Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
EN
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Λάβε Εγγραφή

Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

αρχική σελίδα
Σχετικά με Εμάς
MH Equipment
Λύση
Χρήστες Εκτός Από την Επιχείρηση
Βίντεο
Επικοινωνία μαζί μας
Αρχική> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • Ολοκληρωμένο Αυτόματο Μηχάνημα Ετσιμών ICP MDICP-5000F / Εξοπλισμός Ημιαγωγών Με Αναπόσπαστη Σύνδεση Πλάσματος
  • Ολοκληρωμένο Αυτόματο Μηχάνημα Ετσιμών ICP MDICP-5000F / Εξοπλισμός Ημιαγωγών Με Αναπόσπαστη Σύνδεση Πλάσματος
  • Ολοκληρωμένο Αυτόματο Μηχάνημα Ετσιμών ICP MDICP-5000F / Εξοπλισμός Ημιαγωγών Με Αναπόσπαστη Σύνδεση Πλάσματος
  • Ολοκληρωμένο Αυτόματο Μηχάνημα Ετσιμών ICP MDICP-5000F / Εξοπλισμός Ημιαγωγών Με Αναπόσπαστη Σύνδεση Πλάσματος

Ολοκληρωμένο Αυτόματο Μηχάνημα Ετσιμών ICP MDICP-5000F / Εξοπλισμός Ημιαγωγών Με Αναπόσπαστη Σύνδεση Πλάσματος

Λάβετε Δωρεάν Προσφορά
Περιγραφή Προϊόντος

MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή εξαγωγής ICP

MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory

Περίληψη

Το εξοπλισμός είναι ένα σύστημα δύο δωματίων υπό κενό. Ένα δωμάτιο είναι το δωμάτιο εισαγωγής δειγμάτων και το άλλο είναι το δωμάτιο εξαγωγής. Ένα κενό κλειδώματος εγκαθίσταται μεταξύ του δωματίου εισαγωγής δειγμάτων και του δωματίου εξαγωγής, και η εισαγωγή δειγμάτων μεταφέρεται από μανιπουλερ.
Το εξαρτημα αποτελείται κυρίως από σύστημα κενού, σύστημα πνευματικών κυκλωμάτων, ηλεκτρικό σύστημα, σύστημα ελέγχου, σύστημα ψύξης, μηχανισμού προμήθειας και παραλήψεως φιλμ, σύστημα ειδοποίησης, κλπ.

Σύστημα κενού

Το σύστημα αποτελείται από μοριακή βάλβα με ταχύτητα ροής 600 L/Σ + εισαγωγική ξερή βάλβα κενού με ταχύτητα ροής L/Σ για να εκτοξεύει το δωμάτιο εντομώνεσης σε υψηλό κενό. Μια ηλεκτρική δυναμική βάλβα ρύθμισης πίεσης εγκαθίσταται μεταξύ της μοριακής βάλβας και του δωματίου εντομώνεσης. Η εισαγωγική ξερή βάλβα είναι η προηγούμενη βάλβα εκτόξευσης του δωματίου εντομώνεσης και η πρώτη στάδιο βάλβα της μοριακής βάλβας. Χρησιμοποιείται μια άλλη μηχανική βάλβα με ταχύτητα ροής L/Σ για να εκτοξεύει το δωμάτιο δειγμάτων. Χρησιμοποιούνται αστράγαλοι από αντισεισμικό χάλκας για τη σύνδεση μεταξύ της μηχανικής βάλβας και του κενού δωματίου και της μοριακής βάλβας, και εγκαθίσταται μια ηλεκτρομαγνητική πνευματική βάλβα μπλοκ.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Το εξαρμοστικό είναι οπλισμένο με σύστημα διαχείρισης σταθερής πίεσης κάτω από ροή, και έχει εγκατασταθεί ηλεκτρικός ρυθμιστικός σφίγγος στον αεριούλιο αγωγό. Μέσω της μέτρησης του φιλμ-μετρητή (εισαγωγικά μέρη), ο ρυθμιστικός σφίγγος ελέγχεται ώστε να φτάσει η κενούποιη θάλαμος σε σταθερή πίεση, με σκοπό να βελτιωθεί η διαδικασία σταθερότητας.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Το εξαρμοστικό είναι οπλισμένο με σύστημα διαχείρισης σταθερής πίεσης κάτω από ροή, και έχει εγκατασταθεί ηλεκτρικός ρυθμιστικός σφίγγος στον αεριούλιο αγωγό. Μέσω της μέτρησης του φιλμ-μετρητή (εισαγωγικά μέρη), ο ρυθμιστικός σφίγγος ελέγχεται ώστε να φτάσει η κενούποιη θάλαμος σε σταθερή πίεση, με σκοπό να βελτιωθεί η διαδικασία σταθερότητας.

Σύστημα κυκλοφορίας αερίου

Δύο σύνολα RF υποστηρικτικών με αυτόματη σύμπτωση.

σύστημα σήματος

Ασφαλεία απαιτήσεων για το εξαρμοστικό.
Περιγραφή
Όνομα
Spc
Μάρκα
Αριθμός Σετ
Σημείωση
Θάλαμος εκτύπωσης, αεριούλιος αγωγός, παρατηρητικό παράθυρο, κλπ
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Πλαίσιο, ηλεκτρικό κιβώτιο, σφραγίδες, κανονικά τμήματα, κλπ
Πρότυπο
JSWN
1
Σύστημα εγείρσης κάλυψης θαλάμου ψαλιδογραφήσεως
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Ηλεκτρόδιο ψαλιδογραφήσεως και σύστημα ψύξης
Πρότυπο
JSWN
1
Αντιρροπικός
Μοριακή πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 600 L/s)
FF620/150
KYKY
1
Αντιρροπικός
Εισαγωγική ξηρή πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 9 L/s)
XDS-35I
Edwards
1
Αντιρροπικός
Μηχανική πομπή (ταχύτητα ανασύρσης 9 L/s)
TRP-36
BWVAC
1
Ηλεκτρικό ρυθμιστικό πύλημα
DCQ-150
JSWN
1
Αντιρροπικός
Πνευματικό σάκουλο κλειδώματος
KF40
JSWN
3
Αντιρροπικός
Μεμβράνη μέτρου
KF16
INFICON
1
Αντιρροπικός
Έλεγχος μάζας ροής
D07
Sevenstar
4
Αντιρροπικός
Πνευματικό διάφραγμα κλειδώματος
1/4″VCR
-
4
Αντιρροπικός
Άχρωμα χάλκινο αγωγό, σύνδεση αγωγού κ.α.
1/4″VCR
-
4
Αντιρροπικός
Προμήθεια RF / αυτόματος προσαρμογέας
-
Κίνα(Παραλλαγή CROWN1310 προαιρετικά)
1
Προμήθεια RF / αυτόματος προσαρμογέας
-
Κίνα(Παραλλαγή CROWN1310 προαιρετικά)
1
Σύνθετος βαρόμετρος κενού
ΖΔΦ
ΡΜ
1
ΔΕΠ
2Υ
Κίνα
1
Οθόνη αφής LCD
17 ίντσες
Κίνα
1
σύστημα ελέγχου plc
S7-200
SIEMENS
1
Ηλεκτρικό σύστημα έλεγχου κινητήρα
Πρότυπο
JSWN
1
Ανίχνευση καλύψιμου νερού και σύστημα δικτύων
Πρότυπο
JSWN
1
Ανίχνευση συμπιεσμένου αέρα και σύστημα δικτύων
Πρότυπο
JSWN
1
Μηχάνημα κυκλοφορίας ψύξης νερού
hx
Κίνα
1
Καμάρα εισαγωγής για εκβολή
Πρότυπο
JSWN
1
Κλειδωμένο κενό
SMC
SMC
1
Σύστημα ελέγχου μανιπουλάτορα
SMC
SMC
1

Τεχνικό παράμετρο email

1. Περιορισμένο κενό: Καμάρα εκβολής 9.0×10-5Pa (Εσωτερική υγρασία ≤55%)
Καμάρα δειγματοληψίας εισαγωγής 6.0×10-1Pa
2. Υλικό εκβολής: Υλικό ΙΙΙ, Β, Si, SiO2 κλπ.
3. Ρυθμός ενταγής: ~ 1μ/λεπτό
4. Ομοιομορφία ενταγής: ≤±5％(φ125mm μέχρι)
6. Διάστημα ηλεκτρώδου: φ200mm
Συσκευασία & Παράδοση
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
Για να διασφαλιστεί καλύτερα η ασφάλεια των αγαθών σας, θα παρέχονται επαγγελματικές, φιλικές προς το περιβάλλον, βολικές και αποτελεσματικές υπηρεσίες συσκευασίας.
Προφίλ Εταιρείας
Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στην πώληση εξαρτημάτων. Μπορούμε να σας προσφέρουμε επαγγελματική λύση για κατασκευαστική γραμμή εξοπλισμών για τον πρώτο και δεύτερο αλληλεπτρο της βιομηχανίας παραγωγής παραγωγών μεμονωμένων από την Κίνα.
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma factory
MDICP-5000F Fully Automatic ICP Etching Machine / Semiconductor equipment Inductively Coupled Plasma supplier

Περισσότερα Προϊόντα

Ερώτημα

Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved

Πολιτική Απορρήτου

Ερώτημα Email whatsapp Top
×

ΣΥΝΔΕΘΕΙΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ