Αυτός ο εξοπλισμός είναι μια μηχανή λιθογραφίας ακριβείας που αναπτύχθηκε από την εταιρεία μας ειδικά για τα χαρακτηριστικά χρήσης λιθογραφικών μηχανών σε διάφορα κολέγια και ερευνητικά ιδρύματα. Χρησιμοποιείται κυρίως για την ανάπτυξη και παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων μικρού και μεσαίου μεγέθους, εξαρτημάτων ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικών συσκευών και συσκευών επιφανειακών ακουστικών κυμάτων.
Χαρακτηριστικά
Βασικές τεχνικές παράμετροι
1. Η συσκευή μπορεί να προσροφήσει με ηλεκτρική σκούπα μια τετράγωνη μάσκα 5 "X5", χωρίς ειδικές απαιτήσεις για το πάχος της πλάκας (που κυμαίνεται από 1 έως 3 mm). 2. Η συσκευή μπορεί να εφαρμοστεί σε κυκλικό υπόστρωμα ф 100mm. 3. Πάχος υποστρώματος ≤ 5mm. 4. Φωτισμός: Πηγή φωτός: Χρησιμοποιείται λυχνία υδραργύρου συνεχούς ρεύματος υδραργύρου GCQ350Z εξαιρετικά υψηλής πίεσης. Εύρος φωτισμού: ≤ ф 117mm Περιοχή έκθεσης: ф 100mm παραμονή ф Εντός εύρους 100 mm, η ανομοιομορφία της έκθεσης είναι ≤ ± 3%, και η ένταση έκθεσης είναι >6mw/cm2 (αυτός ο δείκτης μετράται χρησιμοποιώντας μια πηγή φωτός UV I-line 365nm). 5. Αυτή η συσκευή υιοθετεί ένα εισαγόμενο ρελέ χρόνου για τον έλεγχο του πνευματικού κλείστρου, εξασφαλίζοντας ακριβή και αξιόπιστη λειτουργία. 6. Αυτό το μηχάνημα είναι ένα μηχάνημα έκθεσης επαφών που μπορεί να επιτύχει: 7. Έκθεση σκληρής επαφής: Χρησιμοποιήστε το κενό αγωγού για να αποκτήσετε υψηλή επαφή κενού, κενό ≤ -0.05 MPa 8. Έκθεση μαλακής επαφής: Η πίεση επαφής μπορεί να αυξήσει το κενό μεταξύ -0.02MPa και -0.05MPa. 9. Έκθεση μικροεπαφών: λιγότερο από μαλακή επαφή, κενό ≥ -0.02MPa. 10. Ανάλυση έκθεσης: Η ανάλυση της έκθεσης σε σκληρή επαφή αυτής της συσκευής μπορεί να φτάσει το 1 μ Πάνω από m (η ακρίβεια της "πλάκας" και του "τσιπ" του χρήστη πρέπει να συμμορφώνεται με τους εθνικούς κανονισμούς και το περιβάλλον, η θερμοκρασία, η υγρασία και η σκόνη μπορούν να να ελέγχεται αυστηρά το εισαγόμενο θετικό φωτοανθεκτικό υλικό και το πάχος του ομοιόμορφου φωτοανθεκτικού μπορεί να ελέγχεται αυστηρά. 11. Ευθυγράμμιση: Το σύστημα παρατήρησης αποτελείται από δύο κάμερες CCD που είναι τοποθετημένες σε δύο μικροσκόπια μονού σωλήνα και συνδέονται με την οθόνη προβολής μέσω καλωδίου βίντεο.
Συσκευασία & παράδοση
Εταιρικό Προφίλ
Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.
EN
AR
BG
CS
DA
NL
FI
FR
DE
EL
IT
KO
ΟΧΙ
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
IW
ID
LT
SR
SL
UK
VI
ET
HU
TH
TR
FA
AF
MS
GA
IS
HY
AZ
KA
