Denne udstyr er en præcisionslithografimaskine, som vores virksomhed har udviklet specifikt til brugen af lithografimaskiner i forskellige universiteter og forskningsinstitutioner. Den bruges hovedsageligt til udvikling og produktion af små og mellemstore integrerede kredse, halvlederkomponenter, optoelektroniske enheder og overfladeakustiske bølgeenheder. Under forudsætning af at opretholde de oprindelige hovedtekniske indikatorer for udstyret har vi optimiseret nogle strukturer og komponenter på udstyret, reduceret nogle unødvendige mekaniske handlinger og sikret, at fejlpointene for udstyret er minimeret så meget som muligt, og at driften af udstyret også er meget stabil og pålidelig.
Specifikation
Vigtigste tekniske parametre
1. Ekspositions type: enkeltside. 2. Ekspositionsareal: 110×110mm. 3. Ujævne ekspositionslys: ≤±3%. 4. Ekspositionsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar. 5. UV-stråle vinkel: ≤3°. 6. Centralt ultraviolett bølgelængde: 365nm. 7. UV lyskilde levetid: ≥500 timer. 8. Anvendelse af elektronisk sludder. 9. Ekspositionsoppløsning: 1 μm; 10.Mikroskopisk scanning område: X: ±15mm Y: ±15mm; 11.Justeringsområde: X,Y justering ±4mm; Q-retning justering ±3°; 12.Graveringsnøjagtighed: 1 μ Nøjagtigheden af brugerens "version" og "chip" skal overholde nationale bestemmelser, og miljøet, temperatur, fugtighed og støv kan stramt kontrolleres. Importeret positiv fotoresist bruges, og tykkelsen af den ensartede fotoresist kan stramt kontrolleres. Desuden er de forudgående og efterfølgende processer avancerede; 13.Separationsmængde: 0~50 μm justerbar; 14.Ekspositionsmetode: tæt eksposition, hvilket kan opnå hård kontakt, blød kontakt og mikrokræft kontakt eksposition; 15.Firkantfindingsformel: luft
Pakning & Levering
Virksomhedsprofil
Vi har 16 års erfaring inden for udstyrsforhandler. Vi kan tilbyde en omfattende løsning på professionel niveau for Semiconductor Front-end og Back end Package-linjeudstyr fra Kina.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
