Ευθυγραμμιστής μάσκας υψηλής ακρίβειας MDXN-25D4, Κίνα Ευθυγραμμιστής μάσκας υψηλής ακρίβειας MDXN-25D4 Κατασκευαστές, προμηθευτές, εργοστάσιο

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

Αυτός ο εξοπλισμός χρησιμοποιείται κυρίως για την ανάπτυξη και παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μικρού και μεσαίου μεγέθους, εξαρτημάτων ημιαγωγών και επιφανειακών συσκευών ακουστικών κυμάτων. Λόγω του προηγμένου μηχανισμού ισοπέδωσης και της χαμηλής δύναμης ισοπέδωσης, αυτό το μηχάνημα είναι κατάλληλο όχι μόνο για την έκθεση διαφόρων τύπων υποστρωμάτων, αλλά και για την έκθεση υποστρωμάτων που κατακερματίζονται εύκολα, όπως το αρσενικό κάλιο και ο φωσφορικός χάλυβας, καθώς και η έκθεση σε μη κυκλικά και μικρά υποστρώματα.

Κατασκευή MDXN-25D4 Mask Aligner υψηλής ακρίβειας

Χαρακτηριστικά

Βασικές τεχνικές παράμετροι

1. Τύπος έκθεσης: μονή πλευρική έκθεση
2. Περιοχή έκθεσης: 110X110mm;
3. Ομοιομορφία έκθεσης: ≥ 97%;
4. Ένταση έκθεσης: 0-30mw/cm2 ρυθμιζόμενη.
5. Γωνία δέσμης UV: ≤ 3 °
6. Κεντρικό μήκος κύματος υπεριώδους φωτός: 365nm.
7. Διάρκεια ζωής πηγής φωτός UV: ≥ 20000 ώρες; (2 χρόνια εγγύηση)
8. Υιοθέτηση ηλεκτρονικού κλείστρου.
9. Ανάλυση έκθεσης: 1 μ M
10.Εύρος προβολής καμάρας: ± 15mm Υ: ± 15mm
11. Εύρος ευθυγράμμισης: x: ± 4mm Y: ± 4mm Q:±3°.
12. Ακρίβεια ευθυγράμμισης: 1um (σε καλή κατάσταση περιβάλλοντος)
13. Εύρος απόστασης διαχωρισμού: 0-50um ρυθμιζόμενο.
14. Μέθοδος έκθεσης: έκθεση επαφής. (σκληρό/μαλακό/μικρό άγγιγμα)
15.Μέθοδος ισορροπίας: Επίπλευση αέρα.
16. Μικροσκοπικό σύστημα: σύστημα CCD διπλού οπτικού πεδίου, αντικειμενικός φακός 1.6X~10X, σύστημα επεξεργασίας εικόνας υπολογιστή, οθόνη LCD 19" Συνολική μεγέθυνση 91-570x. Απόσταση αντικειμενικού φακού: 50-120mm.
17. Μέγεθος μάσκας: 127*127mm;102*102mm
18. Μέγεθος υποστρώματος: Φ102mm；Φ76mm
19. Πάχος υποστρώματος: ≤1mm
20. Χρόνος έκθεσης: 0-999.9 δευτερόλεπτα ρυθμιζόμενο.
21.Ισχύς: 220V 50Hz 1.5kw.
22.πηγή αέρα;0.4Mpa
23.Βαθμός κενού: -0.07MPa~-0.09Mpa

Συσκευασία & παράδοση

Λεπτομέρειες ευθυγράμμισης μάσκας υψηλής ακρίβειας MDXN-25D4

Εργοστάσιο ευθυγράμμισης μάσκας υψηλής ακρίβειας MDXN-25D4

Εταιρικό Προφίλ

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.