Μονάδα υποδοχής πλάσματος κενού (60) | ||||
Μέγεθος εξοπλισμού | Μ 950×Π 900×Υ 1650mm | |||
βάρος | 350Kg | |||
Ζήτηση τροφοδοσίας | AC380V, 50 / 60Hz, 5 γραμμές, 16A (συνολικός ανοιχτός τύπος πάνω από C) | |||
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος | ||||
δύναμη | ραδιοσυχνοτητα | ενδιάμεση συχνότητα | ||
0 ~ 600W | 0-1000W | |||
συχνότητα παροχής | 13.56MHz | 40 K Hz | ||
Σύστημα κενού | ||||
αντλία κενού | Περιστροφική αντλία δύο σταδίων (αντλία λαδιού): 40m3/h | |||
αγωγός κενού | Όλη η γραμμή από ανοξείδωτο χάλυβα, καθώς και φυσούνες κενού υψηλής αντοχής | |||
ποιότητα υλικού | Κράμα αλουμινίου (προσαρμόσιμη κοιλότητα από ανοξείδωτο χάλυβα) | |||
πάχος | 25mm | |||
σφικτότητα | Σφραγίδα συγκόλλησης στρατιωτικής ποιότητας | |||
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας | 375*375*430 mm (Πλάτος* υψηλό * βάθος) | |||
Ηλεκτρική πλάκα αποτελεσματικό μέγεθος | 247*281mm (πλάτος* βάθος) | |||
Διαθέσιμος χώρος | 22mm | |||
Διάταξη ηλεκτροπλάκας | Οριζόντια διάταξη, μπορεί να είναι ενεργή εξαγωγή | |||
δίσκοι | Στάνταρ σετ, υλικό προαιρετικό (αλουμίνιο, συρμάτινο πλέγμα από χάλυβα) | |||
χώρο εργασίας | 6 στρώμα | |||
αέριο επεξεργασίας | ||||
Εύρος ροής | 0~300SCCM | |||
Διαδρομή αερίου διεργασίας | Τυπικό με δύο τρόπους, μπορεί να προσαρμοστεί. Ο αγωγός αερίου διεργασίας είναι κατασκευασμένος από ferrofllon | |||
ναβάρ | ||||
SC | PLC | |||
διαδραστική λειτουργία | Οθόνη αφής 7 ιντσών |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος