Κύριος οικοδεσπότης πλάσματος κενού (200) |
||
Μέγεθος εξοπλισμού |
1050×1700×1050mm(πλάτος, ύψος και βάθος) |
|
Βάρος |
800kg |
|
ζητούμενη δύναμη |
AC380V,50/60Hz,5δρομοί, 30A |
|
Προδιαγραφές Γεννήτριας Πλάσματος |
||
ιστορία δυνάμεως |
Ραδιοσυχνότητα |
αν |
0~1000W |
0-2000W |
|
Συχνότητα δυναμικού |
13,56 MHZ |
40 KHz |
Σύστημα κενού |
||
Αντλία κενού |
Feiyue unipolar pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|
γραμμή κενού |
Όλες οι διαχωστές φιάλες από ανθρακιούχο χάλυβα, και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδή |
|
Υλικό |
Κράμα αλουμινίου |
|
Πάχος |
25mm |
|
σφράγιση |
Σφράγιση κολλώσεως στρατιωτικού βαθμού |
|
Διαστάσεις εσωτερικού χώρου της καβερνάς |
600×600×600mm(Π×Υ×Μ) |
|
Αποτελεσματική μέγεθος της πλάκας ηλεκτρόδου |
472 X 451mm (Π×Μ) |
|
διαθέσιμος χώρος |
35mm |
|
Διάταξη πλάκας ηλεκτρόδου |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|
πιάτο εργασίας |
Ένα σύνολο είναι κανονικό, και το υλικό είναι επιλογή (άλουμινο, χάλκινο δίκτυο) |
|
χώρος εργασίας |
8 ορόφοι |
|
Αέρας διεργασίας |
||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
Επεξεργασία αεριού κυκλώματος |
Εξοπλισμένο με O2, Ar, N2 τριώνο αερίου |
|
Σύστημα Ελέγχου |
||
Ελέγχος συστήματος |
Έλεγχος με PC |
|
διαδραστικός λάθος |
Διεπαφή Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved