Σύστημα χάραξης πλάσματος επαγωγικής σύζευξης (ICP) Εξοπλισμός ημιαγωγών, Κίνα Σύστημα χάραξης πλάσματος επαγωγικής ζεύξης (ICP) Εξοπλισμός ημιαγωγών Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Factory

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

Σύστημα χάραξης πλάσματος επαγωγικής σύζευξης (icp).

Σύστημα χάραξης πλάσματος επαγωγικής ζεύξης (ICP) Λεπτομέρειες εξοπλισμού ημιαγωγών

Προμηθευτής εξοπλισμού ημιαγωγών με επαγωγική σύζευξη Plasma Etching System (ICP).

Σύστημα χάραξης πλάσματος επαγωγικής ζεύξης (ICP) Εργοστάσιο εξοπλισμού ημιαγωγών

Αποτέλεσμα διαδικασίας

Χαλαζία / πυρίτιο / χάραξη τριψίματος

Χρησιμοποιώντας μάσκα BR για χάραξη υλικών χαλαζία ή πυριτίου, το μοτίβο της διάταξης τριψίματος έχει την πιο λεπτή γραμμή έως 300 nm και η απότομη κλίση του μοτίβου στο πλευρικό τοίχωμα είναι κοντά σε > 89°, η οποία μπορεί να εφαρμοστεί σε τρισδιάστατη οθόνη, μικροοπτικές συσκευές, οπτικοηλεκτρονική επικοινωνία. και τα λοιπά

Σύνθετη / ημιαγωγική χάραξη

Ο ακριβής έλεγχος της θερμοκρασίας της επιφάνειας του δείγματος μπορεί να ελέγξει καλά τη μορφολογία χάραξης των υλικών με βάση το GaN, τα GaAs, το InP και τα μεταλλικά υλικά. Είναι κατάλληλο για συσκευές μπλε lED, λέιζερ, οπτική επικοινωνία και άλλες εφαρμογές.

Επαγωγική σύζευξη Plasma Etching System ( ICP ) Κατασκευή εξοπλισμού ημιαγωγών

Χάραξη υλικού με βάση το πυρίτιο

Είναι κατάλληλο για χάραξη υλικών με βάση το πυρίτιο όπως Si, SiO2 και SiNx. Μπορεί να πραγματοποιήσει χάραξη γραμμής πυριτίου πάνω από 50nm και χάραξη βαθιάς οπής πυριτίου κάτω από 100um

Χαρακτηριστικά

Διάγραμμα διαμόρφωσης έργου και δομής μηχανής

Είδος	MD150S-ICP	MD200S-ICP	MD150CS-ICP	MD200CS-ICP	MD300C-ICP
Μέγεθος προϊόντων	≤6 ίντσες	≤8 ίντσες	≤6 ίντσες	≤8 ίντσες	Προσαρμοσμένο≥12 ίντσες
Πηγή ισχύος SRF	0~1000W/2000W/3000W/5000WAdjustable,automatic matching\,13.56MHz/27MHz
Πηγή ισχύος BRF	0~300W/0~500W/0~1000WAdjustable, automatic matching,2MHz/13.56MHz
Μοριακή αντλία	Μη διαβρωτικό : 600 /1300 (L/s)/Προσαρμοσμένο			Αντιδιαβρωτικό:600 /1300 (L./s)/Προσαρμ		600/1300(L/s) /Προσαρμ
Αντλία εμπρός γραμμής	Μηχανική αντλία / ξηρή αντλία			Αντιδιαβρωτική ξηρή αντλία		Μηχανική αντλία / ξηρή αντλία
Αντλία προάντλησης	Μηχανική αντλία / ξηρή αντλία			Μηχανική αντλία / ξηρή αντλία
Πίεση διαδικασίας	Μη ελεγχόμενη πίεση/0-0.1/1/10 Torr ελεγχόμενη πίεση
Τύπος αερίου	H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/NH3/C2F6/Custom (Έως 12 κανάλια, χωρίς διαβρωτικό και τοξικό αέριο)			H2/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/CHF3/ C4F8/NF3/NH3/C2F6/Cl2/BCl3/HBr/ Προσαρμοσμένο (έως 12 κανάλια)
Εύρος αερίου	0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/1000sccm/Custom
LoadLock	Ναι όχι			Ναι
Δείγμα ελέγχου θερμοκρασίας	10°C~Δωματίου/ -30°C~150°C /Προσαρμοσμένο			-30°C~200°C/Προσαρμοσμένο
Πίσω ψύξη ηλίου	Ναι όχι			Ναι
Επένδυση κοιλότητας διεργασίας	Ναι όχι			Ναι
Έλεγχος θερμοκρασίας τοιχώματος κοιλότητας	Όχι/Θερμ. δωματίου-60/120°C			Θερμοκρασία δωματίου~60/120°C
Σύστημα ελέγχου	Αυτόματο/προσαρμοσμένο
Υλικό χάραξης	Βάση πυριτίου: Si/SiO2/ SiNx/ SiC..... Οργανικά υλικά: PR/Οργανικά ταινία......			Βάση πυριτίου: Si/SiO2/SiNx/SiC III-V: InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI: CdTe...... Μαγνητικό υλικό / υλικό κράματος Μεταλλικά υλικά: Ni/Cr/Al/Cu/Au... Οργανικά υλικά: PR/Organic film...... Βαθιά χάραξη πυριτίου

Συσκευασία & παράδοση

Εταιρικό Προφίλ

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.