Vare | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Produkt størrelse | ≤6 tommer | ≤8 tommer | ≤8 tommer | ||
RF strømkilde | 0-300W/500W/1000W Justerbar, automatisk matchning | ||||
Molekylær pumpe | -/620(L/s)/1300(L/s)/Brugerdefineret | Antiseptisk 620(L/s)/1300(L/s)/Custom | |||
Forline pumpe | Mekanisk pumpe/tørpumpe | Tør pumpe | |||
Procestryk | Ukontrolleret tryk/0-1Torr kontrolleret tryk | ||||
Gastype | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Brugerdefineret (Op til 9 kanaler, ingen ætsende og giftig gas) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Gas rækkevidde | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Ja Nej | Ja | |||
Eksempel på temperaturkontrol | 10°C~Rumstemperatur/-30°C~100°C/Brugerdefineret | -30°C~100°C / Brugerdefineret | |||
Ryg helium køling | Ja Nej | Ja | |||
Proces hulrum foring | Ja Nej | Ja | |||
Hulmurs temperaturstyring | Nej/Værelsetem~60/120°C | Stuetemperatur-60/120°C | |||
Kontrolsystem | Auto/brugerdefineret | ||||
Ætsningsmateriale | Siliciumbaseret: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Magnetiske materialer/legeringsmaterialer Metallisk materiale: Ni/Cr/Al/Au. Organisk materiale: PR/PMMA/HDMS/Økologisk film. | Siliciumbaseret: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Magnetiske materialer/legeringsmaterialer Metallisk materiale: Ni/Cr/A1/Au. Organisk materiale: PR/PMMA/HDMS /organisk film. |
Velegnet til mikrobølgeovne, strømforsyninger osv.
Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) maskinen er et state-of-the-art stykke teknologi, der kan ætse og analysere forskellige typer materialer med utrolig præcision. Denne maskine er designet til brug i forskellige industrier, hvor mikrofabrikation eller ætsning er påkrævet regelmæssigt. Den er lavet af materialer af høj kvalitet, der gør den holdbar, pålidelig og i stand til at producere fremragende resultater.
Udstyret med en RF plasma generator er effektiv. RIE-systemet bruger en kobling, der er induktiv til at komme op med plasma fra fødebenzin. Denne teknik skaber et plasma med høj densitet, der øger ætsningshastigheden forbundet med produktet. Ætseprocessen af RIE-maskinen er effektiv, nøjagtig og meget kontrollerbar, hvilket giver mulighed for en dybde, der er specifik for at blive opnået. Denne funktion er unik, den er et godt valg til forskning eller industriarbejde.
Maskinen har en bred vifte af, herunder mikroelektronik, MEMS-fremstilling og halvlederfremstilling. Denne maskine spiller en vigtig rolle i ætsning og mikrobearbejdning af halvledermaterialer som silicium, galliumarsenid og germanium i halvlederindustrien. Minder-High-tech RIE-enheden er desuden blevet etableret i MEMS-industrien til fremstilling af bløde materialer og materialer, der er hårde som polyimid, siliciumdioxid og siliciumnitrid. Derudover er den tilgængelig for fejlanalyse i industrier, der er forbundet med tjenester og produkter, der er elektroniske.
Indeholder funktioner, der er forskellige, der gør det nemt at bruge. Det er en brugervenlig software, der giver operatøren fuld kontrol over de ætsningsparametre, der bruges i enheden. Maskinens indstillinger gemmes i dens hukommelse er intern, den kan gemme over 100 sæt indstillinger. En berøringsskærm har operatøren mulighed for at indstille parametre som gasbevægelse, krafttykkelse og tryk. Minder-High-tech RIE maskinen har også en temperaturkontrolfunktion, der sikrer, at materialerne ætses ved den rigtige temperatur og stopper skader på dem.
Perfekt til virksomheder, der kræver en pålidelig og effektiv maskine kan give nøjagtige og præcise resultater. Denne enhed er designet med førsteklasses teknologi, og et niveau er der mange af. Dens alsidighed og brugervenlige funktioner gør det til et valg er meget god forskning og industriapplikationer på tværs af forskellige sektorer.
Den har også et effektivt fejlanalysesystem, der gør det muligt for maskinen at opdage og rette eventuelle mekaniske problemer så hurtigt som muligt. Dette system sikrer, at RIE-maskinen bevarer høj kvalitet og pålidelighed gennem hele sin livscyklus. Til enhver industri, der kræver præcis og effektiv ætsning eller mikrofabrikation, er Minder-High-tech RIE-maskinen den perfekte løsning.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Alle rettigheder forbeholdes