Εφαρμογή του εξοπλισμού αφαίρεσης φωτοανθεκτικού πλάσματος στη διαδικασία κατασκευής γκοφρέτας Ελλάδα

Γιατί είναι απαραίτητο να αφαιρέσετε το φωτοανθεκτικό;

Όπως είναι γνωστό, το φωτοανθεκτικό υλικό είναι το βασικό υλικό για την κατασκευή γκοφρέτας ημιαγωγών. Στη διαδικασία κατασκευής γκοφρέτας, η φωτολιθογραφία αντιπροσωπεύει περίπου το 35% του συνολικού κόστους κατασκευής γκοφρέτας και καταναλώνει το 40-50% ολόκληρης της διαδικασίας γκοφρέτας, καθιστώντας την την πιο κρίσιμη διαδικασία στην κατασκευή ημιαγωγών.

Ένα απαραίτητο βήμα στη διαδικασία της φωτολιθογραφίας είναι η αφαίρεση του φωτοανθεκτικού από τη γκοφρέτα. Μετά την ολοκλήρωση της διαδικασίας αντιγραφής και μεταφοράς σχεδίου, το εναπομείναν φωτοανθεκτικό στην επιφάνεια του πλακιδίου πρέπει να αφαιρεθεί πλήρως.

ICP αφαίρεση φωτοανθεκτικού πλάσματος

Το μηχάνημα αφαίρεσης φωτοανθεκτικού πλάσματος ICP υιοθετεί σχεδιασμό πηγής πλάσματος υψηλής πυκνότητας και χαμηλής ζημιάς και είναι εξοπλισμένο με ώριμη απομακρυσμένη τεχνολογία ICP για την επίτευξη υψηλού επιπέδου ρυθμού αφαίρεσης φωτοανθεκτικού και καταστολής ζημιών. Υιοθετώντας έναν ανεξάρτητο σχεδιασμό δομής θαλάμου για την επίτευξη ομοιόμορφης κατανομής πεδίου ροής και εξαιρετική ομοιομορφία στην αφαίρεση φωτοανθεκτικού.

Πλεονεκτήματα του προϊόντος:

● Συμβατό με mainstream κυκλικές γκοφρέτες 4-8 ιντσών

● Μπορεί να επεξεργαστεί δύο γκοφρέτες τη φορά, διατηρώντας χαμηλότερη θερμοκρασία κατά τη διάρκεια της επεξεργασίας

● Υψηλός βαθμός αυτοματισμού, επιτυγχάνοντας πλήρως αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση γκοφρέτας, διαδικασία καθαρισμού

● Υψηλή πυκνότητα πλάσματος, καλό αποτέλεσμα αφαίρεσης φωτοανθεκτικού