1.Τύπος εκτίθεσης: μονόπλευρος.
2.Εμφανιστικός χώρος: 110x110mm.
3.Ανισότητα εκτίθεσης φωτισμού: ≤±3%.
4.Ένταση εκτίθεσης: 0-30mw/cm2 σταθερή.
5.Γωνία UV ακτινοβολίας: ≤3°.
6.Κεντρική κυματομήκεια ultraviolet φωτιάς: 365nm.
7.Ζωή UV φωτιστικού πηγαίου: ≥500 ωρών.
8.Χρήση ηλεκτρονικού στερεακτινού.
9.Λύση εκτίθεσης: 1 μm;
10. Χωριστικό πεδίο μικροσκοπικής σάρωσης: X: ±15mm Y: ±15mm;
11. Πεδίο εξαρτών: Σύμβαση X,Y ±4mm; Σύμβαση κατεύθυνσης Q ±3°;
12. Ακρίβεια γλυφής: 1 μμ. Η ακρίβεια της «έκδοσης» και του «χίπ» του χρήστη πρέπει να συμμορφώνεται με τις εθνικές κανονισμούς,
και οι συνθήκες, η θερμοκρασία, η υγρασία και η σόγια μπορούν να ελέγχονται αυστηρά. Χρησιμοποιείται εισαγόμενος θετικός φωτορυθμιστής και η βάρδια φωτορυθμιστή μπορεί να ελέγχεται αυστηρά, επιπλέον, οι προηγμένες διαδικασίες είναι προηγμένες;
13. Ποσό αποσπάσματος: 0~50 μμ αναδιαμόρφωση;
14. Μέθοδος εκθέσεως: κοντινή εκθέση, η οποία μπορεί να επιτύχει σκληρή επαφή, μαλακή επαφή και εκθέση μικρής δύναμης επαφής; 15. Τύπος εύρεσης τετραγώνου: αέριο