Τύπος |
MDPS-560 II |
||
Κύρια Καμάρα Σπατερίνγκ |
καμάρα κενού μορφής πυρενιού, μέγεθος:Φ560×350mm |
||
Καμάρα Εισαγωγής Δειγμάτων |
κυλινδρική και οριζόντια τύπου, μέγεθος: Φ250mm×420mm |
||
Σύστημα άντλησης |
ανεξάρτητο σύνολο μοριακού και μηχανικού κανονιού για την κύρια καμάρα σπατερίνγκ και την καμάρα εισαγωγής δειγμάτων. |
||
Απόλυτος Κενός |
Κύρια Καμάρα Σπατερίνγκ |
≤6.67×10-6Pa(μετά την φωρμίση και απόβραση) |
|
Καμάρα Εισαγωγής Δειγμάτων |
≤6.67×10-4Pa(μετά την φωρμίση και απόβραση) |
||
Χρόνος Ανάκτησης Κενού |
Κύρια Καμάρα Σπατερίνγκ |
6.6×10-4Pa μετά από 40 λεπτά (ανασυσσώρευση μετά από σύντομη εκτίθεση στον αέρα και γεμισμένο με ξηρό νιτρογενικό) |
|
Καμάρα Εισαγωγής Δειγμάτων |
6.6×10-3Pa μετά από 40 λεπτά (ανασυσσώρευση μετά από σύντομη εκτίθεση στον αέρα και γεμισμένο με ξηρό νιτρογενικό) |
||
Μονάδα Στόχου Magnetron |
5 πρωτεύοντα μαγνήτια στόχοι, μέγεθος Φ60mm (ένας από τους στόχους μπορεί να καταπάτησε υλικά ferromagnetic).Όλοι οι στόχοι μπορούν να καταπάτησουν RF και DC καταπάτηση συμβατά, και η απόσταση μεταξύ στόχου και δείγματος να είναι ρυθμιζόμενη από 40mm έως 80mm. |
||
Τραπεζίδα Επιθέρμανσης Υδατικής Ψύξης |
Δομή Υποστρώματος |
Έξι σταθμοί, καμίνος επιθέρμανσης εγκατεστημένος σε ένα σταθμό, και οι άλλοι είναι σταθμοί ψύξης υποστρώματος με ύδατος. |
|
Μέγεθος |
Φ30mm, έξι φωτογραφίες. |
||
Τρόπος κίνησης |
0-360°, αντιστρόφως. |
||
Θέρμανση |
Μέγιστη θερμοκρασία 600℃±1℃ |
||
Αρνητική κλίμακα υποβάθρου |
-200V |
||
Σύστημα κυκλοφορίας αερίου |
Διπλή ελέγχου μάζας ροής (MFC) |
||
Καμάρα Εισαγωγής Δειγμάτων |
Δειγματοθήκη |
Έξι απλοϊκά την ίδια φορά |
|
Αναμορφωτής |
Μέγιστη θερμαντική θερμοκρασία 800℃±1℃ |
||
Μονάδα Στόχου Resputtering |
Καθαρισμός Resputtering |
||
Σύστημα Αποστολής Μαγνήτων Δειγμάτων |
Χρησιμοποιείται για τη μεταφορά δειγμάτων μεταξύ της θάλαμος σπατισμού και της θάλαμος εισαγωγής δειγμάτων. |
||
Σύστημα Διαχείρισης Υπολογιστή |
Περιστροφή δείγματος, ανοικτές και κλειστές περιβάλλοντες, και ελεγχόμενη θέση στόχου |
||
Χώρος Πάνω στο Τραπέζι |
Κύρια Συσκευασία |
2600×900mm2 |
|
Ηλεκτρικός πίνακας |
700×700mm2(δύο σύνολα) |
||
Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
