Ξενιστής πλάσματος κενού(200) |
||
Μέγεθος εξοπλισμού |
1050×1700×1050mm (πλάτος, ύψος και βάθος) |
|
βάρος |
800Kg |
|
απαιτούν ισχύ |
AC380V,50/60Hz,5wires, 30A |
|
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος |
||
ρεύματος δικτύου |
ραδιοσυχνοτητα |
IF |
0 ~ 1000W |
0-2000W |
|
Συχνότητα ρεύματος |
13.56MHz |
40 KHz |
Σύστημα κενού |
||
αντλία κενού |
Μονοπολική αντλία Feiyue VSV100+ Αντλία με δύο ρίζες BSJ70 |
|
γραμμή κενού |
Όλοι οι σωλήνες από ανοξείδωτο χάλυβα και οι φυσούνες κενού υψηλής αντοχής |
|
υλικό |
Κράμμα αλουμινίου |
|
πάχος |
25mm |
|
σφικτότητα |
Συγκολλημένη σφραγίδα στρατιωτικού βαθμού |
|
Εσωτερικές διαστάσεις κοιλότητας |
600×600×600 χιλιοστά (Π×Υ×Β) |
|
Αποτελεσματικό μέγεθος πλάκας ηλεκτροδίου |
472 X 451 mm (Π×Β) |
|
χώρος διαθέσιμος |
35mm |
|
Διάταξη πλάκας ηλεκτροδίου |
Οριζόντια πλάκα ηλεκτροδίου |
|
δίσκος εργασίας |
Ένα σετ είναι στάνταρ και το υλικό είναι προαιρετικό (αλουμίνιο, χαλύβδινο πλέγμα) |
|
Χώρος εργασίας |
8 ορόφους |
|
Αέριο διεργασίας |
||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|
Κύκλωμα αερίου διεργασίας |
Εξοπλισμένο με αέριο τριών δρόμων O2, Ar, N2 |
|
Σύστημα ελέγχου |
||
έλεγχος συστήματος |
ελέγχου PC |
|
διαδραστική λειτουργία |
Διασύνδεση Windows |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος