MCXJ-MLS8 Σύστημα λιθογραφίας χωρίς μάσκα , Κίνα MCXJ-MLS8 Σύστημα λιθογραφίας χωρίς μάσκα Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Εργοστάσιο

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

Δείγμα:

MCXJ-MLS8 Κατασκευή συστήματος λιθογραφίας χωρίς μάσκα

Διάγραμμα δομής εξοπλισμού

Προμηθευτής συστήματος λιθογραφίας χωρίς μάσκα MCXJ-MLS8

Χαρακτηριστικά

Διάγραμμα δομής ξενιστή έκθεσης

δομή	εικονογραφώ
Αποκάλυψη του πάγκου	Περιοχή έκθεσης: πάγκος, περιοχή τοποθέτησης υποστρώματος
Οπτικό σύστημα	Περιοχή καλουπώματος εκπομπής λέιζερ
Σύστημα περιβαλλοντικού ελέγχου	Ελέγξτε την εσωτερική θερμοκρασία και τη θετική πίεση της συσκευής
Σύστημα πλατφόρμας	Ελέγχει την κίνηση του πίνακα έκθεσης για την ολοκλήρωση της λειτουργίας της διαδρομής έκθεσης
Σύστημα ελέγχου	Σύστημα ελέγχου ολόκληρου του εξοπλισμού

Σημείωση: Επειδή η αναβάθμιση του μηχανήματος μπορεί να αλλάξει την πραγματική εμφάνιση, το συγκεκριμένο αντικείμενο στο πραγματικό προϊόν.

Όχι.	Περιβάλλον	Απαίτηση
1	Περιβάλλον πηγής φωτός	Κίτρινο φως
2	Θερμοκρασία	22 ℃ ± 2 ℃
3	Υγρασία	50% ± 10%
4	Καθαριότητα	1000
5	CDA	0.6±0.1Mpa, 200LPM, ξηρός, καθαρός αέρας
6	τροφοδοτικό	220~240V,50/60Hz,2.5KW· Το καλώδιο γείωσης πρέπει να είναι γειωμένο.
7	ψύξης νερού	Θερμ.: 10℃~ 20℃ Πίεση: 0.3 MPa ~ 0.5 MPa Ρυθμός ροής: 20L/min Διαφορά πίεσης: 0.3MPa以上 Διαμέτρημα ανάληψης: Rc3/8
8	Χώρος δεξίωσης	επίπεδο:±3mm/3000mm ανακίνηση:VC-B Ρουλεμάν:750kg/㎡
10	Internet	Μία θύρα δικτύου
11	το μέγεθος του μηχανήματος	1300 1100 * * 2100mm
12	Βάρος συσκευής	1500kg

Όχι.	ΕΡΓΟ	Spec.	Παρατήρηση
1	Ανάλυση	0.6um/ή άλλη απαίτηση	AZ703, AZ1350
2	CDU	±10%@1μ
3	Πάχος υποστρώματος	0.2 mm έως 4 mm
4	Ακρίβεια πλέγματος ημερομηνιών	60nm
5	Επικάλυμμα	± 500nm	130mmx130mm
6	Ακρίβεια ραφής	± 200nm	AZ703
7	ΜΕΓΙΣΤΟ μέγεθος έκθεσης	190X190mm
8	Διακίνηση	≥300mm2/min	≤50mj/cm2；
9	πηγή φωτός	LD 375nm
10	ελαφριά δύναμη	6W
11	Ενεργειακή ομοιομορφία	≥% 95
12	ελαφριά ζωή	10000hr

Συσκευασία & παράδοση

Εταιρικό Προφίλ

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.