MDXN-25X højpræcisions enkeltside litografimaskine , Kina MDXN-25X højpræcision enkeltside litografimaskine fabrikanter, leverandører, fabrik

Produkt beskrivelse

Dette udstyr er en præcisionslitografimaskine udviklet af vores virksomhed specifikt til brugskarakteristika for litografimaskiner i forskellige gymnasier og forskningsinstitutioner. Det bruges hovedsageligt til udvikling og produktion af små og mellemstore integrerede kredsløb, halvlederkomponenter, optoelektroniske enheder og overfladeakustiske bølgeenheder.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine fabrik

Specification

Vigtigste tekniske parametre

1. Enheden kan vakuumadsorbere en 5 "X5" firkantet maske uden særlige krav til pladens tykkelse (fra 1 til 3 mm).
2. Enheden kan påføres på ф 100 mm cirkulært underlag;
3. Substrattykkelse ≤ 5 mm;
4. Belysning:
Lyskilde: GCQ350Z ultrahøjtryks kviksølv jævnstrøm kviksølvlampe anvendes.
Lysområde: ≤ ф 117 mm Eksponeringsområde: ф 100 mm
ophold ф Inden for et område på 100 mm er eksponeringens ujævnhed ≤ ± 3 %, og eksponeringsintensiteten er>6mw/cm2 (denne indikator måles ved hjælp af en UV-lyskilde I-line 365nm).
5. Denne enhed anvender et importeret tidsrelæ til at styre den pneumatiske lukker, hvilket sikrer nøjagtig og pålidelig drift.
6. Denne maskine er en kontakteksponeringsmaskine, der kan opnå:
7. Hård kontakteksponering: Brug rørledningsvakuum for at opnå højvakuumkontakt, vakuum ≤ -0.05 MPa
8. Blød kontakteksponering: Kontakttrykket kan hæve vakuumet til mellem -0.02 MPa og -0.05 MPa.
9. Mikrokontakteksponering: mindre end blød kontakt, vakuum ≥ -0.02MPa.
10. Eksponeringsopløsning: Opløsningen af hård kontakt eksponering af denne enhed kan nå 1 μ over m (nøjagtigheden af brugerens "plade" og "chip" skal overholde nationale regler, og miljø, temperatur, fugtighed og støv kan være strengt kontrolleret Importeret positiv fotoresist, og tykkelsen af den ensartede fotoresist kan kontrolleres strengt.
11. Justering: Observationssystemet består af to CCD-kameraer monteret på to enkeltrørsmikroskoper og forbundet til skærmen via et videokabel.

Pakning og levering

Leverandør af MDXN-25X højpræcisions enkeltside litografimaskine

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Maskindetaljer

Firma profil

Vi har 16 års erfaring med salg af udstyr. Vi kan give dig One-stop Semiconductor Front-end og Back end Package Line udstyrs professionel løsning fra Kina.