Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

αρχική σελίδα
Σχετικά με Εμάς
MH Equipment
Λύση
Χρήστες Εκτός Από την Επιχείρηση
Βίντεο
Επικοινωνία μαζί μας
Αρχική> PVD CVD ALD RIE ICP EBEAM
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD
  • PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD

PECVD Συσκευή πλάσματος ενισχυμένης χημικής ατμοπαραθέσεως / Υψηλότερης θερμοκρασίας διαδικασίας PECVD

Περιγραφή Προϊόντος

PECVD Πλασματική ενίσχυση χημικής καταθέσεως ατμού

◆ Η πλήρης αυτόματη ελεγχόμενη διαδικασία χρόνου, θερμοκρασίας, ροής αερίου, λειτουργίας τεμάχιων και πίεσης στον αντιδραστικό χώρο επιτυγχάνεται με
βιομηχανικό υπολογιστή.
◆ Χρησιμοποιείται εισαγωγικό σύστημα ελέγχου πίεσης και κλειστό κύκλος, με υψηλή σταθερότητα.
◆ Χρησιμοποιούνται εισαγωγικά ανθιστάμενα σε διάβρωση αγγεία και τζάμες από οξειδωμένο χάλυβα για να εγγυηθεί την αερομετρικότητα του αεριώδους κύκλου.
◆ Διαθέτει τέλεια λειτουργία προειδοποίησης και συστήματα ασφαλούς συμπλοκής.
◆ Διαθέτει προειδοποίηση υπερύθμου θερμοκρασίας και υποθερμίας, προειδοποίηση MFC, προειδοποίηση πίεσης στο αντιδραστήριο, προειδοποίηση RF, προειδοποίηση χαμηλής πίεσης συμπιεσμένου αέρα, προειδοποίηση χαμηλής πίεσης N2, και προειδοποίηση χαμηλής ροής ψύξιμου νερού.
◆ Το υπάρχον PECVD έχει τη λειτουργία ανάπτυξης φιλμ SiO2 μετά την αναβάθμιση, επιλύοντας το πρόβλημα PID του μοντουλίου βαταρείας. Μπορεί να αναπτυχθεί φιλμ SiNxOy (διαδικασία πίσω απόστεγασης), που μπορεί να βελτιώσει σημαντικά την απόδοση μετατροπής της βαταρείας.
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process supplier
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process details
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory

Τύπος

◆ Ποσότητα φόρτωσης: 384 κομμάτια/καράβα (125 * 125); 336 κομμάτια/καράβα (156 * 156)
◆ Καθαρότητα της πίνακα καθαρισμού: Βαθμός 100 (Φабρική Βαθμού 10000)
◆ Βαθμός αυτοματοποίησης: αυτόματος έλεγχος θερμοκρασίας και διαδικασίας.
◆ Λειτουργία αποστολής και λήψης χιπ: τύπου μαλακής επιβολής, με σταθερές και αξιόπιστες προδιαγραφές, χωρίς κυνάλευση, ακριβής θέση, μεγάλη φορτικότητα και μεγάλη διάρκεια ζωής.
Περιγραφή
Μέγιστη φόρτωση ανά τрубα
384 κομμάτια/πλοίο (125*125)
336 κομμάτια/πλοίο (156*156)
Ευρετήριο διαδικασίας
± 3% στην φάρμακο, ± 3% μεταξύ φαρμάκων, ± 3% μεταξύ αναμιξιών
Θερμοκρασία εργασίας
200~500℃
Ακρίβεια και μήκος ζώνης θερμοκρασίας (στατικός κλειστός δοκιμαστικός τεστ σε τрубα)
1200mm±1℃
Ακρίβεια ροής αερίου
±1%FS
Αεροστεγνότητα συστήματος κυκλώματος αέρα
1 × 10-7Pa.m3/S
Έλεγχος
Πλήρως εισαγόμενο αυτόματο σύστημα ρύθμισης πίεσης κλειστού κυκλώματος, ακριβής έλεγχος του κενού αντίδρασης. Δύναμη υψηλής συχνότητας 40KHz
Εφοδιασμός, μαλακή προσγείωση, πλήρης ψηφιακός έλεγχος, τέλεια και ασφαλή προστασία του ελέγχου της διαδικασίας.
1 σωλήνας, 2 σωλήνες, 3 σωλήνες και 4 σωλήνες είναι προαιρετικά. Ο αυτόματος χειριστής φόρτωσης είναι προαιρετικός και η απόδοση του εξοπλισμού
Η τεχνολογία αυτή είναι η πιο αποτελεσματική και η απόδοση της διαδικασίας είναι συγκρίσιμη με την κορυφαία παρόμοια συσκευή στον κόσμο.
Συσκευασία & Παράδοση
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process factory
PECVD Plasma enhanced chemical vapor deposition equipment / High temperature PECVD process manufacture
Για να διασφαλιστεί καλύτερα η ασφάλεια των αγαθών σας, θα παρέχονται επαγγελματικές, φιλικές προς το περιβάλλον, βολικές και αποτελεσματικές υπηρεσίες συσκευασίας.
Προφίλ Εταιρείας
Έχουμε 16 χρόνια εμπειρίας στην πώληση εξαρτημάτων. Μπορούμε να σας προσφέρουμε επαγγελματική λύση για κατασκευαστική γραμμή εξοπλισμών για τον πρώτο και δεύτερο αλληλεπτρο της βιομηχανίας παραγωγής παραγωγών μεμονωμένων από την Κίνα.

Ερώτημα

Ερώτημα Email whatsapp Top
×

ΣΥΝΔΕΘΕΙΤΕ ΜΑΖΙ ΜΑΣ