Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Λάβε Εγγραφή

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

Αρχική σελίδα
Σχετικά με Εμάς
MH Equipment
Λύση
Χρήστες Εκτός Από την Επιχείρηση
Βίντεο
Επικοινωνία μαζί μας
Αρχική> Ζαχαροπλούμι Φέρειων
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP
  • Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP

Αυτόματο μονοπλάτυνο Μηχανικό Χημικό Πολωτήρας Φέρεκας Πλανάρισης CMP

Λάβετε Δωρεάν Προσφορά
Περιγραφή Προϊόντος
ATOM Single Platen CMP

Χαρακτηριστικά μηχανήματος

Το συσκευάσματο είναι ευέλικτο και μπορεί να υποστηρίξει πολλά κεφάλια.
Η δυνατότητα επεξεργασίας του συσκευασμάτος είναι κοντά στο επίπεδο των κυριότερων μοντέλων προϊόντων της ίδιας μεγέθους.
Καλή συνέπεια της επεξεργασίας μεταξύ των συσκευασμάτων.

Πεδία εφαρμογής

λασπαρισμός 4-8 inch STI, ILD/IMD, TSV, TGV και επιφανειακός λασπαρισμός συνθετικών υλικών όπως SiC, LT, LN, GaAs, κλπ.

Τεχνικές Παράμετροι

κεφάλες 4-inch, 6-inch, 8-inch, πολυζωνικός έλεγχος
Τύπος Φ20 inch 508MM Platen
Ακρίβεια έλεγχου πίεσης κεφαλής <0.05PSI
Ακρίβεια έλεγχου ταχύτητας περιστροφής κεφαλής και Platen <2RPM

1. Μονάδα LoadPort

Ο πόρτας μπορεί να γυριστεί για να βουτηχθεί η Cassette στο Qtank, αποφεύγοντας τη δημιουργία κρυστάλλων Slurry στην
λασπαρισμένη επιφάνεια του φάλαγγα. Εξοπλισμένος με συνάρτηση Cassette Mapping.

2. Μονάδα ανάκτησης υλικού ρομπότ

Εξοπλισμένος με ρομπότ 4-άξονα, μπορεί να μεταφέρει αυτόματα φάλαγγες από την Cassette στη μονάδα λασπαρισμού.

3. Μονάδα Πολισμού

Αυτή η μονάδα είναι εξοπλισμένη με Platen * 1, Head * 1, PC *
1, Slurry Arm * 1, HCLU * 1, και EPD ανίχνευση τέρματος.
μπορεί να επιτύχει αυτόματη φόρτωση και απόφορτωση φάλαινας, ελεγκτική πολλαπλών ζωνών στο head, αλλαγή σημείου επικοινωνίας Slurry με ρυθμίσεις Recipe, ανίχνευση τέρματος και άλλες λειτουργίες.
cMP Κεφάλι Πολισμού
Τα κεφάλια πολισμού που είναι διαθέσιμα σε αυτό το συσκευασία είναι όλα ανεξάρτητα αναπτυγμένα, σχεδιασμένα και παραγμένα από την εταιρεία μας.
Μεταξύ αυτών, το κεφάλι 4-inch 3-cavity είναι ένα μοναδικό προϊόν που δημιούργησε η εταιρεία μας, γεμίζοντας το κενό για το κεφάλι πολλαπλών καβενών 4-inch στην Κίνα. Η εταιρεία μας μπορεί να τροποποιήσει ή να παρασχεθεί κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης βάσης TGV (200um) προϊόντων, η εσωτερική δομή του κεφαλίου τροποποιήθηκε για να πληρούν τα απαιτήματα για τον πολισμό λεπτών φιλμ. Κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης της τεχνολογίας LN επιφανειακού OX πολισμού, η εταιρεία μας βαθιά αναβαθμίστηκε το κεφάλι 6-inch και επιτυχώς πληρούσε τα απαιτήματα των προϊόντων των πελατών.
Μεταξύ αυτών, η κεφαλή 4-inch 3-cavity είναι μια μοναδική προϊόν της εταιρείάς μας, που γεμίζει την λειψύ των πολλαπλών κεφαλών 4-inch στην Κίνα. Η εταιρεία μας μπορεί να τροποποιήσει ή να προσαρμόσει την κεφαλή γρήγορα σύμφωνα με τις παραμέτρους του προϊόντος του πελάτη. Κατά την ανάπτυξη των προϊόντων φιλμ TGV (200um), η εσωτερική δομή της κεφαλής τροποποιήθηκε για να εκπληρώσει τις απαιτήσεις λεπτού φιλμ. Κατά την ανάπτυξη της τεχνολογίας επιφανειακής OX αποκατάστασης LN, η εταιρεία μας βαθιά αναβαθμίστηκε την κεφαλή 6-inch και κατάφερε να εκπληρώσει τις απαιτήσεις του προϊόντος του πελάτη.
Εφαρμογές
Παραδοσιακός προ cess τριβής επιπέδωσης IC;
Διαδικασία TGV/TSV;
Smart Cut και Pre bonding CMP;
Τριβή υποβάθρου SIC/τριβή γαλλιου-αρσενιδίου.
Περιγραφή
Λιμάνι
Ποσότητα * 1, με Q-tank
Ρομπότ
Ποσότητα * 1, για μεταφορά φύλλων
HCLU
Ποσότητα * 1, για αυτόματη φόρτωση και άφορτωση φύλλων
Κεφάλι τριβής
Ποσότητα * 13 κυψέλες ελέγχου, ακρίβεια ελέγχου 0.1PSI, μπορεί να υποστηρίξει επιχειρήσεις φύλλων 400-1200 UM.
Ταχύτητα φρεατίου λασπής
5-150ΣΓΧ
Δίσκος στίλβωσης
Ποσότητα * 1 Διάμετρος Δίσκου Λασπής 508mm, Ταχύτητα Πάδου Λασπής 10-150σγχ.
Βραχίονας κοσμήματος
Ποσότητα * 1 πάδος λασπής. Ο πάδος λασπής μπορεί να λασπευθεί online (αμέσως) ή offline (μετά τη λασπή). Το
βραχίονας κοσμήματος είναι οπλισμένος με αξόνα κοσμήματος, ο οποίος μπορεί να περιστρέφεται και να κινείται πάνω και κάτω, και η ταχύτητα και η δύναμη πίεσης μπορούν να ελεγχθούν. Το
εργαλείο κοσμήματος εγκαθίστεται στον αξόνα κοσμήματος και μπορεί να αφαιρεθεί γρήγορα
αφαιρεθεί. Σύμφωνα με τα διαφορετικά τύπους πάδων λασπής, υπάρχουν διαφορετικά είδη εργαλείων κατάρτισης, συμπεριλαμβανομένων των εργαλείων
πινέλων, διαμάντινων δαχτυλιδιών, και διαμάντινων δισκών.
Ενότητα ελέγχου αεριού πίεσης κεφαλής λασπής UPA
Ποσότητα * 13 Ζώνες επιβαθμισμένες για καλύτερο αποκλειστικό αποτέλεσμα επιφάνειας
Κύλινδρος προμήθειας λασπών
Ποσότητα * 2. Χρησιμοποιούνται περισταλτικοί κύλινδροι για την προμήθεια υγρών, με 2 περισταλτικούς κύλινδρους να διατίθενται για να παρέχουν διαφορετικές λασπών
υγρούς στον δίσκο λασπών. Κάθε κύλινδρος μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε οποιαδήποτε φάση της διαδικασίας.
Χεριά Λασπών
Ποσότητα * 1 μπορεί να ελέγξει το σημείο επιβολής των λασπών και να καθαρίσει τον πόντο λασπών.
Το σύστημα ελέγχου λειτουργίας μπορεί να επιτύχει ελεγχόμενο επίπεδο χρήστη, όπως κανονική λειτουργία, λειτουργία διατήρησης και τεχνική λειτουργία, και οι διάφορες λειτουργίες ελέγχονται με κωδικούς πρόσβασης. Το λογισμικό συστήματος μπορεί να επεξεργαστεί τους παράμετρους διαδικασίας κάθε βήματος και να επιπλατυνεί και
να λασπάει το λεπτό υλικό στην επιφάνεια του χίπ με βάση το πρόγραμμα. Μπορεί να παρακολουθεί την κατάσταση λειτουργίας του εξοπλισμού, να παρακολουθεί τους παράμετρους διαδικασίας σε πραγματικό χρόνο και το λογισμικό μπορεί αυτόματα να αποθηκεύει διάφορα δεδομένα διαδικασίας. Εξοπλίζεται με επείγουσα στάση
να λίξει το λεπτό φιλμ στην επιφάνεια του χίπ με βάση το πρόγραμμα. Μπορεί να παρακολουθεί την κατάσταση λειτουργίας του εξοπλισμού, να παρακολουθεί
τους παράμετρους διαδικασίας πραγματικού χρόνου, και το λογισμικό μπορεί να αποθηκεύει αυτόματα διάφορα δεδομένα διαδικασίας. Είναι εξοπλισμένο με έκτακτη στάση
κουμπί, χρησιμοποιείται για να σταματήσει άμεσα τη λειτουργία του εξαρτήματος και να αποκόψει την έλεγχο παροχής.
Συσκευασία & Παράδοση
Προφίλ Εταιρείας
Συχνές Ερωτήσεις
1. Περί τιμής:
Όλες οι τιμές μας είναι ανταγωνιστικές και διαπραγματεύσιμες. Η τιμή διαφέρει βάσει της συγκεκριμένης ρύθμισης και της πολυπλοκότητας προσαρμογής του συστήματος.

2. Σχετικά με το δείγμα:
Μπορούμε να σας παρέχουμε υπηρεσίες δειγματικής παραγωγής, αλλά ίσως να πρέπει να καταβάλετε μερικά τέλη.

3. Σχετικά με την Πληρωμή:
Μετά την επιβεβαίωση του σχεδίου, πρέπει να μας πληρώσετε πρώτα έναν προπληρωμένο παράγωγο, και η εργοστάσιο θα ξεκινήσει να ετοιμάζει τα αγαθά. Μετά
όταν το εξαρτηματικό είναι έτοιμο και πληρώσετε το υπόλοιπο, θα το αποστείλουμε.

4. Σχετικά με την Παράδοση:
Μετά την ολοκλήρωση της κατασκευής του εξοπλισμού, θα σας στείλουμε το βίντεο αποδοχής και μπορείτε επίσης να έρθετε στον χώρο για να ελέγξετε τον εξοπλισμό.

5. Εγκατάσταση και Ρύθμιση:
Όταν ο εξοπλισμός φτάσει στην εργοστάσιό σας, μπορούμε να αποστείλουμε μηχανικούς για να εγκαταστήσουν και να ρυθμίσουν τον εξοπλισμό. Θα σας προσφέρουμε ξεχωριστή προσφορά για το τέλος αυτής της υπηρεσίας.

6. Σχετικά με την Ασφάλεια:
Το εξαρτηματός μας έχει περίοδο εγγύησης 12 μηνών. Μετά την περίοδο εγγύησης, αν καθετές μέρη είναι κατεστραμμένες και χρειάζεται να αντικατασταθούν, θα φορτίσουμε μόνο την τιμή κόστους.

Περισσότερα Προϊόντα

Ερώτημα

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Πολιτική Απορρήτου

Ερώτημα Email Whatsapp Top
×

ΣΥΝΔΕΘΕΙΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ