Η χάραξη αντιδραστικών ιόντων ακούγεται σαν τρομακτικός όρος, αλλά στην πραγματικότητα είναι η μέθοδος που χρησιμοποιούν οι άνθρωποι για να κάνουν μικρά κομμάτια για την τεχνολογία σε μέγεθος brunch. Αυτά τα μικρά κομμάτια είναι βασικά συστατικά σε μια μεγάλη ποικιλία συσκευών που χρησιμοποιούνται καθημερινά, όπως έξυπνα τηλέφωνα, υπολογιστές κ.λπ. Η κύρια λειτουργία αυτής της διαδικασίας είναι η αφαίρεση τμημάτων ενός υλικού, ώστε να μπορείτε να δημιουργήσετε μικροσκοπικά και ακριβή κομμάτια. Σε αυτό το άρθρο, θα συζητήσουμε τι είναι η χάραξη αντιδραστικών ιόντων — θετικές και αρνητικές πλευρές της εργασίας με RIE σε σύγκριση με άλλες μεθόδους για χημική επεξεργασία με πλάσμα. ο ρόλος της χημείας του πλάσματος σε αυτή τη διαδικασία. πώς μπορείτε να επιτύχετε αποτελέσματα υψηλής ποιότητας χρησιμοποιώντας σωστά τον εξοπλισμό RIE και, τέλος, πού παίρνει τη θέση του ως εργαλείο τεχνολογίαςreadcrh xvv.
Η χάραξη με αντιδραστικά ιόντα είναι μια πολύπλοκη μέθοδος που περιλαμβάνει μικροσκοπικά ιόντα και αέρια για να αφαιρέσουν κομμάτια υλικού. Σκεφτείτε το ως ένα σπρέι υψηλής ισχύος που εκτοξεύει επιλεκτικά το υλικό για να σχηματίσει ένα ακριβές σχήμα. Περιλαμβάνει την ανατίναξη αυτών των ιόντων στην επιφάνεια ενός υλικού. Καθώς τα ιόντα χτυπούν το υλικό, αντιδρούν με αυτό και σπάνε σε μικρά κομμάτια που μπορούν να αφαιρεθούν. Βάζετε το υλικό σε ένα είδος κουτιού που είναι εντελώς σφραγισμένο και απαλλαγμένο από αέρα, που ονομάζεται θάλαμος κενού. Αυτά τα μικρά σωματίδια παράγονται με ενέργεια ραδιοσυχνοτήτων, όπου δημιουργούν ιόντα.
Η χάραξη αντιδραστικών ιόντων είναι μία από τις καλύτερες όσον αφορά τις λεπτομέρειες. Αυτό σημαίνει ότι μπορεί να παράγει γωνιακά και καμπύλα χαρακτηριστικά υψηλής ακρίβειας, αλλά αυτό γίνεται με αέριο αντί για υγρό. Αυτό σημαίνει ότι τα εξαρτήματα που δημιουργούνται με αυτήν τη μέθοδο είναι κυριολεκτικά κατάλληλα για τον σκοπό στην τεχνολογία [1]. Επίσης, αυτή είναι μια από τις πιο γρήγορες διαδικασίες. περισσότερος αριθμός ανταλλακτικών μπορεί να κατασκευαστεί σε σύντομο χρονικό διάστημα. Δεδομένου ότι αυτή η διαδικασία είναι τόσο γρήγορη, μπορεί να είναι αρκετά αποτελεσματική για εταιρείες με μεγάλη ζήτηση ενός συγκεκριμένου ανταλλακτικού.
Αλλά η χάραξη αντιδραστικών ιόντων έχει επίσης προβλήματα. Δεν είναι κατάλληλο για όλους τους τύπους υλικών, καθώς ορισμένα διαφορετικά είδη δεν θα μπορούν να έχουν αυτές τις περικοπές με λέιζερ. Και απαιτεί τις κατάλληλες θερμοκρασίες και πιέσεις για να υπάρχουν στο χώρο. Πρέπει επίσης να υπάρχουν οι σωστές συνθήκες, διαφορετικά η νέα διαδικασία μπορεί να μην αποδώσει επίσης. Το μόνο μειονέκτημα είναι ότι μπορεί να είναι απαγορευτικό το κόστος να καθιερωθούν σε σχέση με άλλες πρακτικές χάραξης, οι οποίες μπορεί να αποτρέψουν ορισμένες επιχειρήσεις από το να επωφεληθούν από τη βαφή πούδρας.
Σημαντική θέση κατέχει η χημεία του πλάσματος στη διαδικασία της χάραξης αντιδραστικών ιόντων. Αυτά τα ιόντα που παράγονται από το πλάσμα προκαλούν τη διάσπαση των χημικών δεσμών του υλικού, οδηγώντας σε κοπή. Μόλις σπάσουν οι δεσμοί, το υλικό αποσυντίθεται σε μικροσκοπικά κομμάτια τα οποία στη συνέχεια πετούν μακριά με ένα ρεύμα αερίου. Αυτό που παράγεται κατά τη διάρκεια μιας χημικής αντίδρασης μπορεί να επηρεαστεί από τον τύπο του αερίου που χρησιμοποιείται. Για παράδειγμα, ένα αέριο άζωτο μπορεί να παρέχει καθαρή χάραξη που επιτρέπει την αφαίρεση υλικών χωρίς να αφήνει ανεπιθύμητα υπολείμματα, ενώ ένα αέριο οξυγόνο παρέχει διαφορετικό τύπο χάραξης που μπορεί να είναι κατάλληλος ανάλογα με την απαίτηση.
Ο ισχυρός έλεγχος της διαδικασίας είναι κρίσιμος για την επίτευξη καλών αποτελεσμάτων με τη χάραξη αντιδραστικών ιόντων. Αυτό απαιτεί τη μέτρηση πολλών παραμέτρων, συμπεριλαμβανομένων της θερμοκρασίας, της πίεσης, της ροής αερίων και των ενεργειών ιόντων. Ένα σταθερό περιβάλλον συμβάλλει σε σταθερά, προβλέψιμα αποτελέσματα στη γραμμή χάραξης. Εάν μία από αυτές τις μεταβλητές δεν ελέγχεται αποτελεσματικά, αυτό θα μπορούσε να επηρεάσει το τελικό προϊόν. Επιπλέον, είναι απαραίτητος ο καθαρισμός του υλικού και η κατάλληλη προετοιμασία πριν ξεκινήσετε τη χάραξη. Εάν έχει δαπανηθεί όλος ο χρόνος εκ των προτέρων για την προετοιμασία του προς χάραξη υλικού, αυτό θα πρέπει να έχει καλύτερα αποτελέσματα.
Ένα παράδειγμα είναι η χάραξη αντιδραστικών ιόντων που χρησιμοποιείται συνήθως στη βιομηχανία μικρουφασμάτων για τη δημιουργία πολύ μικρών εξαρτημάτων για διάφορα τεχνολογικά gadget. Ένα από τα πράγματα για τα οποία είναι χρήσιμο το γραφένιο είναι η κατασκευή μικροσκοπικών ηλεκτρονικών κυκλωμάτων, αισθητήρων και μικρορευστικών συσκευών που είναι απαραίτητα για τη σύγχρονη τεχνολογία. Χρησιμοποιείται επίσης στην κατασκευή μικροηλεκτρομηχανικών συστημάτων (MEMS) που είναι μικρές συσκευές που μπορούν κυριολεκτικά να δουν, να ακούσουν, να αισθανθούν και να μετακινήσουν πράγματα ένα μόριο τη φορά. Αυτά τα MEMS χρησιμοποιούνται σε πολλές εφαρμογές: από μικρές συσκευές όπως smartphone έως μεγαλύτερα εργαλεία και ακόμη και ιατρικό εξοπλισμό. Μεταξύ αυτών των διαδικασιών, η χάραξη με αντιδραστικά ιόντα διαδραματίζει κρίσιμο ρόλο, καθώς μπορεί να δημιουργήσει μικροσκοπικά και ακριβή χαρακτηριστικά που απαιτούνται για τέτοιες προηγμένες τεχνολογίες.
Guangzhou Minder-Hightech Co., Ltd.
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
ΟΧΙ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
