Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP , Κίνα Automatic Single Platen Wafer Chemical Mechanical Polisher CMP Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Factory

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

ATOM Single Platen CMP

Χαρακτηριστικά μηχανής

Η συσκευή είναι ευέλικτη και μπορεί να υποστηρίξει πολλαπλές κεφαλές.
Η ικανότητα επεξεργασίας του εξοπλισμού πλησιάζει το επίπεδο του βασικού μοντέλου προϊόντων του ίδιου μεγέθους.
Καλή συνέπεια της διαδικασίας μεταξύ συσκευών.

Πεδία Εφαρμογής

Στίλβωση 4-8 ιντσών STI, ILD/IMD, TSV, TGV και γυάλισμα επιφανειών ενώσεων όπως SiC, LT, LN, GaAs κ.λπ.

Τεχνικές παράμετροι

Κεφαλές 4 ιντσών, 6 ιντσών, 8 ιντσών, έλεγχος πολλαπλών ζωνών
Τύπος Πλατίνας Φ20 ιντσών 508mm
Ακρίβεια ελέγχου πίεσης κεφαλής<0.05PSI
Ακρίβεια ελέγχου ταχύτητας περιστροφής κεφαλής και πλάκας<2RPM

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-53

1. Μονάδα LoadPort

Η θύρα μπορεί να αναστραφεί για να βυθιστεί η κασέτα στο Qtank, αποφεύγοντας το σχηματισμό κρυστάλλων πολτού στο
γυαλισμένη επιφάνεια γκοφρέτας. Εξοπλισμένο με λειτουργία Cassette Mapping.

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-54

2. Μονάδα ανάκτησης ρομποτικού υλικού

Εξοπλισμένο με ρομπότ 4 αξόνων, μπορεί να μεταφέρει αυτόματα γκοφρέτες από την κασέτα στη μονάδα γυαλίσματος.

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-55

3. Μονάδα στίλβωσης

Αυτή η μονάδα είναι εξοπλισμένη με Platen * 1, Head * 1, PC *
1, βραχίονας πολτού * 1, HCLU * 1 και τελικό σημείο EPD
ανίχνευση. Μπορεί να επιτύχει αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση γκοφρέτας, έλεγχο κεφαλής πολλαπλών ζωνών, πολτό
αλλάζει το σημείο προσγείωσης με ρυθμίσεις συνταγής, ανίχνευση τελικού σημείου και άλλες λειτουργίες.

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-56

Κεφαλή στιλβωτή CMP

Οι κεφαλές στίλβωσης που έχουν διαμορφωθεί σε αυτήν τη συσκευή έχουν αναπτυχθεί, σχεδιαστεί και κατασκευαστεί ανεξάρτητα από την εταιρεία μας.
Μεταξύ αυτών, η κεφαλή 4 ιντσών 3 ιντσών είναι ένα μοναδικό προϊόν που δημιουργήθηκε από την εταιρεία μας, καλύπτοντας το κενό της κεφαλής 4 ιντσών χωρίς πολλαπλές κοιλότητες στην Κίνα. Η εταιρεία μας μπορεί γρήγορα να τροποποιήσει ή να προσαρμόσει την Κεφαλή σύμφωνα με τα χαρακτηριστικά του προϊόντος του πελάτη. Κατά την ανάπτυξη προϊόντων λεπτής μεμβράνης TGV (200um), η εσωτερική δομή της κεφαλής τροποποιήθηκε για να ανταποκρίνεται στις απαιτήσεις της στίλβωσης λεπτής μεμβράνης. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας ανάπτυξης της τεχνολογίας στίλβωσης επιφάνειας LN OX, η εταιρεία μας αναβάθμισε σε βάθος την κεφαλή 6 ιντσών και ανταποκρίθηκε με επιτυχία στις απαιτήσεις προϊόντος του πελάτη.

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-57

Εφαρμογές

Παραδοσιακή διαδικασία στίλβωσης πλαναρίσματος IC.

Διαδικασία TGV/TSV;

Έξυπνη κοπή και προ-συγκόλληση CMP;

Γυάλισμα υποστρώματος SIC/γυάλισμα αρσενιδίου του γαλλίου.

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-58

Χαρακτηριστικά

Λιμάνι	Ποσότητα * 1, με Q-tank
Ρομπότ	Ποσότητα * 1, για μεταφορά γκοφρέτας
HCLU	Ποσότητα * 1, για αυτόματη φόρτωση και εκφόρτωση γκοφρετών
Γυαλιστικό κεφάλι	Ποσότητα * Έλεγχος κοιλότητας 13, ακρίβεια ελέγχου 0.1 PSI, μπορεί να υποστηρίξει λειτουργίες πλακιδίων 400-1200 UM.
Ταχύτητα στίλβωσης κεφαλής	5-150RPM
Δίσκος στίλβωσης	Ποσότητα * 1 Δίσκος Στίλβωσης Μέγεθος 508mm, Ταχύτητα Γυαλιστικού Επιθέματος 10-150rpm.
Βραχίονας κοπής	Ποσότητα * 1 μαξιλαράκι γυαλίσματος. Το επίθεμα γυαλίσματος μπορεί να γυαλιστεί online (ταυτόχρονα) ή εκτός σύνδεσης (μετά το γυάλισμα). Το κούρεμα Ο βραχίονας είναι εξοπλισμένος με έναν άξονα κοπής, ο οποίος μπορεί να περιστρέφεται και να κινείται προς τα πάνω και προς τα κάτω και η ταχύτητα και η κάτω δύναμη μπορούν να ελεγχθούν. Ο Το εργαλείο κοπής είναι εγκατεστημένο στον άξονα κοπής και μπορεί να γίνει γρήγορα αφαιρέθηκε. Σύμφωνα με τους διαφορετικούς τύπους γυαλιστικών μαξιλαριών, διαμορφώνονται διαφορετικοί τύποι εργαλείων επιδέσμου, συμπεριλαμβανομένου του επιδέσμου βούρτσες, δαχτυλίδια με διαμάντια και δίσκους με διαμάντια.
Μονάδα ελέγχου πίεσης αέρα κεφαλής στίλβωσης UPA	Ποσότητα * 13 Ζώνη ρυθμιζόμενη για καλύτερο εφέ επιπεδοποίησης επιφάνειας
Αντλία παροχής υγρού γυαλίσματος	Ποσότητα * 2. Οι περισταλτικές αντλίες χρησιμοποιούνται για παροχή υγρού, με 2 περισταλτικές αντλίες διαμορφωμένες για να παρέχουν διαφορετική στίλβωση υγρά στο δίσκο στίλβωσης. Κάθε αντλία μπορεί να χρησιμοποιηθεί σε οποιοδήποτε στάδιο της διαδικασίας.
Βραχίονας πολτού	Η ποσότητα * 1 μπορεί να ελέγξει το σημείο προσγείωσης του πολτού και μπορεί να καθαρίσει το γυαλιστικό μαξιλάρι.
Το σύστημα ελέγχου λειτουργίας μπορεί να επιτύχει έλεγχο σε επίπεδο χρήστη, όπως λειτουργία χειριστή, λειτουργία συντήρησης και τεχνική λειτουργία και var Οι λειτουργίες ious ελέγχονται από κωδικούς πρόσβασης. Το λογισμικό συστήματος μπορεί να επεξεργαστεί τις παραμέτρους της διαδικασίας κάθε βήματος της διαδικασίας και να ισοπεδώσει και γυαλίστε τη λεπτή μεμβράνη στην επιφάνεια του τσιπ σύμφωνα με το πρόγραμμα. Μπορεί να παρακολουθεί την κατάσταση λειτουργίας του εξοπλισμού, την οθόνη παραμέτρους επεξεργασίας σε πραγματικό χρόνο και το λογισμικό μπορεί αυτόματα να αποθηκεύσει διάφορα δεδομένα διεργασίας. Εξοπλισμένο με στάση έκτακτης ανάγκης κουμπί, που χρησιμοποιείται για να σταματήσει αμέσως τη λειτουργία του εξοπλισμού και να διακόψει την τροφοδοσία ελέγχου.

Συσκευασία & παράδοση

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-59

προϊόν αυτόματο χημικό μηχανικό γυαλιστικό γκοφρέτας μονής πλάκας cmp-60

Εταιρικό Προφίλ

Συχνές Ερωτήσεις

1. Σχετικά με την τιμή:
Όλες οι τιμές μας είναι ανταγωνιστικές και διαπραγματεύσιμες. Η τιμή ποικίλλει ανάλογα με την πολυπλοκότητα διαμόρφωσης και προσαρμογής της συσκευής σας.

2. Σχετικά με το δείγμα:
Μπορούμε να παρέχουμε υπηρεσίες δειγματοληψίας για εσάς, αλλά ενδέχεται να παρέχετε κάποιες χρεώσεις.

3. Σχετικά με την πληρωμή:
Αφού επιβεβαιωθεί το σχέδιο, πρέπει πρώτα να μας πληρώσετε μια προκαταβολή και το εργοστάσιο θα ξεκινήσει την προετοιμασία των προϊόντων. Μετά το
Ο εξοπλισμός είναι έτοιμος και πληρώνετε το υπόλοιπο, θα το στείλουμε.

4. Σχετικά με την παράδοση:
Αφού ολοκληρωθεί η κατασκευή του εξοπλισμού, θα σας στείλουμε το βίντεο αποδοχής και μπορείτε επίσης να έρθετε στον ιστότοπο για να επιθεωρήσετε τον εξοπλισμό.

5. Εγκατάσταση και εντοπισμός σφαλμάτων:
Αφού φτάσει ο εξοπλισμός στο εργοστάσιό σας, μπορούμε να στείλουμε μηχανικούς για να εγκαταστήσουν και να διορθώσουν τον εξοπλισμό. Θα σας παρέχουμε ξεχωριστή προσφορά για αυτήν την χρέωση υπηρεσίας.

6. Σχετικά με την Εγγύηση:
Ο εξοπλισμός μας έχει περίοδο εγγύησης 12 μηνών. Μετά την περίοδο εγγύησης, εάν κάποια εξαρτήματα είναι κατεστραμμένα και πρέπει να αντικατασταθούν, θα χρεώσουμε μόνο την τιμή κόστους.