Semiconductor substrat Wafer fremstilling Udstyr Fuldautomatisk single Chip Wafer Cleaning Machine Wafer Scrubber , Kina Semiconductor substrat Wafer fremstilling Udstyr Fuldautomatisk single Chip Wafer Cleaning Machine Wafer Scrubber Producenter, leverandører, fabrik

Produkt beskrivelse

Fuldautomatisk enkelt-chip wafer rengøringsmaskine Wafer Scrubber

Maskine funktioner

Enkelt hulrum, to hulrum og fire hulrum
Stærk proceskapacitet, i stand til at understøtte applikationer som Wafer Start og procesrensning
God konsistens af udstyr mellem chip-teknologi

Anvendelsesområder

Overfladepartikelfjernelse af 4-8 tommer siliciumbaserede og sammensatte wafere

Tekniske parametre

4-tommer, 6-tommer, 8-tommer børstehulrum
Spinnerhastighed op til 4000 RPM
Dual Arm børstekammer, tilgængelig i Brush, AS, JET, Megasonics rengøringsmetoder
Kan understøtte flydende rengøringsfunktion

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-51

LoadPort-enhed, indlæsningsenhed

LoadPort er denne enheds indlæsningsenhed

I stand til Wafer Mapping
Udstyret med Wafer-slide-detektion

Transfer Robot enhed

Dual Blade Robot, valgfri med vakuum- eller bakkeblade.

Justerings- og vendeenhed

Kan justere og lokalisere flade kanter
Wafer kan vendes for at skrubbe krystallen tilbage

Børsteenhed

Børstearm Antal * 2
Waferhåndtag: Chuckklemme eller sugetype
Børste, AS, JET, Megasonics rengøringstilstande, der understøtter farmaceutisk rengøring

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-52

1. Understøtter Wafer input og out put samtidigt, såvel som A input og B output modes
2. Kan understøtte børstning af forsiden af kammer A og bagsiden af kammer B
3. Kan understøtte dobbeltkammer parallel rengøring

Beskrivelse af børstenhed

Som vist på figuren
Wafer fastgjort oven på Spinner

Arm1&Arm2 kan bruges sammen med forskellige børstemetoder beskrevet tidligere for at rense wafers.

Efter rengøring roterer Spinner ved høj hastighed for at centrifugere og tørre waferen

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-53

Justerings- og vendeenhed

Wafer kan bruges til beboelse og nivellering

Wafer kan vendes

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-54

Udstyrsstørrelse: 160x150x220 (mm)
Ind- og aflæsningsmetoder: samme ind og samme ud&A ind og B ud
Antal børsteenheder: 2
Børstetilstande: Børste, AS, JET, Megasonics rengøringsmetoder, understøtter farmaceutisk rengøring

Pakning og levering

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-55

produkt halvleder substrat wafer fremstilling udstyr fuldautomatisk single chip wafer rengøringsmaskine wafer scrubber-56

Firma profil

FAQ

1. Om pris:
Alle vores priser er konkurrencedygtige og til forhandling. Prisen varierer afhængigt af konfigurationen og tilpasningskompleksiteten af din enhed.

2. Om prøve:
Vi kan levere prøveproduktionstjenester til dig, men du kan give nogle gebyrer.

3. Om betaling:
Når planen er bekræftet, skal du først betale os et depositum, og fabrikken vil begynde at forberede varerne. Efter
udstyr er klar og du betaler restbeløbet, så sender vi det.

4. Om levering:
Efter at udstyrsfremstillingen er afsluttet, sender vi dig acceptvideoen, og du kan også komme til stedet for at inspicere udstyret.

5. Installation og fejlretning:
Når udstyret ankommer til din fabrik, kan vi sende ingeniører til at installere og fejlfinde udstyret. Vi giver dig et særskilt tilbud på dette servicegebyr.

6. Om garanti:
Vores udstyr har 12 måneders garantiperiode. Hvis nogen dele efter garantiperioden er beskadiget og skal udskiftes, opkræver vi kun kostprisen.