160 × 160mm;
3. Ujævnt ekspozueringslysstyrke: ≤ 3%;
4. Ekspozueringsintensitet: 0~≥ 40mw/cm2 justerbar (strålevidde 2 °);
5. UV strålevidde: ≤ 3 °;
6. Centerbølgelængde for ultraviolette lys: 365nm;
7. UV lyskilde levetid: ≥ 20000 timer;
8. Separationskapacitet: 0~≥ 1000um justerbar;
9. Justeringsnøjagtighed: ≤ ± 1.5 μ M;
10. Ekspositionsnøjagtighed: Kontaktekspozition ± 1 μ m. Nær ekspozition adskillelse af 20 μ M strålevidde 2 ° ≤ ± 2 μ M
11. Ekspositionsmetoder: hård kontakt, blød kontakt og nær eksposition;
12. Ekspositions Tilstand: Du kan vælge mellem en gang eksposition eller offset eksposition
13. Forudgående positionering billedgenkendelse og automatiseret rotations system (inklusiv forudgående positioneringsarbejdsbord): rotationsvinkel Q ≥ ± 180 °, rotationsnøjagtighed Q ≤ 0.01 °;
14. Billedgenkendelse og automatiseret justerings system (inklusiv UVW justerings arbejdsbord): justeringsomfang X Y ≥ ± 5mm, rotationsvinkel Q ≥ ± 3 °, og de to linser af mikroskopet styres af to XYZ elektriske platforme.
15. Maskestørrelse: 5 "× 5" og 7" × 7 ";
16. Waferstørrelse: 4 "og 6";
17. Øverste og nederste film boks arbejdsstationer: dobbelt arbejdsstationer;
18. Fodpolster luftpung
19. Indlæsning og aflæsning dobbelt arm robotarm: Z ≥ 350mm, R135mm;
20. Antal plader i pladeboksen: bestemt ud fra antallet af plader i kundens pladeboks;
21. Positioneringstabel op- og nedhæving: Z ≥ ± 25mm;
22. Ekspositions timing: justerbar fra 0 til 999,9 sekunder;
23. Produktionsrytme: >120 stykker pr. time;
24. Strømforsyning: enkeltfase AC220V 50Hz, strømforbrug ≤ 3KW;
25. Ren luft tryk: ≥ 0,4MPa;
26. Vakuumgrad: -0,07MPa~-0,09MPa;
27. Størrelse: 1400 * 1000 * 2100mm;
28. Vægt: Ca. 400kg

MDHS-AL8 8" Fully automatic single-sided lithography machine supplier

Denne maskine består af en LED ultraviolett ekspositions hoved, et billedgenkendelses- og automatiseret rotations system, en forud positioneret arbejdsbænk samt et billedgenkendelses- og automatiseret justerings system, justeringsarbejdsbænke, indlæsningsrobotter, aflæsningsrobotter, rækker og elektrisk kontrol udstyr bestående af udstyr, reserveaccessoarer mv.

Specifikation

1. Ekspositions hoved: Et LED ultraviolett ekspositions hoved (365nm);
2. Billedgenkendelse og forudjusteringsarbejdsbord:
1) 1 kamera (1,3 millioner piksler)
2) Centeringsfiksering
3) 1 sæt rotationsplatform (med servomotor)
4) 1 sæt positionsystem
3. Billedgenkendelse og automatiske justeringssystem:
1) 2 kamere (5 millioner piksler høj ramferate)
2) 2 linser (4x højdefinitionslinse)
3) En industricomputer
4) En kontrolleur (styrkes af PLC)
5) Et sæt af justeringsplatform (bruger 5-fases trinmotor)
6) Et sæt af motionsystem
7) Toppladenhed anvender en motor til at løfte og senke
7) Software anvender den nyeste version af LabVIEW Professional Edition
4. Indlæsnings- og udlastningsmekanisk arm:
1) X Y. Et Z automatisk bevægelsesmekanisme
2) Toarmet robotarm (indlæsnings- og udlastningsarme)
5. Waferboksfixeringsmekanisme:
1) AB er fast positionering af fødekassen
2) CD er den faste placering af skæringsskærmboksen
3) G er den faste placering af NG-positionsskærmboksen
6. Kamerafast platform:
7. To sæt Y.Z elektriske justeringsmekanismer (styrede af servomotorer)
8. Rack og elektrisk kontrolkonsol:
1) 1 industrielt computer
2) Et sæt PLC;
3) Et sæt elektromagnetklapper og kontrolsystem
4) Et sæt digitale pneumatisk instrumenter
5) Et sæt kontrolkonsol
8. Ersatzteile:
1) Tracheal: 15 meter
2) 2 solenoidventiler
3) Vakuumpumpe: 1 enhed
9. Tekniske data:
1) En brugermanual
2) Et CE-godkendelsescertifikat
10. Yderligere
Udstyrets software skal være udstyret med SECS-kommunikationsprotokol, og kunden leverer en dynamisk bibliotek med funktionen for at forbinde med kundens MES-system, automatisk registrering af produktbatchesnummer, jobnummer og driftsstatus og upload af disse. Samtidig har det funktionen til at identificere maskespole QR-koden, sammenligne den med MES-systemets maskespole QR-kode og forhindre forkerte maskespole fra at blive taget.

Pakning & Levering