Αντικείμενο |
MD150-RIE |
MD200-RIE |
MD200C-RIE |
||
Μέγεθος Προϊόντος |
≤6 ευσταθών |
≤8 ευσταθών |
≤8 ευσταθών |
||
Πηγή RF δύναμης |
0-300W/500W/1000W Συνδιαστική, αυτόματη σύμπτωση |
||||
Μοριακός Κύλινδρος |
-\/620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom |
Αντισηπτικό 620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom |
|||
Συμπυκνωτική μετάβαση |
Μηχανική μετάβαση\/ξερή μετάβαση |
Ξηρά Αντλία |
|||
Πίεση προϊόντος |
Ανελεγχόμενος πίεστης\/0-1Torr ελεγχόμενος πίεστης |
||||
Τύπος αερίου |
H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Έως και 9 διαδρομές, χωρίς διαβρωτικά και δηλητηριώδη αέρια) |
H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr (Έως και 9 διαδρομές) |
|||
Περιοχή αερίου |
0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom |
||||
ΦόρτωσηΚλείδωμα |
Ναι/Όχι |
Ναι |
|||
Δειγματική ελέγχου θερμοκρασίας |
10°C~Θερμοκρασία Δωματίου/-30°C~100°C/Προσαρμογή |
-30°C~100°C/Προσαρμογή |
|||
Υποστήριξη ψύξης με λιθium |
Ναι/Όχι |
Ναι |
|||
Ενδιάμεση στέγαση καβούρντα |
Ναι/Όχι |
Ναι |
|||
Έλεγχος θερμοκρασίας του τοιχώματος |
Όχι/Θερμοκρασία Δωματίου~60/120°C |
Θερμοκρασία Δωματίου-60/120°C |
|||
Σύστημα Ελέγχου |
Αυτόματο/Προσαρμογή |
||||
Υλικό εκτύπωσης |
Σιλικονοβάσεια: Si/SiO2/SiNx··· IV-IV: SiC Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/Al/Au..... Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS/Οργανικό ταινία...... |
Σιλικονοβάσεια: Si/SiO2/SiNx...... III-V (σημείωση 3): InP/GaAs/GaN...... IV-IV: SiC II-VI (σημείωση 3): CdTe...... Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/A1/Au...... Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS / οργανική ταινία... |
Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία υλικών που είναι δύσκολο να επεξεργαστούν όπως κάποια μέταλλα (όπως Ni / Cr) και κεραμικά, και την υφαντική επεξεργασία των υλικών γίνεται με φυσική βομβαρδισμό. |
Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία και αφαίρεση οργανικών συστατικών όπως φωτορυθμιστής (PR) / PMMA / HDMS / πολυμερή |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved