Μονάδα υποδοχής πλάσματος κενού(100) |
||
Μέγεθος εξοπλισμού |
Μ 1000×Π 900×Υ 1750mm |
|
βάρος |
500Kg |
|
Ζήτηση τροφοδοσίας |
AC380V, 50 / 60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικός ανοιχτός τύπος πάνω από C) |
|
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||
δύναμη |
ραδιοσυχνοτητα |
ενδιάμεση συχνότητα |
0 ~ 600W |
0-1000W |
|
συχνότητα παροχής |
13.56MHz |
40 K Hz |
Σύστημα κενού |
||
αντλία κενού |
Περιστροφική αντλία υπερπτήσεως (αντλία λαδιού): 60 m3/h |
|
αγωγός κενού |
Όλη η γραμμή από ανοξείδωτο χάλυβα, καθώς και φυσούνες κενού υψηλής αντοχής |
|
ποιότητα υλικού |
αλουμίνιο |
|
πάχος |
25mm |
|
σφικτότητα |
Σφραγίδα συγκόλλησης στρατιωτικής ποιότητας |
|
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
450*450*500 mm (Πλάτος* υψηλό * βάθος) |
|
Ηλεκτρική πλάκα αποτελεσματικό μέγεθος |
322*351mm (πλάτος *βάθος) |
|
Διαθέσιμος χώρος |
20mm |
|
Διάταξη ηλεκτροπλάκας |
Οριζόντια πλάκα ηλεκτροδίου |
|
δίσκοι |
Στάνταρ σετ, υλικό προαιρετικό (αλουμίνιο, συρμάτινο πλέγμα από χάλυβα) |
|
χώρο εργασίας |
8 στρώμα |
|
αέριο επεξεργασίας |
||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
Διαδρομή αερίου διεργασίας |
Τυπικό με δύο τρόπους, μπορεί να προσαρμοστεί. Ο αγωγός αερίου διεργασίας είναι κατασκευασμένος από ferrofllon |
|
ναβάρ |
||
SC |
PLC |
|
διαδραστική λειτουργία |
Οθόνη αφής 7 ιντσών |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος