1. Τύπος έκθεσης: τύπος επαφής, ευθυγράμμιση πλακών, μονής έκθεσης διπλής όψης
2. Περιοχή έκθεσης: 110X110mm;
3. Ομοιομορφία έκθεσης: ≥ 97%;
4. Ένταση έκθεσης: 0-30mw/cm2 ρυθμιζόμενη.
5. Γωνία δέσμης UV: ≤ 3 °
6. Κεντρικό μήκος κύματος υπεριώδους φωτός: 365nm.
7. Διάρκεια ζωής πηγής φωτός UV: ≥ 20000 ώρες;
8. Θερμοκρασία επιφάνειας εργασίας: ≤ 30 ℃
9. Υιοθέτηση ηλεκτρονικού κλείστρου.
10. Ανάλυση έκθεσης: 1 μ M (το βάθος έκθεσης είναι περίπου 10 φορές το πλάτος της γραμμής)
11. Λειτουργία έκθεσης: Ταυτόχρονη έκθεση διπλής όψης
12. Εύρος ευθυγράμμισης: x: ± 5mm Y: ± 5mm
13. Ακρίβεια ευθυγράμμισης πλακών: 2 μ m
14. Εύρος περιστροφής: Ρύθμιση περιστροφής κατεύθυνσης Q ≤ ± 5 °
15. Μικροσκοπικό σύστημα: σύστημα CCD διπλού οπτικού πεδίου, αντικειμενικός φακός 1.6X~10X, σύστημα επεξεργασίας εικόνας υπολογιστή, οθόνη LCD 19"· Συνολική μεγέθυνση 91-570x
16. Μέγεθος μάσκας: Δυνατότητα απορρόφησης υπό κενό τετράγωνων μάσκες 5 ", χωρίς ιδιαίτερες απαιτήσεις για το πάχος της μάσκας (που κυμαίνεται από 1 έως 3mm).
17. Μέγεθος υποστρώματος: Κατάλληλο για υποστρώματα 4 ", με πάχος υποστρώματος που κυμαίνεται από 0.1 έως 2mm.
18. Κατά την παραγγελία, δεν υπάρχουν ειδικές απαιτήσεις και ένα ράφι 5 "X5 είναι στάνταρ, μπορείτε να προσαρμόσετε τα ράφια κάτω από 5" X5: