MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή χάραξης ICP / Εξοπλισμός ημιαγωγών Επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα , Κίνα MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή χάραξης ICP / εξοπλισμός ημιαγωγών Επαγωγικά συζευγμένο πλάσμα Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Εργοστάσιο

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

MDICP-5000F Πλήρως αυτόματη μηχανή χάραξης ICP

Περίληψη

Ο εξοπλισμός είναι ένα σύστημα κενού δύο θαλάμων. Ο ένας θάλαμος είναι ο θάλαμος δειγματοληψίας έγχυσης και ο άλλος είναι ο θάλαμος χάραξης. Μια κλειδαριά κενού τοποθετείται μεταξύ του θαλάμου δειγματοληψίας έγχυσης και του θαλάμου χάραξης και η δειγματοληψία έγχυσης μεταφέρεται με χειριστή.
Ο εξοπλισμός αποτελείται κυρίως από σύστημα κενού, σύστημα κυκλώματος αερίου, ηλεκτρικό σύστημα, σύστημα ελέγχου, σύστημα ψύξης, μηχανισμό τροφοδοσίας και λήψης φιλμ, σύστημα συναγερμού κ.λπ.

Σύστημα κενού

Το σύστημα αποτελείται από μια μοριακή αντλία με ταχύτητα άντλησης 600 L / S + μια εισαγόμενη ξηρή αντλία κενού με ταχύτητα άντλησης L / s για την άντληση του θαλάμου χάραξης σε υψηλό κενό. Μια ηλεκτρική δυναμική βαλβίδα ρύθμισης πίεσης είναι εγκατεστημένη μεταξύ της μοριακής αντλίας και του θαλάμου χάραξης. Η εισαγόμενη ξηρή αντλία είναι η αντλία προάντλησης του θαλάμου χάραξης και η αντλία μπροστινής βαθμίδας της μοριακής αντλίας. Χρησιμοποιήστε μια άλλη μηχανική αντλία με ταχύτητα άντλησης L / s για να σκουπίσετε το θάλαμο δείγματος. Οι φυσούνες από ανοξείδωτο χάλυβα χρησιμοποιούνται για τη σύνδεση μεταξύ της μηχανικής αντλίας και του θαλάμου κενού και της μοριακής αντλίας και έχει τοποθετηθεί ηλεκτρομαγνητική πνευματική βαλβίδα μπλοκ.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Ο εξοπλισμός είναι εξοπλισμένος με σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης κατάντη και μια ηλεκτρική ρυθμιζόμενη βαλβίδα είναι εγκατεστημένη στον αγωγό εξαγωγής αέρα. Μέσω της μέτρησης του μετρητή φιλμ (εισαγόμενα μέρη), η ρυθμιζόμενη βαλβίδα ελέγχεται για να κάνει τον θάλαμο κενού να φτάσει σταθερή πίεση, έτσι ώστε να βελτιωθεί η σταθερότητα της διαδικασίας.

Σύστημα ελέγχου σταθερής πίεσης

Σύστημα κυκλώματος αερίου

Δύο σετ τροφοδοσίας RF με αυτόματη αντιστοίχιση.

Σύστημα συναγερμού

Απαιτήσεις ασφαλείας για εξοπλισμό.

Χαρακτηριστικά

Όνομα	Spc	Μάρκα	Αρ./Σετ	Σημείωση
Θάλαμος χάραξης, αγωγός εξαγωγής αέρα, παράθυρο παρατήρησης, δεσμευμένη διεπαφή κ.λπ	Βασική	JSWN	1	Αντιδιαβρωτικό
Πλαίσιο, ηλεκτρικό ντουλάπι, τσιμούχες, τυποποιημένα εξαρτήματα κ.λπ	Βασική	JSWN	1
Σύστημα ανύψωσης καλύμματος θαλάμου χάραξης	Βασική	JSWN	1	Αντιδιαβρωτικό
Ηλεκτρόδιο χάραξης και σύστημα ψύξης	Βασική	JSWN	1	Αντιδιαβρωτικό
Μοριακή αντλία (ταχύτητα άντλησης 600 L / s)	FF620/150	ΚΥΚΥ	1	Αντιδιαβρωτικό
Αντλία ξηρής εισόδου (ταχύτητα άντλησης 9 L / s)	XDS-35I	ΕΝΤΟΥΑΡΝΤΣ	1	Αντιδιαβρωτικό
Μηχανική αντλία (ταχύτητα άντλησης 9 L / s)	TRP-36	BWVAC	1
Ηλεκτρική βαλβίδα πύλης ρύθμισης	DCQ-150	JSWN	1	Αντιδιαβρωτικό
Βαλβίδα διακοπής πνευματικής φυσούνας	KF40	JSWN	3	Αντιδιαβρωτικό
Μετρητής φιλμ	KF16	INFICON	1	Αντιδιαβρωτικό
Ελεγκτής μαζικής ροής	D07	Sevenstar	4	Αντιδιαβρωτικό
Πνευματική βαλβίδα διαφράγματος	1/4″VCR	-	4	Αντιδιαβρωτικό
Σωλήνας από ανοξείδωτο χάλυβα, σύνδεσμος σωλήνα κ.λπ	1/4″VCR	-	4	Αντιδιαβρωτικό
Τροφοδοτικό ραδιοσυχνοτήτων / αυτόματο matcher	-	Κίνα (ΠροαιρετικόCROWN1310)	1
Τροφοδοτικό ραδιοσυχνοτήτων / αυτόματο matcher	-	Κίνα (ΠροαιρετικόCROWN1310)	1
Σύνθετος μετρητής κενού	ZDF	RB	1
IPC	2U	Κίνα	1
Οθόνη αφής LCD	17inch	Κίνα	1
Σύστημα ελέγχου PLC	S7-200	Siemens	1
Σύστημα ελέγχου ηλεκτρικής κίνησης	Βασική	JSWN	1
Σύστημα ανίχνευσης και σωληνώσεων νερού ψύξης	Βασική	JSWN	1
Σύστημα ανίχνευσης και σωληνώσεων πεπιεσμένου αέρα	Βασική	JSWN	1
Μηχανή κυκλοφορίας νερού ψύξης	HX	Κίνα	1
Θάλαμος έγχυσης χάραξης	Βασική	JSWN	1
Κλειδαριά κενού	SMC	SMC	1
Σύστημα ελέγχου χειριστή	SMC	SMC	1

Τεχνική παράμετρος αλληλογραφίας

1. Όριο κενού: Θάλαμος χάραξης 9.0×10-5Pa (Εσωτερική υγρασία≤55%)
Θάλαμος δειγματοληψίας έγχυσης 6.0×10-1Pa
2. Υλικό χάραξης: Ⅲ, Ⅴ Υλικό, Si, SiO2, κ.λπ.
3. Ταχύτητα χάραξης: ~ 1μ/min
4. Ομοιομορφία χάραξης: ≤±5％ (εύρος φ125mm)
6. Μέγεθος ηλεκτροδίου: φ200mm

Συσκευασία & παράδοση

Για την καλύτερη διασφάλιση της ασφάλειας των προϊόντων σας, θα παρέχονται επαγγελματικές, φιλικές προς το περιβάλλον, βολικές και αποτελεσματικές υπηρεσίες συσκευασίας.

Εταιρικό Προφίλ

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.