Μονάδα υποδοχής πλάσματος κενού (150) | ||||
Μέγεθος εξοπλισμού | Μ 1100×Π 940×Υ 1755mm | |||
βάρος | 600Kg | |||
Ζήτηση τροφοδοσίας | AC380V, 50 / 60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικός ανοιχτός τύπος πάνω από C) | |||
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος | ||||
δύναμη | ραδιοσυχνοτητα | ενδιάμεση συχνότητα | ||
0 ~ 1000W | 0-2000W | |||
συχνότητα παροχής | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Σύστημα κενού | ||||
αντλία κενού | Μονόπολη αντλία Leap VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 | |||
αγωγός κενού | Όλη η γραμμή από ανοξείδωτο χάλυβα, καθώς και φυσούνες κενού υψηλής αντοχής | |||
ποιότητα υλικού | αλουμίνιο | |||
πάχος | 25mm | |||
σφικτότητα | Σφραγίδα συγκόλλησης στρατιωτικής ποιότητας | |||
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας | 500*500*600 χιλιοστά (πλάτος* υψηλό * βάθος) | |||
Ηλεκτρική πλάκα αποτελεσματικό μέγεθος | 372 (Π) X 451 (Δ) χλστ | |||
Διαθέσιμος χώρος | 24mm | |||
Διάταξη ηλεκτροπλάκας | Οριζόντια πλάκα ηλεκτροδίου | |||
δίσκοι | Στάνταρ σετ, υλικό προαιρετικό (αλουμίνιο, συρμάτινο πλέγμα από χάλυβα) | |||
χώρο εργασίας | 8 στρώμα | |||
Αέριο διεργασίας | ||||
Εύρος ροής | 0~300SCCM | |||
Διαδρομή αερίου διεργασίας | Τυπικό με δύο τρόπους, μπορεί να προσαρμοστεί. Ο αγωγός αερίου διεργασίας είναι κατασκευασμένος από ferrofllon | |||
Σύστημα ελέγχου | ||||
SC | ελέγχου PC | |||
διαδραστική λειτουργία | Διασύνδεση των Windows |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος