1.Tο MDAM-CMPA200 είναι ένα αδιάλειπτο σύστημα μολύβισματος και λαμπροβολής για υψηλό όγκο μολύβισμα και λαμπροβολή διαφόρων υλικών φακέλων (SiC, Σαφείρι, GaN, AlN...) συστατικών, όπως φιλτρών υλικά, υλικά τροχαλιάς, οθόνες LCD κλπ.
2.Τέσσερα κινητήρες και τέσσερα επιπλέον μεγάλα κεφάλια λαμπροβολής επιτρέπουν την αμέσως αποκατάσταση μέχρι και 48 φακέλων 2" . Έτσι, η μηχανή σειράς MP είναι αδιάλειπτη για χρήση σε περιβάλλον πλήρους φόρτωσης παραγωγής.
3.Το αυτόματο πλήκτρο ελέγχου της μηχανής χρησιμοποιεί ένα μεταφερόμενο οθόνη ελέγχου αγγείου και οι παράμετροι διαδικασίας μπορούν να εισαχθούν και να αλλάξουν ελεύθερα.
4.Αυτόματος έλεγχος και νοημοσύνη φόρτωσης/απόφορτωσης συστήματος μπορούν να επιταχύνουν τη λαμπροβολή φακέλων σε έπιπλα ετοιμασίας επιτοξίας. Αυτό το σύστημα είναι ειδικά χρήσιμο για τη λειτουργία σκληρών υποβάθρων υλικών και μπορεί επίσης να λειτουργεί φακέλους μέχρι και 8" ø.
Η μηχανή ακριβούς εξασπισμού και λείωσης 5.MDAM-CMPA200 περιλαμβάνει έναν κύριο σταθμό, ένα σύστημα απομακρυσμένου ελέγχου, κατασκευαστικό υλικό, σύστημα κενού, σύστημα γεμίσματος, δίσκους εξασπισμού και λείωσης, κλπ.
Στη μηχανή ακριβούς εξασπισμού και λείωσης 6.MDAM-CMPA200, ο κύριος σταθμός και όλα τα επιστρώματα φτιάχνονται από υλικά με υψηλή αντοχή στην διάβρωση, η ολική μηχανή είναι αντοχή στη διάβρωση και είναι επιτυχής για χημικούς μηχανικούς εξασπισμούς και λείωσης διάφορων υλικών που χρησιμοποιούνται στους ημιαγωγούς.
Μέσω ενός ανεξάρτητου συστήματος απομακρυσμένου ελέγχου, μπορεί να επιτευχθεί ο συνδυασμένος έλεγχος πολλών μηχανών. Μέσω ενός τερματικού ελέγχου, μπορούν να ελεγχθούν πολλές μηχανές εξασπισμού και λείωσης, που επιτρέπει εύκολη αλλαγή των παραμέτρων διαδικασίας κατά τη διάρκεια της διαδικασίας. Μπορεί επίσης να επιτευχθεί ακριβής αριθμητικός έλεγχος για πολλές διαδικασίες ταυτόχρονα, βελτιώνοντας σημαντικά την αποτελεσματικότητα εργασίας και την ακρίβεια της διαδικασίας.
8.Το αυτόματο σύστημα γεμισμού μπορεί να ρυθμίσει την ταχύτητα καπετάνιου βάσει διαφορετικών αναγκών διαδικασίας και να σταματήσει αυτόματα όταν ο αβλεψιμός εξαντληθεί, προκεχωρώντας στην προστασία των δειγμάτων χωρίς αβλεψιμό.
9.Το σύστημα ελέγχου εξοπλισμού διαθέτει λειτουργία χρονομετρή. Μετά την έφθαση στο προκαθορισμένο χρονικό διάστημα, το σύστημα σβήνει αυτόματα.