Dette udstyr bruges hovedsageligt til udvikling og produktion af små og mellemstore integrerede kredsløb, halvlederkomponenter og overfladeakustiske bølgeenheder. På grund af den avancerede nivelleringsmekanisme og lave nivelleringskraft er denne maskine ikke kun velegnet til eksponering af forskellige typer substrater, men også til eksponering af let fragmenterede substrater såsom kaliumarsenid og fosfatstål, samt eksponering af ikke cirkulære og små underlag.