Κύρια μονάδα κενού πλάσματος (150) |
||||
Μέγεθος εξοπλισμού |
L 1100×W 940×H 1755mm |
|||
βάρος |
600κγ |
|||
Απαιτούμενη παροχή ενέργειας |
AC380V, 50/60Hz, 5 γραμμές, 25A (συνολικά ανοιχτού τύπου πάνω από C) |
|||
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||||
δύναμη |
ραδιοσυχνότητα |
μεσαία συχνότητα |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
συχνότητα εφοδιασμού |
13,56 MHZ |
40 K Hz |
||
Σύστημα κενού |
||||
αντλία κενού |
Leap μονοπόλειος πυρετήρας VSV 65 + Bowse Lots Pump BSJ 70 |
|||
δικτύο κενού |
Όλη γραμμή από ανθρακικό χάλυβα, καθώς και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδές |
|||
ποιότητα Υλικού |
alufer |
|||
πάχος |
25mm |
|||
σφράγιση |
Σφραγίδα συνδεσμού στρατιωτικού επιπέδου |
|||
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας |
500*500*600mm (Πλάτος*Ύψος*Βάθος) |
|||
Αποτελεσματική μέγεθος ηλεκτρικής πλάκας |
372(Π) X 451(Β)mm |
|||
Διαθέσιμος χώρος απόστασης |
24mm |
|||
Διάταξη ηλεκτρικής πλάκας |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|||
δίσκοι |
Κανονικό σύνολο, υλικό προαιρετικό (άλουμινο, χάλκινο πλέγμα) |
|||
χώρος εργασίας |
8 στρώματα |
|||
Αέρας διεργασίας |
||||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|||
Δρομός αερίου προϊόντος |
Κανονικά με δύο τρόπους, μπορεί να παρατάξει. Ο δρομός αερίου προϊόντος κατασκευάζεται από φεροφλόν |
|||
Σύστημα Ελέγχου |
||||
SC |
Έλεγχος με PC |
|||
διαδραστικός λάθος |
Διεπαφή Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved