Είδος | MD150-RIE | MD200-RIE | MD200C-RIE | ||
Μέγεθος προϊόντων | ≤6 ίντσες | ≤8 ίντσες | ≤8 ίντσες | ||
Πηγή ισχύος RF | 0-300W/500W/1000W Ρυθμιζόμενη, αυτόματη αντιστοίχιση | ||||
Μοριακή αντλία | -/620(L/s)/1300(L/s)/Προσαρμοσμένο | Αντισηπτικό620(L/s)/1300(L/s)/Προσαρμοσμένο | |||
Αντλία εμπρός γραμμής | Μηχανική αντλία/στεγνή αντλία | Ξηρά αντλία | |||
Πίεση διαδικασίας | Μη ελεγχόμενη πίεση/0-1 Torr ελεγχόμενη πίεση | ||||
Τύπος αερίου | H/CH4/O2/N2/Ar/SF6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Προσαρμοσμένο (Έως 9 κανάλια, χωρίς διαβρωτικό και τοξικό αέριο) | H2/CH4/O2/N2/Ar/F6/CF4/ CHF3/C4F8/NF3/Cl2/BCl3/HBr(Up to 9 channels) | |||
Εύρος αερίου | 0~5sccm/50sccm/100sccm/200sccm/300sccm/500sccm/custom | ||||
LoadLock | Ναι όχι | Ναι | |||
Δείγμα ελέγχου θερμοκρασίας | 10°C~Θερμ. δωματίου/-30°C~100°C/Προσαρμοσμένο | -30°C~100°C /Προσαρμοσμένο | |||
Πίσω ψύξη ηλίου | Ναι όχι | Ναι | |||
Επένδυση κοιλότητας διεργασίας | Ναι όχι | Ναι | |||
Έλεγχος θερμοκρασίας τοιχώματος κοιλότητας | Όχι/Δωμάτιο~60/120°C | Θερμοκρασία δωματίου-60/120°C | |||
Σύστημα ελέγχου | Αυτόματο/προσαρμοσμένο | ||||
Υλικό χάραξης | Με βάση το πυρίτιο: Si/SiO2/SiNx. IV-IV: SiC Μαγνητικά υλικά/υλικά κραμάτων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/Al/Au. Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS/Οργανικό φιλμ. | Με βάση το πυρίτιο: Si/SiO2/SiNx. III-V(注3): InP/GaAs/GaN. IV-IV: SiC II-VI (注3): CdTe. Μαγνητικά υλικά/υλικά κραμάτων Μεταλλικό υλικό: Ni/Cr/A1/Au. Οργανικό υλικό: PR/PMMA/HDMS /οργανικό φιλμ. |
Κατάλληλο για συσκευές μικροκυμάτων, συσκευές τροφοδοσίας κ.λπ.
Η μηχανή Minder-High-tech Reactive Ion Etching (RIE) είναι ένα κομμάτι τεχνολογίας αιχμής που μπορεί να χαράξει και να αναλύσει διάφορους τύπους υλικών με απίστευτη ακρίβεια. Αυτό το μηχάνημα έχει σχεδιαστεί για χρήση σε διάφορες βιομηχανίες όπου απαιτείται τακτικά μικροκατασκευή ή χάραξη. Είναι κατασκευασμένο από υλικά υψηλής ποιότητας που το καθιστούν ανθεκτικό, αξιόπιστο και ικανό να παράγει εξαιρετικά αποτελέσματα.
Εξοπλισμένο με γεννήτρια πλάσματος RF είναι αποτελεσματικό. Το σύστημα RIE χρησιμοποιεί έναν επαγωγικό σύνδεσμο για την παραγωγή πλάσματος από την τροφοδοσία βενζίνης. Αυτή η τεχνική δημιουργεί ένα πλάσμα υψηλής πυκνότητας που αυξάνει τον ρυθμό χάραξης που σχετίζεται με το προϊόν. Η διαδικασία χάραξης της μηχανής RIE είναι αποτελεσματική, ακριβής και εξαιρετικά ελεγχόμενη, επιτρέποντας την επίτευξη ενός συγκεκριμένου βάθους. Αυτό το χαρακτηριστικό είναι μοναδικό και αποτελεί εξαιρετική επιλογή για ερευνητικές ή βιομηχανικές εργασίες.
Το μηχάνημα έχει μια μεγάλη γκάμα, όπως μικροηλεκτρονική, κατασκευή MEMS και κατασκευή ημιαγωγών. Αυτό το μηχάνημα παίζει σημαντικό ρόλο στη χάραξη και τη μικροκατεργασία υλικών ημιαγωγών όπως το πυρίτιο, το αρσενίδιο του γαλλίου και το γερμάνιο στη βιομηχανία ημιαγωγών. Η συσκευή Minder-High-tech RIE έχει επίσης καθιερωθεί στη βιομηχανία MEMS για την κατασκευή μαλακών και σκληρών υλικών όπως πολυιμίδιο, διοξείδιο του πυριτίου και νιτρίδιο του πυριτίου. Επιπλέον, είναι προσβάσιμο για ανάλυση αστοχιών σε βιομηχανίες που σχετίζονται με υπηρεσίες και προϊόντα που είναι ηλεκτρονικά.
Περιλαμβάνει διάφορα χαρακτηριστικά που το καθιστούν εύκολο στη χρήση. Είναι ένα λογισμικό φιλικό προς το χρήστη που παρέχει στον χειριστή πλήρη έλεγχο των παραμέτρων χάραξης που χρησιμοποιούνται στη συσκευή. Οι ρυθμίσεις του μηχανήματος αποθηκεύονται στη μνήμη του και μπορεί να αποθηκεύσει πάνω από 100 σετ ρυθμίσεων. Μια οθόνη αφής που επιτρέπει στον χειριστή να ρυθμίζει παραμέτρους όπως κίνηση αερίου, πάχος ισχύος και πίεση. Το μηχάνημα RIE Minder-High-tech διαθέτει επίσης ένα χαρακτηριστικό ελέγχου θερμοκρασίας που διασφαλίζει ότι τα υλικά χαράσσονται στη σωστή θερμοκρασία και σταματά τη ζημιά τους.
Ιδανικό για εταιρείες που απαιτούν ένα αξιόπιστο και αποτελεσματικό μηχάνημα μπορεί να παρέχει ακριβή και ακριβή αποτελέσματα. Αυτή η συσκευή έχει σχεδιαστεί με κορυφαία τεχνολογία και το επίπεδο είναι πολύ. Η ευελιξία και τα φιλικά προς τον χρήστη χαρακτηριστικά του το καθιστούν μια επιλογή για πολύ καλές εφαρμογές έρευνας και βιομηχανίας σε διαφορετικούς τομείς.
Διαθέτει επίσης ένα αποτελεσματικό σύστημα ανάλυσης αστοχιών που επιτρέπει στο μηχάνημα να ανιχνεύει και να διορθώνει τυχόν μηχανικά προβλήματα το συντομότερο δυνατό. Αυτό το σύστημα διασφαλίζει ότι η μηχανή RIE διατηρεί υψηλή ποιότητα και αξιοπιστία σε όλη τη διάρκεια του κύκλου ζωής της. Για κάθε βιομηχανία που απαιτεί ακριβή και αποτελεσματική χάραξη ή μικροκατασκευή, η μηχανή Minder-High-tech RIE είναι η τέλεια λύση.
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος