vare |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Produktstørrelse |
≤6 tommer |
≤8 tommer |
≤8 tommer |
||
RF strømkilde |
0-300W/500W/1000W Justerbart, automatisk matchende |
||||
Molekylpumpe |
-\/620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Tilpasning |
Antiseptisk620(L\/s)\/1300(L\/s)\/Tilpasning |
|||
Forpump |
Maskinpump\/tør pump |
Tør pumpe |
|||
Procestryk |
Ukontrolleret tryk\/0-1Torr kontrolleret tryk |
||||
gas type |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Tilpasning (Op til 9 kanaler, ingen korrosiv og giftig gas) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr(Op til 9 kanaler) |
|||
gasområde |
0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/tilpasset |
||||
LoadLock |
Ja/Nej |
Ja |
|||
Prøve temperaturkontrol |
10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Tilpasset |
-30°C~100°C/Tilpasset |
|||
Bag helium køling |
Ja/Nej |
Ja |
|||
Proceshul linning |
Ja/Nej |
Ja |
|||
Hulvæg temperaturkontrol |
Nej/Rumstemperatur~60/120°C |
Rumstemperatur-60/120°C |
|||
Kontrolsystem |
Auto\/brugerdefineret |
||||
Graveringsmateriale |
Siliciumbaseret: Si\/SiO2\/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiske materialer\/alloysmaterialer Metallisk materiale: Ni\/Cr\/Al\/Au. Organisk materiale: PR\/PMMA\/HDMS\/Organisk film. |
Siliciumbaseret: Si\/SiO2\/SiNx. III-V (note 3): InP\/GaAs\/GaN. IV-IV: SiC II-VI (note 3): CdTe. Magnetiske materialer\/alloysmaterialer Metallisk materiale: Ni/Cr/A1/Au. Organisk materiale: PR/PMMA/HDMS/organisk film. |
Egnede til mikrobølgeredskaber, styringsredskaber mv.
Minder-High-tech Reactive Ion Fræsning (RIE) maskine er en højteknologisk enhed, der kan fræse og analysere forskellige typer materialer med fantastisk præcision. Denne maskine er designet til brug i forskellige industrier, hvor mikrofabrikation eller fræsing er nødvendig regelmæssigt. Den er lavet af høj kvalitet materialer, der gør den varig, pålidelig og i stand til at producere fremragende resultater.
Udstyret med en RF plasma generator er effektiv. RIE systemet bruger en kobling, der er induktiv for at oprette plasma fra det feed benzin. Denne teknik skaber et højtetthedsplasma, der øger fræshastigheden forbundet med produktet. Fræsprocessen på RIE maskinen er effektiv, nøjagtig og højst kontrollerbar, hvilket tillader en bestemt dybde at blive opnået. Denne funktion gør den til en fantastisk valgmulighed for forskning eller industriarbejde.
Maskinen har et bredt anvendelsesområde, herunder mikroelektronik, MEMS-produktion og halvlederproduktion. Denne maskine spiller en vigtig rolle ved fræsing og mikromekanisk bearbejdning af halvledermaterialer såsom silicium, galliumarsenid og germanium inden for halvlederindustrien. Minder-High-tech RIE-enheden er desuden blevet implementeret i MEMS-industrien til produktion af bløde og hårde materialer som polyimid, siliciumdioxid og siliciumnitrid. Desuden er den tilgængelig til fejlanalyse i industrier forbundet med elektroniske produkter og tjenester.
Inkluderer funktioner, som på forskellig vis gør det nemt at bruge. Det er en brugervenligt program, der giver operatøren fuld kontrol over de indstillelsparametre, der bruges i maskinen. Maskinens indstillinger gemmes i dens interne hukommelse, og den kan gemme over 100 sæt af indstillinger. Den har et berøringskært skærm, der tillader operatøren at indstille parametre såsom gasbevægelse, strømstyrke og tryk. Minder-High-tech RIE-maskinen har også en temperaturkontrolfunktion, der sikrer, at materialerne grave på den rigtige temperatur og forhindrer skade på dem.
Perfekt for virksomheder, der har brug for en pålidelig og effektiv maskine, der kan levere nøjagtige og præcise resultater. Dette apparat er designet med top-technology og et meget højt niveau. Dets fleksibilitet og brugervenlige funktioner gør det til en meget god valgmulighed for forskning og industrianvendelser på tværs af forskellige sektorer.
Den har også et effektivt fejlanalyse-system, der gør det muligt for maskinen at opdage og korrigere alle mekaniske problemer så hurtigt som muligt. Dette system sikrer, at RIE-maskinen vedligeholder høj kvalitet og pålidelighed igennem sin levetid. For ethvert erhverv, der kræver præcise og effektive grave- eller mikrofabrikationsprocesser, er Minder-High-tech RIE-maskinen den ideelle løsning.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved