Teknisk parameter |
Målemetode |
PSI/VSI/super dybde af fokus/klar felt |
Enkelt målefelt (20× objektivlinsen) |
500*350μm (automatisk samling) |
|
Vinkeljustering |
±12° manuel |
|
Z-akse justering |
20mm elektrisk + 50mm manuel (groft og finjusteringsmekanisme) |
|
Længsvisningsscanområde |
0-10 mm |
|
Længsvisningsoppløsning |
<0.2nm |
|
Gentagelighed af måling af længsvis rughed |
0.01nm (PSI-tilstand) |
|
indikationsfejl af trinshøjde måling |
<0.75% (VSI-tilstand) |
|
Lodret oppløsning: @550nm |
0.69μm (20× objektivlins) |
|
Målbart prøveflet |
0.1%-100% |
|
Måling tid |
<5s (PSI-tilstand) |
|
Analyse funktion |
Analyse funktion |
3D højdemåling, 3D flinthedsanalyse, 2D dimensionsmåling |
3D dataudgang |
3D punktsky data, gråtonebilledata, tilpasset rapport |
Objektiv forstørrelse |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Numerisk blænde |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Optisk oppløsning @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Fokushvidde (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Arbejdsafstand (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved