MDXN-25X Højpræcist Enkeltside Lithografimaskine , China MDXN-25X Højpræcist Enkeltside Lithografimaskine Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Denne udstyr er en præcisions lithografimaskine udviklet af vores virksomhed specifikt til brugen af lithografimaskiner i forskellige universiteter og forskningsinstitutioner. Den anvendes hovedsagelig til udvikling og produktion af små og mellemstore integrerede kredsløb, halvlederkomponenter, optoelektroniske enheder og overflade akustiske bølgeenheder.

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine factory

Specifikation

Vigtigste tekniske parametre

1. Enheden kan opsuge en 5 "X5" kvadratisk maske ved vacuum, uden særlige krav til pladens tykkelse (fra 1 til 3 mm).
2. Enheden kan anvendes på en cirkulær substrat med diameter ф 100mm;
3. Substratykkelse ≤ 5mm;
4. Belysning:
Lyskilde: GCQ350Z ultra-højtryksmerkur direkte strømforsyningsmerkurlamp bruges.
Belysningsområde: ≤ ф 117mm Ekspositionsområde: ф 100mm
inden for et område på ф 100mm, er ekspositionsujævnhed ≤ ± 3%, og ekspositionsintensiteten er >6mw/cm2 (denne indikator måles ved hjælp af en UV-lys kilde I-linje 365nm).
5. Denne enhed anvender en importeret tidsrelay til at kontrollere den pneumatisk skilt, hvilket sikrer nøjagtig og pålidelig drift.
6. Dette maskine er en kontakt ekspositions maskine, der kan opnå:
7. Hård kontakt eksposition: Brug pipeline vacuum til at opnå høj vakuumkontakt, vakuum ≤ -0.05MPa
8. Mærkeblød kontakt eksponering: Den kontaktoptryk kan forhøje vakuumet til mellem -0,02MPa og -0,05MPa.
9. Mikrokontakt eksponering: mindre end blød kontakt, vakuum ≥ -0,02MPa.
10. Ekspositionsopløsning: Opløsningen af hårdkontakt eksponering med denne enhed kan nå 1 μm eller mere (brugerens "plade" og "chip" skal overholde nationale bestemmelser, og miljøet, temperatur, fugtighed og støv kan stramt kontrolleres. Importeret positiv fotoresist bruges, og tykkelsen af den ensartede fotoresist kan stramt kontrolleres. Desuden er de foregående og efterfølgende processer avancerede).
11. Justering: Observationsystemet består af to CCD-kamere monteret på to enkeltrohr mikroskopier og forbundet med skærm via en videoledning.

Pakning & Levering

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine supplier

MDXN-25X High Precision Single Side Lithography Machine details

Virksomhedsprofil

Vi har 16 års erfaring inden for udstyrsforhandler. Vi kan tilbyde en omfattende løsning på professionel niveau for Semiconductor Front-end og Back end Package-linjeudstyr fra Kina.