Vakuum mikrobølge plasma rengøringsmaskine Plasma overfladebehandling halvleder pakkeløsning IC TO pakke , Kina Vakuum mikrobølge plasma rense maskine Plasma overfladebehandling halvleder emballage løsning IC TO pakke Producenter, leverandører, fabrik

Produktbeskrivelse

Semiconductor Emballageløsning Mikrobølge Plasma Cleaner

SPV-100MWR er et lavspændingsmikrobølgeplasmarensningssystem til halvledere. Ved at anvende mikrobølger med frekvensen 2.45 GHz til vinduet på væggen af vakuumhulrummet, genereres et stort antal kontinuerligt plasma, og chippen renses ved at gå ind i hulrummet.

Vakuum mikrobølge plasma rengøringsmaskine Plasma Overfladebehandling Semiconductor Emballageløsning IC TO pakkeleverandør

Tekniske parametre

Vakuum plasma vært
Udstyrsstørrelse	1230X1800X1100mm (bredde x højde x dybde)
Vægt	450kg
Effektbehov	AC380V, 50/60Hz, 5-leder, 30A
Specifikationer for plasmageneratorer
Mikrobølge strømforsyning	Power	0 ~ 1250W
		Frekvens	2.45GHz
Vakuumsystem
Materiale	Aluminiumslegering (tilpasset kammer i rustfrit stål)
Tykkelse	25mm
Indvendige dimensioner af hulrummet	480mmX470mmX480mm
arbejdsområder	6 magasinsektioner
ECR	Slotted Magazine giver ECR forbedret behandlingseffekt
Plasma evne
Behandlingsevne	35 um Pitch 40 μm bump 15X15mm Maksimal matricestørrelse