1.Τύπος έκθεσης: μονής όψης.
2.Περιοχή έκθεσης:110×110mm.
3. Ανομοιόμορφος φωτισμός έκθεσης: ≤±3%.
4. Ένταση έκθεσης: 0-30mw/cm2 ρυθμιζόμενη.
5.Γωνία δέσμης UV: ≤3°.
6.Κεντρικό μήκος κύματος υπεριώδους φωτός:365nm.
7. Διάρκεια ζωής πηγής φωτός UV: ≥500 ώρες.
8.Υιοθέτηση ηλεκτρονικού κλείστρου.
9. Ανάλυση έκθεσης: 1 μm;
10. Εύρος μικροσκοπικής σάρωσης: X:±15mm Y:±15mm;
11. Εύρος ευθυγράμμισης: Ρύθμιση X,Y±4mm;Ρύθμιση διεύθυνσης Q±3°.
12. Ακρίβεια χάραξης: 1 μ Η ακρίβεια της «έκδοσης» και του «τσιπ» του χρήστη πρέπει να συμμορφώνεται με τους εθνικούς κανονισμούς,
και το περιβάλλον, η θερμοκρασία, η υγρασία και η σκόνη μπορούν να ελεγχθούν αυστηρά. Χρησιμοποιείται εισαγόμενο θετικό φωτοανθεκτικό υλικό και το πάχος του ομοιόμορφου φωτοανθεκτικού μπορεί να βe αυστηρά ελεγχόμενο. Επιπλέον, οι μπροστινές και οι πίσω διαδικασίες είναι προηγμένες.
13. Ποσότητα διαχωρισμού; 0~50 μm ρυθμιζόμενο.
14. Μέθοδος έκθεσης: στενή έκθεση, η οποία μπορεί να επιτύχει σκληρή επαφή, μαλακή επαφή και έκθεση επαφής μικροδυνάμεων. 15.Τύπος εύρεσης τετραγώνων:αέρας