Semi-automatisk RTP Hurtig Termisk Behandling til vafers halvledere SlC LED MEMS , China Semi-automatisk RTP Hurtig Termisk Behandling til vafers halvledere SlC LED MEMS Manufacturers, Suppliers, Factory

Produktbeskrivelse

Hurtig Termisk Behandling

Leverer pålideligt RTP-udstyr til sammensatte halvledere, SlC, LED og MEMS

Funktion

* Infrarød halogenlampebelysning, køling med luftkøling;
* PlD-temperaturstyring for lampeeffekt, hvilket kan nøjagtigt kontrollere temperaturstigning, og sikre god gentagbarhed og temperaturhomogenitet;
* Indgangen for materialet er sat på WAFER-overfladen for at undgå kolde punkter under annealeringsprocessen og sikre god temperaturhomogenitet af produktet;
* Begge atmosfæriske og vakuumbehandlingmetoder kan vælges, med forbehandling og renset af kroppen;
* To sæt af procesgasser er standard og kan udvides til op til 6 sæt af procesgasser;
* Den maksimale størrelse på et målbart enkeltkristallin siliciumprøve er 12 tommer (300x300MM);
* De tre sikkerhedsforanstaltninger med beskyttelse mod åbning ved sikker temperatur, tilladelse til åbning af temperaturregleren og nødstop for udstyrets sikkerhed er fuldt ud implementeret for at sikre instrumentets sikkerhed;

Prøvesedling

Sammenfald af 20. grads kurver

20 kurver for temperaturregulering ved 850 ℃

Sammenfald af 20 gennemsnitstemperaturkurver

Temperaturregulering på 1250 ℃

RTP-temperaturregulering af proces på 1000 ℃

Proces på 960 ℃, reguleres af infrarød pyrometer

LED-procesdata

RTD Wafer er en temperatursensor, der bruger specielle bearbejdningsmetoder til at indlejre temperatursensorer (RTDs) på bestemte placeringer på overfladen af en vafer, hvilket gør det muligt at måle overfladetemperaturen på vafen i realtid.

De faktiske temperaturmålinger på bestemte placeringer på vafren og den generelle temperaturfordeling på vafren kan opnås gennem RTD Vafer; Den kan også bruges til kontinuerlig overvågning af midlertidige temperaturændringer på vafrene under varmebehandlingsprocessen.

Specifikation

Pakning & Levering

Virksomhedsprofil

Vi har 16 års erfaring inden for udstyrsforhandler. Vi kan levere en alt-i-en-løsning for Semiconductor frontend og back end Pakke Linje Udstyr fra Kina!