1.Απαιτούμενη ενέργεια για εξοπλισμό: Τροφοδοτικό Mainframe: 220V, 50HZ, κατανάλωση ενέργειας≤1.5KW;
2.Εξοπλισμένο με αντλία κενού με τροφοδοτικό 220V.
3.Μέγεθος και βάρος: Μέγεθος:1200(μήκος)×720(πλάτος)×1500(υψηλό). Βάρος ≤170 kg;
4. Τοποθετήστε το σώμα του μηχανήματος σε έναν ειδικό πάγκο εργασίας.
5. Τύπος έκθεσης: τύπος επαφής, ευθυγράμμιση πλακών, έκθεση διπλής όψης.
6. Περιοχή έκθεσης: φ100mm;
7. Ανομοιόμορφη έκθεση: ≤±3%;
8. Ένταση έκθεσης: ≥5mw/cm2;
9.Ανάλυση έκθεσης: 2μm;
10.Λειτουργία έκθεσης: Ταυτόχρονη έκθεση διπλής όψης.
11. Εύρος ευθυγράμμισης: X: ±5mm Y:±5mm;
12.Ακρίβεια χάραξης: 2μm;
13.Εύρος περιστροφής: Ρύθμιση περιστροφής κατεύθυνσης Q≤±5°;
14.Μικροσκοπικό σύστημα: σύστημα CCD διπλού οπτικού πεδίου, αντικειμενικός φακός 1.6X~10X, σύστημα επεξεργασίας εικόνας υπολογιστή, οθόνη LCD 19";
15.Μέγεθος μάσκας: Δυνατότητα προσρόφησης υπό κενό