Η αντιδραστική εικόνα ιόντων ακούγεται σαν ένας τρομακτικός όρος, αλλά στην πραγματικότητα είναι η μέθοδος που χρησιμοποιούν οι άνθρωποι για να κάνουν μικρά κομμάτια για την τεχνολογία σε μικρά. Αυτά τα μικρά κομμάτια είναι βασικά συστατικά σε μια μεγάλη ποικιλία συσκευών που χρησιμοποιούνται καθημερινά όπως τα έξυπνα τηλέφωνα, οι υπολογιστές κλπ. Η κύρια λειτουργία αυτής της διαδικασίας είναι να αφαιρέσετε τμήματα ενός υλικού, έτσι ώστε να μπορείτε να δημιουργήσετε μικροσκοπ Σε αυτό το άρθρο θα συζητήσουμε τι είναι η αντιδραστική εικόνα ιόντων τα θετικά και αρνητικά σημεία της εργασίας με το RIE σε σύγκριση με άλλες μεθόδους για την χημική επεξεργασία πλάσματος· τον ρόλο της χημείας πλάσματος σε αυτή τη διαδικασία· πώς
Η ανταγωνιστική ιονική εξόρυξη είναι μια πολύπλοκη μέθοδος που περιλαμβάνει μικροσκοπικά ιόντα και αέριο για να αφαιρεθούν τμήματα υλικού. Φανταστείτε το ως ένα υψηλής ενέργειας ραντσά που επιλεκτικά καταστρέφει υλικό για να δημιουργήσει μια ακριβή μορφή. Περιλαμβάνει τη βομβαρδιστική αυτών των ιόντων στην επιφάνεια ενός υλικού. Όπως οι ίονες πατούν το υλικό, αντιδρούν με αυτό και σπάζουν σε μικροσκοπικά κομμάτια που μπορούν να αφαιρεθούν. Βάζετε το υλικό σε μια είδους κιβώτιο που είναι εντελώς σφραγισμένο και άδειο από αέρα, που ονομάζεται καμπάρα κενού. Αυτά τα μικρά σωματίδια παράγονται με ραδιοφρεκαντική ενέργεια, όπου δημιουργούνται οι ίονες.
Η ετεροεπαγγελματική ιονική κατασκευή είναι μία από τις καλύτερες όσον αφορά τα λεπτομέρειες. Αυτό σημαίνει ότι μπορεί να παράγει υψηλής ακρίβειας γωνιακές και καμπύλες χαρακτηριστικές, αλλά αυτό γίνεται με αέριο αντί να χρησιμοποιείται υγρό. Το σημαντικό είναι ότι τα κομμάτια που δημιουργούνται με αυτή τη μέθοδο είναι για πρακτική χρήση στην τεχνολογία [1]. Επιπλέον, αυτή είναι μία από τις γρηγορότερες διαδικασίες; μεγαλύτερος αριθμός κομματιών μπορεί να παραχθεί σε σύντομο χρονικό διάστημα. Επειδή αυτή η διαδικασία είναι τόσο γρήγορη, μπορεί να είναι αρκετά αποτελεσματική για επιχειρήσεις με μεγάλη ζήτηση ενός συγκεκριμένου κομματιού.
Αλλά η ετεροεπαγγελματική ιονική κατασκευή έχει και προβλήματα. Δεν είναι επιτρεπτή για όλους τους τύπους υλικών, καθώς κάποια διαφορετικά είδη δεν μπορούν να έχουν αυτές τις λειζερ κοπές. Και απαιτείται η κατάλληλη θερμοκρασία και πίεση να είναι παρούσες στην εγκατάσταση. Οι σωστές συνθήκες πρέπει επίσης να υπάρχουν ή διαφορετικά η νέα διαδικασία μπορεί να μην παρέχει τα επιθυμητά αποτελέσματα. Το μόνο μειονέκτημα είναι ότι μπορεί να είναι πολύ ακριβής να εγκατασταθεί σε σχέση με άλλες μεθόδους κατασκευής, που μπορεί να αποθαρρύνει ορισμένες επιχειρήσεις από τη χρήση πούδρας καλύψης.
Σημαντικό χώρο κατέχει η πλάσμα-χημεία στη διαδικασία της επιθέτικης ιονικής εξωμάλισης. Αυτά τα ιόντα που παράγονται από το πλάσμα προκαλούν τη σπάση των χημικών δεσμών του υλικού, που οδηγεί στην κοπή. Μόλις οι δεσμοί σπάσουν, το υλικό διασπείρεται σε μικρές τμήσεις που μετά φεύγουν με ένα ροή αέρα. Το τι παράγεται κατά τη διάρκεια μιας χημικής αντιδράσεως μπορεί να επηρεαστεί από τον τύπο αερίου που χρησιμοποιείται. Για παράδειγμα, ένα αέριο νιτρογόνου μπορεί να παρέχει ένα καθαρό εξωμαλιστικό που επιτρέπει να αφαιρεθούν υλικά χωρίς να αφήνει απεπρόσμενα υπολείμματα, ενώ ένα αέριο οξυγόνου παρέχει ένα διαφορετικό τύπο εξωμάλισης που μπορεί να είναι κατάλληλο ανάλογα με την ανάγκη.
Η ισχυρή ελεγχόμενη διαδικασία είναι κρίσιμη για να επιτευχθούν καλά αποτελέσματα με την ετσιασία ανιόντων. Αυτό απαιτεί τη μέτρηση πολλών παραμέτρων, συμπεριλαμβανομένων της θερμοκρασίας, της πίεσης, της ροής αερίου και των ενεργειών ιόντων. Ένα σταθερό περιβάλλον συνεισφέρει σε συνεπή και προβλέψιμα αποτελέσματα στη γραμμή ετσιασίας. Εάν ένας από αυτούς τους παράγοντες δεν ελέγχεται αποτελεσματικά, αυτό μπορεί να επηρεάσει το τελικό προϊόν. Επιπλέον, η καθαρισμός του υλικού και η κατάλληλη προετοιμασία είναι απαραίτητες πριν αρχίσετε με την ετσιασία. Εάν όλος ο χρόνος έχει διατεθεί από την αρχή για την προετοιμασία του υλικού που θα ετσιαστεί, αυτό θα πρέπει να οδηγήσει σε καλύτερα αποτελέσματα.
Ένα παράδειγμα είναι η αντιδραστική ιονική καταπύκνωση, η οποία χρησιμοποιείται συχνά στη βιομηχανία μικροφαβροποιίας για να δημιουργεί πολύ μικρά τμήματα για διάφορα τεχνολογικά συσκευάσματα. Κάτι για το οποίο το γράφενο είναι χρήσιμο είναι στην παραγωγή μικρών ηλεκτρονικών κυκλωμάτων, αισθητήρων και συσκευών μικροφλεβικής κίνησης, τα οποία είναι απαραίτητα για τη σύγχρονη τεχνολογία. Χρησιμοποιείται επίσης στην κατασκευή μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS), που είναι μικρές συσκευές που μπορούν να βλέπουν, να ακούουν, να αισθάνονται και να μετακινούν πράγματα ένα μόριο τη φορά. Αυτά τα MEMS χρησιμοποιούνται σε πολλές εφαρμογές: από μικρές συσκευές όπως τα κινητά τηλέφωνα έως μεγαλύτερα εργαλεία και ακόμη και ιατρική εξοπλισμένη. Μεταξύ αυτών των διεργασιών, η αντιδραστική ιονική καταπύκνωση έχει κρίσιμο ρόλο, καθώς μπορεί να δημιουργήσει μικρές και ακριβείς λεπτομέρειες που απαιτούνται για τέτοιες προηγμένες τεχνολογίες.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
