MDAM-CMP100/150 præcisionsfræser- og poleringsmaskine, hovedenheden og alle erstatningsdele er lavet af materialer med høj korrosionsresistens. Hele maskinen er korrosionsbestandig, stabil, slipbestandig og rustfri, egnet til kemisk mekanisk fræsning og polering af forskellige halvledermaterialer. Arbejdsområdet er adskilt fra visuelt kontrolområde og styres digitalt ved hjælp af et touch-screen kontrolsystem. Den er CNC-styret, kan gemme og hente oplysninger.
Enhedssystemet har en tidsfunktion, som kan arbejde kontinuerligt i 10 timer og styre hastigheden af poleringsdisken. Styringspanelet er placeret udenfor arbejdsområdet for at forhindre, at abrasiv løsning sprøjter på styringspanelet. Alle parametre for enheden kan justeres på touch-skærm. Processparametrene for værtsmaskinen har lagring og genopretning af funktioner for at sikre konsekvens og gentagbarhed af processen. Waferprøven suges fast på undersiden af fixturet ved vacuumtrækning, udstyret med en olie-fri vacuumpumpe og har en selvstændig anti-tilbage-sugningsfunktion.
Systemet til vandret rotation i prøveoplægning har en svingefunktion, med en svingemåde på 0-100% justerbar. Svingeamplituden og frekvenshastigheden kan indstilles nøjagtigt via kontrolpanelet. Prøveoplægningen er udstyret med et uafhængigt drevssystem til rotation, med en justerbar hastighedsområde på 0-120 omdrejninger pr. minut. Denne funktionelle design sikrer fuld svingepolering af prøven under grindings- og poleringsprocessen, hvilket forbedrer væsentligt poleringskapaciteten og effektiviteten af udstyret.
Prøveoplægningen er udstyret med en digital tykkelseovervågningsbord med en overvågningsnøjagtighed på 1 μm. Trykket fra prøveoplægningen på skiveprøven er kontinuert justerbar, med et tryksområde på 0-3,5 kg og en nøjagtighed på 2 g/cm², og er udstyret med et trykkmåleapparat.
Drift af sandede- og poleringspladen styres af hoveddrivningen, og pladens hastighed kan justeres fra 0 til 120 omdrejninger pr. minut. Denne hastighedsvariation garanterer effektivt sanding og polering af prøver med forskellig hardhed og størrelse, hvilket sikrer bedre procesindikatorer. Skifte af sandede- og poleringsplader er simpelt og hurtigt; indlejrede plader gør det muligt at skifte hurtigt fra sanding til poleringsprocessen, hvilket reducerer processtiden betydeligt. Desuden er sandedepladen udstyret med en reparationsskive for at sikre god fladeplanlighed.