Σύστημα Ετσιμών Ιοντικής Αντιδραστικής (RIE) Μηχανή RIE Ανάλυση Αποτυχίας , China Σύστημα Ετσιμών Ιοντικής Αντιδραστικής (RIE) Μηχανή RIE Ανάλυση Αποτυχίας Manufacturers, Suppliers, Factory

Περιγραφή Προϊόντος

Σύστημα εξαγωγής με αντιδραστικό ιό

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis supplier

Εφαρμογή

Στρώμα πασιβοποίησης: SiO2, SiNx
Πίσω σιλικόνιο
Στρώμα κολλώσεως: TaN
Διέρευνα: W

Χαρακτηριστικό

1. Εξαγωγή στρώματος πασιβοποίησης με ή χωρίς τρύπες;

2. Ενγραφή επικόλλησης στρωματοπέδου;

3. Ενγραφή πίσω από τον κούμπαλιο

Περιγραφή

Διάγραμμα διαμόρφωσης έργου και δομής μηχανήματος

Αντικείμενο	MD150-RIE	MD200-RIE	MD200C-RIE
Μέγεθος Προϊόντος	≤6 ευσταθών	≤8 ευσταθών	≤8 ευσταθών
Πηγή RF δύναμης	0-300W/500W/1000W Συνδιαστικό, αυτόματη σύμπτωση
Μοριακός Κύλινδρος	-\/620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom			Αντισηπτικό 620(Λ\/s)\/1300(Λ\/s)\/Custom
Συμπυκνωτική μετάβαση	Μηχανική μετάβαση\/ξερή μετάβαση			Ξηρά Αντλία
Πίεση προϊόντος	Ανελεγχόμενος πίεστης\/0-1Torr ελεγχόμενος πίεστης
Τύπος αερίου	H\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/SF6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Custom (Έως και 9 διαδρομές, χωρίς διαβρωτικά και δηλητηριώδη αέρια)			H2\/CH4\/O2\/N2\/Ar\/F6\/CF4\/ CHF3\/C4F8\/NF3\/Cl2\/BCl3\/HBr (Έως και 9 διαδρομές)
Περιοχή αερίου	0~5sccm\/50sccm\/100sccm\/200sccm\/300sccm\/500sccm\/custom
ΦόρτωσηΚλείδωμα	Ναι/Όχι			Ναι
Δειγματική ελέγχου θερμοκρασίας	10°C~Θερμοκρασία Δωματίου/-30°C~100°C/Προσαρμογή			-30°C~100°C/Προσαρμογή
Υποστήριξη ψύξης με λιθium	Ναι/Όχι			Ναι
Ενδιάμεση στέγαση καβούρντα	Ναι/Όχι			Ναι
Έλεγχος θερμοκρασίας του τοιχώματος	Όχι/Θερμοκρασία Δωματίου~60/120°C			Θερμοκρασία Δωματίου-60/120°C
Σύστημα Ελέγχου	Αυτόματο/Προσαρμογή
Υλικό εκτύπωσης	Σιλικονοβάσειο: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/Al/Au. Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS/Οργανική ταινία.			Σιλικονοβάσειο: Si/SiO2/SiNx. III-V(σημ.3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (σημ.3): CdTe. Φερομαγνητικά υλικά/υλικά αλλοιώσεων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/A1/Au. Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS /οργανική ταινία.

1. Εμπόδιση της αποσκευασίας των χιτώνων
2. Ελάχιστο κόμβος που μπορεί να επεξεργαστεί: 14nm:
3. Ταξιδιωτικό ρυθμός SiO2/SiNx: 50~150 nm/λεπτό;
4. Ασθενής επιφάνεια εξαγωγής: 5. Υποστήριξη περιβάλλοντος πασιβοποίησης, στρώμα σύνδεσης και αντίστροφη εξαγωγή σιλικίου;
6. Αποδοχή λόγου για Cu/Al:>50
7. Ολοκληρωμένη μηχανή LxWxH: 1300mmX750mmX950mm
8. Υποστήριξη εκτέλεσης με ένα κλικ

Αποτέλεσμα διαδικασίας

Εξαγωγή βασικού υλικού σιλικίου

Υλικά με βάση κρυστάλλινο, νανο-χαρακτιστικά μοτίβα, πίνακας
μοτίβα και χαρακτιστικά επεξεργασίας φακών

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis factory

Κανονική θερμοκρασία επεξεργασίας InP

Επεξεργασία μοτίβων σε συσκευές με βάση InP που χρησιμοποιούνται στην απομακρυσμένη επικοινωνία, συμπεριλαμβανομένων των δομών διαδρομής και των δομών επαναληπτικού φωνείου.

Επεξεργασία υλικού SiC

Ιδανικό για μικροκυματικές συσκευές, συσκευές δυνάμεως κ.λπ.

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis details

Φυσική σπατάληση, επεξεργασία οργανικών υλικών

Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία υλικών που είναι δύσκολο να επεξεργαστούν όπως κάποια μέταλλα (όπως Ni / Cr) και κεραμικά, και την
επεξεργασία μοτίβων.

Χρησιμοποιείται για την επεξεργασία και αφαίρεση οργανικών συστατικών όπως φωτορυθμιστής (PR) / PMMA / HDMS / πολυμερή

Εμφάνιση αποτελεσμάτων ανάλυσης αποτυχίας

Reactive ion etching system RIE machine RIE Failure analysis manufacture

Λεπτομέρειες προϊόντος

Συσκευασία & Παράδοση

μηχανή συγκόλλησης

Προφίλ Εταιρείας

Το μηχάνημα Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) είναι ένα κορυφαίο τεχνολογικό σύστημα που μπορεί να εξαγγείλει και να αναλύσει διάφορους τύπους υλικών με εκπληκτική ακρίβεια. Αυτό το μηχάνημα σχεδιάστηκε για χρήση σε διάφορες βιομηχανίες όπου η μικροπαραγωγή ή η εξαγγελία απαιτείται συχνά. Κατασκευάζεται από υψηλής ποιότητας υλικά που το καθιστούν βαρετό, αξιόπιστο και σε θέση να παράγει εξαιρετικά αποτελέσματα.

Εξοπλισμένο με γεννήτρια RF plasma είναι αποτελεσματική. Το σύστημα RIE χρησιμοποιεί έναν σύνδεση ενδοίασης για να δημιουργήσει plasma από το καύσιμο. Αυτή η τεχνική δημιουργεί ένα high-density plasma που αυξάνει τον ρυθμό εξαγγελίας που σχετίζεται με το προϊόν. Ο προ cess της εξαγγελίας του μηχανήματος RIE είναι αποτελεσματικός, ακριβής και υψίστης ελέγχου, επιτρέποντας να επιτευχθεί ένα συγκεκριμένο βάθος. Αυτή η λειτουργία το κάνει μια εξαιρετική επιλογή για έρευνα ή βιομηχανική εργασία.

Η μηχανή έχει ευρύ φάσμα χρήσης, περιλαμβανομένων των μικροηλεκτρονικών, της κατασκευής MEMS και της κατασκευής πρωτειού. Αυτή η μηχανή διαδραματίζει σημαντικό ρόλο στην εξαγγελία και την μικρομηχανική επεξεργασία υλικών πρωτειού όπως ο σιλίκιος, ο γάλλιος αρσενιδης και ο γερμάνιος στη βιομηχανία πρωτειού. Το συστήμα Minder-High-tech RIE έχει επίσης εγκαθιδρυθεί στη βιομηχανία MEMS για την κατασκευή μαλακών και σκληρών υλικών όπως πολυιμίδιου, διοξειδίου σιλίκιου και νιτριδίου σιλίκιου. Επιπλέον, είναι διαθέσιμο για ανάλυση αποτυχιών σε βιομηχανίες που σχετίζονται με ελεκτρονικά προϊόντα και υπηρεσίες.

Περιλαμβάνει χαρακτηριστικά που είναι διάφορα και τα καθιστούν εύκολα να χρησιμοποιηθούν. Είναι λογισμικό φιλικό προς τον χρήστη που παρέχει στον χρήστη πλήρη έλεγχο έξω από τους παράγοντες εντοπισμού που χρησιμοποιούνται στο συσκευασίο. Τα ρυθμίσματα της μηχανής αποθηκεύονται στην μνήμη της εσωτερικής της, μπορεί να αποθηκεύσει πάνω από 100 σύνολα ρυθμίσεων. Έχει ένα οθόνη αγγίσματος που επιτρέπει στον χρήστη να ρυθμίζει παράμετρους όπως η κίνηση αερίου, η ένταση ενέργειας και η πίεση. Η μηχανή Minder-High-tech RIE έχει επίσης μια λειτουργία ελέγχου θερμοκρασίας που εξασφαλίζει ότι τα υλικά εντοπίζονται στη σωστή θερμοκρασία και σταματά την ζημιά σε αυτά.

Ιδανικό για επιχειρήσεις που απαιτούν ένα αξιόπιστο και αποδοτικό μηχανή που μπορεί να παρέχει ακριβείς και ακριβώς αποτελέσματα. Αυτό το συσκευασίο έχει σχεδιαστεί με κορυφαία τεχνολογία και επίπεδο πολύ υψηλό. Η πολυτέλεια και τα φιλικά προς τον χρήστη χαρακτηριστικά της κάνουν να είναι μια πολύ καλή επιλογή για ερευνητικές και βιομηχανικές εφαρμογές σε διάφορους τομείς.

Διαθέτει επίσης ένα αποδοτικό σύστημα ανάλυσης αποτυχιών που επιτρέπει στη μηχανή να ανιχνεύει και να τροποποιεί οποιεσδήποτε μηχανικές δυσλειτουργίες όσο το δυνατόν συντομότερα. Αυτό το σύστημα εξασφαλίζει ότι η μηχανή RIE διατηρεί υψηλή ποιότητα και αξιοπιστία κατά τη διάρκεια του κύκλου ζωής της. Για κάθε βιομηχανία που απαιτεί ακριβή και αποδοτική ψαλίδα ή μικροαναφορά, η μηχανή RIE Minder-High-tech είναι η απολύτως κατάλληλη λύση.

αρχική σελίδα

Σχετικά με Εμάς

MH Equipment

Λύση

Χρήστες Εκτός Από την Επιχείρηση

Βίντεο

Επικοινωνία μαζί μας