Οχυρός πλάσματος κενού(200) |
||||
Μέγεθος εξοπλισμού |
1050×1700×1050mm(πλάτος, ύψος και βάθος) |
|||
βάρος |
800kg |
|||
ζητούμενη δύναμη |
AC380V,50/60Hz,5δρομοί, 30A |
|||
Προδιαγραφές Γεννήτριας Πλάσματος |
||||
ιστορία δυνάμεως |
ραδιοσυχνότητα |
Αν |
||
0~1000W |
0-2000W |
|||
Συχνότητα δυναμικού |
13,56 MHZ |
40 KHz |
||
Σύστημα κενού |
||||
αντλία κενού |
Feiyue unipolar pump VSV100+Both Roots pump BSJ70 |
|||
γραμμή κενού |
Όλες οι διαχωστές φιάλες από ανθρακιούχο χάλυβα, και υψηλής ισχύος κενού πλινθοειδή |
|||
υλικό |
Κράμα αλουμινίου |
|||
πάχος |
25mm |
|||
σφράγιση |
Σφράγιση κολλώσεως στρατιωτικού βαθμού |
|||
Διαστάσεις εσωτερικού χώρου της καβερνάς |
600×600×600mm(Π×Υ×Μ) |
|||
Αποτελεσματική μέγεθος της πλάκας ηλεκτρόδου |
472 X 451mm (Π×Μ) |
|||
διαθέσιμος χώρος |
35mm |
|||
Διάταξη πλάκας ηλεκτρόδου |
Οριζόντια πλάτη ηλεκτρόδου |
|||
πιάτο εργασίας |
Ένα σύνολο είναι κανονικό, και το υλικό είναι επιλογή (άλουμινο, χάλκινο δίκτυο) |
|||
Χώρος εργασίας |
8 ορόφοι |
|||
Αέρας διεργασίας |
||||
Εύρος ροής |
0~300SCCM |
|||
Επεξεργασία αεριού κυκλώματος |
Εξοπλισμένο με O2, Ar, N2 τριώνο αερίου |
|||
Σύστημα Ελέγχου |
||||
ελέγχος συστήματος |
Έλεγχος με PC |
|||
διαδραστικός λάθος |
Διεπαφή Windows |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved