PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένος με πλάσμα / Διαδικασία PECVD υψηλής θερμοκρασίας, Κίνα PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένου πλάσματος / Διαδικασία PECVD υψηλής θερμοκρασίας Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Factory

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένος με πλάσμα

◆ Ο πλήρως αυτόματος έλεγχος του χρόνου διεργασίας, της θερμοκρασίας, της ροής αερίου, της δράσης της βαλβίδας και της πίεσης του θαλάμου αντίδρασης πραγματοποιείται με
βιομηχανικός υπολογιστής.
◆ Το εισαγόμενο σύστημα ελέγχου πίεσης και το σύστημα κλειστού βρόχου υιοθετούνται, με υψηλή σταθερότητα.
◆ Εισαγόμενα εξαρτήματα και βαλβίδες σωλήνων από ανοξείδωτο χάλυβα, ανθεκτικά στη διάβρωση, χρησιμοποιούνται για τη διασφάλιση της αεροστεγανότητας του κυκλώματος αερίου.
◆ Διαθέτει τέλεια λειτουργία συναγερμού και συσκευή κλειδώματος ασφαλείας.
◆ Διαθέτει συναγερμό εξαιρετικά υψηλής θερμοκρασίας και συναγερμό υπό θερμοκρασία, συναγερμό MFC, συναγερμό πίεσης θαλάμου αντίδρασης, συναγερμό RF, συναγερμό χαμηλής πίεσης συμπιεσμένου αέρα, συναγερμό χαμηλής πίεσης N2 και συναγερμό χαμηλής ροής νερού ψύξης.
◆ Το υπάρχον PECVD έχει τη λειτουργία της ανάπτυξης φιλμ SiO2 μετά την αναβάθμιση, η οποία λύνει το πρόβλημα PID της μονάδας μπαταρίας. Το φιλμ SiNxOy μπορεί να αναπτυχθεί (διαδικασία επαναπαθητικοποίησης), το οποίο μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την απόδοση μετατροπής της μπαταρίας.

PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένου πλάσματος / Προμηθευτής διεργασιών PECVD υψηλής θερμοκρασίας

PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένος με πλάσμα / Λεπτομέρειες διαδικασίας PECVD υψηλής θερμοκρασίας

PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένος με πλάσμα / Εργοστάσιο επεξεργασίας PECVD υψηλής θερμοκρασίας

Χαρακτηριστικά

◆ Ποσότητα φόρτωσης: 384 τεμάχια/σκάφος (125 * 125); 336 τεμάχια/βάρκα (156 * 156)
◆ Καθαριότητα πίνακα καθαρισμού: Βαθμός 100 (Βαθμός 10000 φυτό)
◆ Βαθμός αυτοματισμού: αυτόματος έλεγχος θερμοκρασίας και διαδικασίας.
◆ Τρόπος αποστολής και λήψης τσιπ: τύπος μαλακής προσγείωσης, με σταθερά και αξιόπιστα χαρακτηριστικά, χωρίς ερπυσμό, ακριβή τοποθέτηση, μεγάλη φέρουσα ικανότητα και μεγάλη διάρκεια ζωής.

Χαρακτηριστικά

Μέγιστη φόρτιση ανά σωλήνα	384 τεμάχια/βάρκα (125125) 336 τεμάχια/βάρκα (156156)
Ευρετήριο διαδικασίας	± 3% στο δισκίο, ± 3% μεταξύ των δισκίων, ± 3% μεταξύ των παρτίδων
θερμοκρασία εργασίας	200 500 ℃ ~
Ακρίβεια και μήκος ζώνης θερμοκρασίας (δοκιμή στατικού κλειστού σωλήνα)	1200mm±1℃
Ακρίβεια ροής αερίου	± 1% FS
Στεγανότητα του συστήματος κυκλώματος αέρα	1×10-7Pa.m³/S
έλεγχος	Πλήρως εισαγόμενο αυτόματο σύστημα ρύθμισης πίεσης κλειστού βρόχου, ακριβής έλεγχος του κενού αντίδρασης. Ισχύς υψηλής συχνότητας 40KHz Προμήθεια; Ομαλή προσγείωση σκάφους. Πλήρης ψηφιακός έλεγχος, τέλεια και ασφαλής προστασία ελέγχου διαδικασίας.
1 σωλήνας, 2 σωλήνες, 3 σωλήνες και 4 σωλήνες είναι προαιρετικοί. Ο αυτόματος χειριστής φόρτωσης είναι προαιρετικός και η απόδοση του εξοπλισμού και η απόδοση της διαδικασίας μπορεί να είναι συγκρίσιμη με τον κορυφαίο παρόμοιο εξοπλισμό στον κόσμο.

Συσκευασία & παράδοση

PECVD Εξοπλισμός εναπόθεσης χημικών ατμών ενισχυμένος με πλάσμα / Κατασκευή διεργασίας PECVD υψηλής θερμοκρασίας

Για την καλύτερη διασφάλιση της ασφάλειας των προϊόντων σας, θα παρέχονται επαγγελματικές, φιλικές προς το περιβάλλον, βολικές και αποτελεσματικές υπηρεσίες συσκευασίας.

Εταιρικό Προφίλ

Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμού. Μπορούμε να σας παρέχουμε επαγγελματική λύση εξοπλισμού γραμμής πακέτου One-stop Semiconductor Front-end και Back end Package από την Κίνα.