Μηχανή καθαρισμού πλάσματος καθαρισμού πλάσματος μικροκυμάτων Νέας γενιάς Εξοπλισμός διαλύματος συσκευασίας ημιαγωγών, Κίνα Μηχανή καθαρισμού πλάσματος καθαριστή πλάσματος μικροκυμάτων Νέας γενιάς Εξοπλισμός διαλύματος συσκευασίας ημιαγωγών Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Εργοστάσιο

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

Καθαριστικό πλάσματος μικροκυμάτων

Το SPV-100MWR είναι ένα σύστημα καθαρισμού πλάσματος μικροκυμάτων χαμηλής τάσης για ημιαγωγούς. Εφαρμόζοντας φούρνο μικροκυμάτων με συχνότητα 2.45 GHz στο παράθυρο στο τοίχωμα της κοιλότητας κενού, δημιουργείται ένας μεγάλος αριθμός συνεχούς πλάσματος και το τσιπ καθαρίζεται με την είσοδο στην κοιλότητα.

Προμηθευτής εξοπλισμού λύσεων συσκευασίας ημιαγωγών νέας γενιάς καθαριστικό πλάσματος μικροκυμάτων μηχανή καθαρισμού πλάσματος

Εφαρμογές

Νέας γενιάς καθαριστικό πλάσματος μικροκυμάτων μηχανή καθαρισμού πλάσματος Ημιαγωγών Εργοστάσιο εξοπλισμού λύσεων συσκευασίας

Χαρακτηριστικά

Ξενιστής πλάσματος κενού
Μέγεθος εξοπλισμού	1230X1800X1100mm (πλάτος x ύψος x βάθος)
Βάρος	450kg
Ζήτησης ισχύος	AC380V, 50/60Hz, 5-wire, 30A
Προδιαγραφές γεννήτριας πλάσματος
Τροφοδοτικό μικροκυμάτων	Power	0 ~ 1250W
		Συχνότητα	2.45GHz
Σύστημα κενού
Υλικα	Κράμα αλουμινίου (προσαρμόσιμος θάλαμος από ανοξείδωτο χάλυβα)
Πάχος	25mm
Εσωτερικές διαστάσεις της κοιλότητας	480mmX470mmX480mm
Χώροι εργασίας	6 ενότητες περιοδικών
Συλλογή	Το Slotted Magazine παρέχει ενισχυμένο αποτέλεσμα επεξεργασίας ECR
Δυνατότητα πλάσματος
Ικανότητα επεξεργασίας	35um Pitch 40μm χτύπημα Μέγιστο μέγεθος μήτρας 15X15mm