Κύρια μονάδα κενού πλάσματος (150) |
||
Μέγεθος εξοπλισμού |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|
Βάρος |
600κγ |
|
Απαιτούμενη παροχή ενέργειας |
AC380V, 50/60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικά ανοιχτού τύπου πάνω από C) |
|
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||
Δύναμη |
Ραδιοσυχνότητα |
μεσαία συχνότητα |
0~1000W |
0-2000W |
|
συχνότητα εφοδιασμού |
13,56 MHZ |
40 K Hz |
Σύστημα κενού |
||
Αντλία κενού |
Leap μονοπόλειος πυρετήρας VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|
δικτύο κενού |
Όλη γραμμή από ανθρακικό χάλυβα, καθώς και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδές |
|
Ποιότητα Υλικού |
alufer |
|
Πάχος |
25mm |
|
σφράγιση |
Σφραγίδα συνδεσμού στρατιωτικού επιπέδου |
|
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
500*500*600mm (Πλάτος*Ύψος*Βάθος) |
|
Αποτελεσματική μέγεθος ηλεκτρικής πλάκας |
372(Π) X 451(Β)mm |
|
Διαθέσιμος χώρος απόστασης |
24mm |
|
Διάταξη ηλεκτρικής πλάκας |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|
Δίσκοι |
Κανονικό σύνολο, υλικό προαιρετικό (άλουμινο, χάλκινο πλέγμα) |
|
χώρος εργασίας |
8 στρώματα |
|
Αέρας διεργασίας |
||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
Δρομός αερίου προϊόντος |
Κανονικά με δύο τρόπους, μπορεί να παρατάξει. Ο δρομός αερίου προϊόντος κατασκευάζεται από φεροφλόν |
|
Σύστημα Ελέγχου |
||
SC |
Έλεγχος με PC |
|
διαδραστικός λάθος |
Διεπαφή Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved