Μονάδα υποδοχής πλάσματος κενού (60)
|
||||
Μέγεθος εξοπλισμού
|
Μ 950×Π 900×Υ 1650mm
|
|||
βάρος
|
350Kg
|
|||
Ζήτηση τροφοδοσίας
|
AC380V, 50 / 60Hz, 5 γραμμές, 16A (συνολικός ανοιχτός τύπος πάνω από C)
|
|||
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος
|
||||
δύναμη
|
ραδιοσυχνοτητα
|
ενδιάμεση συχνότητα
|
||
0 ~ 600W
|
0-1000W
|
|||
συχνότητα παροχής
|
13.56MHz
|
40 K Hz
|
||
Σύστημα κενού
|
||||
αντλία κενού
|
Περιστροφική αντλία δύο σταδίων (αντλία λαδιού): 40m3/h
|
|||
αγωγός κενού
|
Όλη η γραμμή από ανοξείδωτο χάλυβα, καθώς και φυσούνες κενού υψηλής αντοχής
|
|||
ποιότητα υλικού
|
Κράμα αλουμινίου (προσαρμόσιμη κοιλότητα από ανοξείδωτο χάλυβα)
|
|||
πάχος
|
25mm
|
|||
σφικτότητα
|
Σφραγίδα συγκόλλησης στρατιωτικής ποιότητας
|
|||
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας
|
375*375*430 mm (Πλάτος* υψηλό * βάθος)
|
|||
Ηλεκτρική πλάκα αποτελεσματικό μέγεθος
|
247*281mm (πλάτος* βάθος)
|
|||
Διαθέσιμος χώρος
|
22mm
|
|||
Διάταξη ηλεκτροπλάκας
|
Οριζόντια διάταξη, μπορεί να είναι ενεργή εξαγωγή
|
|||
δίσκοι
|
Στάνταρ σετ, υλικό προαιρετικό (αλουμίνιο, συρμάτινο πλέγμα από χάλυβα)
|
|||
χώρο εργασίας
|
6 στρώμα
|
|||
αέριο επεξεργασίας
|
||||
Εύρος ροής
|
0~300SCCM
|
|||
Διαδρομή αερίου διεργασίας
|
Τυπικό με δύο τρόπους, μπορεί να προσαρμοστεί. Ο αγωγός αερίου διεργασίας είναι κατασκευασμένος από ferrofllon
|
|||
ναβάρ
|
||||
SC
|
PLC
|
|||
διαδραστική λειτουργία
|
Οθόνη αφής 7 ιντσών
|
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος