Κύρια μονάδα πλάσματος κενού (100) |
||||
Μέγεθος εξοπλισμού |
M 1000×Π 900×Υ 1750mm |
|||
βάρος |
500χλμ |
|||
Απαιτούμενη παροχή ενέργειας |
AC380V, 50/60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικά ανοιχτού τύπου πάνω από C) |
|||
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||||
δύναμη |
ραδιοσυχνότητα |
μεσαία συχνότητα |
||
0~600W |
0-1000W |
|||
συχνότητα εφοδιασμού |
13,56 MHZ |
40 K Hz |
||
Σύστημα κενού |
||||
αντλία κενού |
Ροταρία μεταφορική βάλευσης (ελαιοπομπή): 60 m3/ωρ |
|||
δικτύο κενού |
Όλη γραμμή από ανθρακικό χάλυβα, καθώς και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδές |
|||
ποιότητα Υλικού |
alufer |
|||
πάχος |
25mm |
|||
σφράγιση |
Σφραγίδα συνδεσμού στρατιωτικού επιπέδου |
|||
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
450*450*500mm (πλάτος * ύψος * βάθος) |
|||
Αποτελεσματική μέγεθος ηλεκτρικής πλάκας |
322*351mm (πλάτος * βάθος) |
|||
Διαθέσιμος χώρος απόστασης |
20mm |
|||
Διάταξη ηλεκτρικής πλάκας |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|||
δίσκοι |
Κανονικό σύνολο, υλικό προαιρετικό (άλουμινο, χάλκινο πλέγμα) |
|||
χώρος εργασίας |
8 στρώματα |
|||
αέρας διεργασίας |
||||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|||
Δρομός αερίου προϊόντος |
Κανονικά με δύο τρόπους, μπορεί να παρατάξει. Ο δρομός αερίου προϊόντος κατασκευάζεται από φεροφλόν |
|||
navar |
||||
SC |
ΠΛΚ |
|||
διαδραστικός λάθος |
οθόνη Ημιχειριστικής 7 ίντσες |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved