Κύρια μονάδα κενού πλάσματος (100) |
||
Μέγεθος εξοπλισμού |
M 1000×Π 900×Υ 1750mm |
|
Βάρος |
500χλμ |
|
Απαιτούμενη παροχή ενέργειας |
AC380V, 50/60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικά ανοιχτού τύπου πάνω από C) |
|
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||
Δύναμη |
Ραδιοσυχνότητα |
μεσαία συχνότητα |
0~600W |
0-1000W |
|
συχνότητα εφοδιασμού |
13,56 MHZ |
40 K Hz |
Σύστημα κενού |
||
Αντλία κενού |
Ροταρία μεταφορική βάλευσης (ελαιοπομπή): 60 m3/ωρ |
|
δικτύο κενού |
Όλη γραμμή από ανθρακικό χάλυβα, καθώς και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδές |
|
Ποιότητα Υλικού |
alufer |
|
Πάχος |
25mm |
|
σφράγιση |
Σφραγίδα συνδεσμού στρατιωτικού επιπέδου |
|
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
450*450*500mm (πλάτος * ύψος * βάθος) |
|
Αποτελεσματική μέγεθος ηλεκτρικής πλάκας |
322*351mm (πλάτος * βάθος) |
|
Διαθέσιμος χώρος απόστασης |
20mm |
|
Διάταξη ηλεκτρικής πλάκας |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|
Δίσκοι |
Κανονικό σύνολο, υλικό προαιρετικό (άλουμινο, χάλκινο πλέγμα) |
|
χώρος εργασίας |
8 στρώματα |
|
Αέρας διεργασίας |
||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
Δρομός αερίου προϊόντος |
Κανονικά με δύο τρόπους, μπορεί να παρατάξει. Ο δρομός αερίου προϊόντος κατασκευάζεται από φεροφλόν |
|
navar |
||
SC |
ΠΛΚ |
|
διαδραστικός λάθος |
Οθόνη Ημιχειριστικής 7 ίντσες |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved