δομή |
παρουσιάστε |
Εμφάνιση της ζώνης |
Ζώνη εκτύπωσης: ζώνη, περιοχή τοποθέτησης υποστρώτη |
Οπτικό σύστημα |
Περιοχή εκπομπής λέιζερ |
Σύστημα έλεγχου περιβάλλοντος |
Έλεγχος της εσωτερικής θερμοκρασίας και της θετικής πίεσης του συστήματος |
Σύστημα πλατφόρμας |
Έλεγχει την κίνηση του πινάκα εκτίμησης για να ολοκληρώσει τη λειτουργία της μοντπάθειας |
Σύστημα Ελέγχου |
Σύστημα ελέγχου του συνόλου της υποδομής |
Όχι. |
Περιβάλλο |
Απαιτούν |
1 |
Φωτιστικό περιβάλλον |
Κίτρινο φως |
2 |
Θερμοκρασία |
22℃±2℃ |
3 |
Υγρασία |
50%±10% |
4 |
Καθαριότητα |
1000 |
5 |
CDA |
0.6±0.1Mpa, 200LPM, ξερός, καθαρός αέρας |
6 |
Χορήγηση ενέργειας |
220~240V, 50/60Hz, 2.5KW. Το διάστημα έδαφος πρέπει να εδαφιστεί. |
7 |
Ψυγερό νερό |
Θερμοκρασία: 10℃~ 20℃ Πίεση: 0.3MPa ~ 0.5MPa Ρυθμός ροής: 20L/min Διαφορά πίεσης: 0.3MPa και μεγαλύτερη Διάβληση διαμέτρου: Rc3/8 |
8 |
Τόπος διεξαγωγής |
επίπεδο: ±3mm/3000mm σεισμός: VC-B Αξονικό: 750kg/㎡ |
10 |
Διαδίκτυο |
Ένα δίκτυο πύργος |
11 |
Μέγεθος Μηχανής |
1300*1100*2100mm |
12 |
Βάρος συσκευής |
1500κγ |
Όχι. |
Έργο |
- Ειδικότητα. |
Παρατήρηση |
1 |
Ψήφισμα |
0.6um/ή άλλη απαίτηση |
AZ703, AZ1350 |
2 |
CDU |
±10%@1um |
|
3 |
Πάχος υποβάθρου |
0.2mm~4mm |
|
4 |
Ακρίβεια πλέγματος ημερομηνιών |
60nm |
|
5 |
Επικάλυψη |
±500nm |
130mmx130mm |
6 |
Ακρίβεια σύνδεσης |
±200nm |
AZ703 |
7 |
Μέγιστο μέγεθος εκκίνησης |
190X190mm |
|
8 |
Διαδρομή |
≥300mm2/μελ. |
≤50mj/cm2; |
9 |
πηγή φωτός |
LD 375nm |
|
10 |
φωτεινή ισχύς |
6W |
|
11 |
Ομοιομορφία ενέργειας |
≥ 95% |
|
12 |
διάρκεια φωτός |
10000ωρ |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved