Semikonduktorindustriens udstyr MDLB-MC200 Photomask renser

Nej.

Projekt

Specifikationer

Bemærkninger

1

Udstyrs oversigt

Enhedsnavn: Photomask Rensner

Udstyrsmodel: MDLB-MC200

Samlet størrelse (ca.): 1300mm (B) * 1000mm (D) * 1950mm (H)

Samlet vægt (ca.): 300KG

Arbejdsbordshøjde: 900 ± 50mm

Substratstørrelsespecificeringer: egnet til 2/4/5/6/8 tommer kvadratmasker

Procesflyd: manuel placering af plade → rensning (borste, rensningsvæske → højtryksvand → megasonisk vand → deioniseret vand → nitrogen-gas tørkning) → manuel fjernelse af plade

Udstyrstype: halvautomatisk, manuel ind- og udladning

2

Udbygning af udstyr

Skal: edelstål, glad, korrosionsbestandig, let at rengøre

Rengøringskammer: PP, glad, korrosionsbestandig, let at rengøre

Rørledning: PU/PFA-matching rørledning bruges

Arbejdelysning: korrosionsbestandigt gul lyslysning

Døråbningsstil: Dobbelt dør med døråbningsalarmfunktion

Touchskærm: 10 tommer fuld farve touch skærm * 1

FFU: Klasse 100

Leak proof bundstøtte: tilgængelig

3

Højpræcisionsservomotor

Mængde: 1

Hastighed: -3000~3000 omd./min

Tom last

Maksimal acceleration af aksehals rotation: 3000 omd./s

Tom last

Hastighedsnøjagtighed: ± 1 omd./min (50 omd./min~3000 omd./min)

Hastighedsoppløsning: 1 omd./min

4

Automatisk svingarm

Mængde: 3

Svingarm hastighed: 1~30 °/s

5

Rengøringsenhed

Rensningsvingarm: 1 kanal af deioniseret vand, 1 kanal af kvægass

Megasonic Arm: 1 Megasonic, 1 Højtryksvand

Børste arm: 1 børst, 1 vand, 1 rengøringsløsning

Rengøringsmetode: automatisk rengøring

Deioniseret vandsugfunktion: tilgængelig

Bagvask (deioniseret vand): 1 vej

Forsyningsmetode: Rengøringsløsning: Membranpumpe

Deioniseret vand: leveres direkte af fabrikken

Trykkrus med væske niveau detektion

6

Børstebørst

Antal: 1 (med selvrensning funktion)

Hastighed: op til 1000 omdrejninger pr. minut, justerbar hastighed

Højde manuelt justerbar

7

Lastebåd

Mængde: 5

Materiale: PPS+stainless steel

Størrelse: Passer til 2/4/5/6/8 tommer kvadratmaskeske

Substratholdningsmetode: Kløenholsmetode

8

Kontrolsystem

Kontrolsystem: Bruger PLC-kontrol

Program: 100 grupper, hvor hver gruppe består af 100 trin med en maksimal enkelttrinstid på 3000.0 sekunder

Oppløsning: 0.1S

Programmet kan gemmes, kaldes op, ændres og slettes

Indstil krypteringsrettigheder: for enhedsoperatører, teknikere, administratorer og producenter henholdsvis

Signalårstype: rød, gul, grøn 3 farver