MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner , China MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Denne udstyr bruges hovedsageligt til udvikling og produktion af små og mellemstore integrerede kredsløb, semiconductorkomponenter og overfladeakustiske bølgeenheder. På grund af den avancerede niveaueringsmekanisme og den lave niveaueringskraft er denne maskine ikke kun egnet til eksponering af forskellige typer substrater, men også til eksponering af let fragmenterede substrater såsom kaliumarsenid og fosfatstål, samt eksponering af ikke-cirkulære og små substrater.

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner manufacture

Specifikation

Vigtigste tekniske parametre

1. Ekspositions type: enkelt side eksponering
2. Ekspositionsområde: 110X110mm;
3. Ekspositionsensartethed: ≥ 97%;
4. Ekspositionsintensitet: 0-30mw/cm2 justerbar;
5. UV stråle vinkel: ≤ 3 °
6. Centrale bølgelængde for ultraviolette lys: 365nm;
7. UV lyskilde levetid: ≥ 20000 timer;(2 års garanti)
8. Anvendelse af elektronisk sludder;
9. Ekspositionsoppløsning: 1 μ M
10. Kamera synsfelt: ± 15mm Y: ± 15mm
11. Justeringsområde: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q: ±3°.
12. Justeringsnøjagtighed: 1um (under gode miljøforhold).
13. Afbrydningsafstandsområde: 0-50um justerbar.
14. Ekspositionsmetode: kontakteksposition.(hård/sød/mikrotouch)
15. Balancemetode: Luftflotering.
16. Mikroskopsystem: dual synsfelt CCD-system, objektivlinse 1.6X~10X, computerbilledbehandlingsystem, 19 "LCD-skærm; Total forstørrelse 91-570x. afstand til objektiv: 50-120mm.
17. Maskestørrelse: 127*127mm;102*102mm
18. Substratstørrelse: Φ102mm;Φ76mm
19. Substratdybde: ≤1mm
20. Ekspositionstid: 0-999.9 sekunder justerbar.
21.Strøm: 220V 50Hz 1.5kw.
22.luftkilde? 0.4Mpa
23. Vacuumindeks: -0.07MPa~-0.09Mpa

Pakning & Levering

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner details

MDXN-25D4 High Precision Mask Aligner factory

Virksomhedsprofil

Vi har 16 års erfaring inden for udstyrsforhandler. Vi kan tilbyde en omfattende løsning på professionel niveau for Semiconductor Front-end og Back end Package-linjeudstyr fra Kina.