Εξοπλισμός βιομηχανίας ημιαγωγών MDLB-MC200 Καθαριστικό φωτομάσκας , Κίνα Εξοπλισμός βιομηχανίας ημιαγωγών MDLB-MC200 Καθαριστικό φωτομάσκας Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Εργοστάσιο

MDLB-MC200

Καθαριστικό φωτομάσκας

Μονάδα καθαρισμού:

Ο θάλαμος καθαρισμού επεξεργάζεται με ανθεκτικά στη διάβρωση υλικά, τα οποία έχουν λεία επιφάνεια και καθαρίζονται εύκολα. Υπάρχει μια θύρα εκκένωσης απορριμμάτων στο κάτω μέρος της εσωτερικής κοιλότητας, η οποία χρησιμοποιεί τη βαρύτητα για να επιτρέψει την απόρριψη υγρών αποβλήτων στον αγωγό απόρριψης απορριμμάτων του εργοστασίου. Υπάρχει μια θύρα αναρρόφησης μέσα στην κοιλότητα, η οποία μπορεί να εξάγει έγκαιρα την ατμόσφαιρα από την κοιλότητα. Εξοπλισμένο με 3 αυτόματους βραχίονες περιστροφής, μπορεί να επιτύχει αυτόματο καθαρισμό.

Πίνακας παραμέτρων διαμόρφωσης:

Όχι.	ΕΡΓΟ	Προδιαγραφές	Παρατηρήσεις
1	Επισκόπηση εξοπλισμού	Όνομα συσκευής: Photomask Cleaner
		Μοντέλο εξοπλισμού: MDLB-MC200
		Συνολικές διαστάσεις (περίπου): 1300 mm (Π) * 1000 mm (Β) * 1950 mm (Υ)
		Βάρος ολόκληρου του μηχανήματος (περίπου): 300KG
		Ύψος χειρουργικού τραπεζιού: 900 ± 50 mm
		Προδιαγραφές μεγέθους υποστρώματος: κατάλληλο για τετράγωνες πλάκες μάσκας 2/4/5/6/8 ιντσών
		Ροή διαδικασίας: χειροκίνητη τοποθέτηση γκοφρέτας → καθαρισμός (βούρτσα, διάλυμα καθαρισμού → νερό υψηλής πίεσης → νερό μεγαηχητικού → απιονισμένο νερό → στέγνωμα με αέριο άζωτο) → χειροκίνητη αφαίρεση γκοφρέτας
		Τύπος εξοπλισμού: ημιαυτόματο, χειροκίνητη φόρτωση και εκφόρτωση
2	Κατασκευή εξοπλισμού	Κέλυφος: ανοξείδωτο, λείο, ανθεκτικό στη διάβρωση, εύκολο στον καθαρισμό
		Θάλαμος καθαρισμού: PP, λείος, ανθεκτικός στη διάβρωση, εύκολος καθαρισμός
		Pipeline: Χρησιμοποιείται αγωγός αντιστοίχισης PU/PFA
		Φωτισμός εργασίας: αντιδιαβρωτικός κίτρινος φωτισμός
		Στυλ ανοίγματος πόρτας: Διπλή πόρτα με λειτουργία συναγερμού ανοίγματος πόρτας
		Οθόνη αφής: έγχρωμη οθόνη αφής 10 ιντσών * 1
		FFU: Κατηγορία 100
		Στήριγμα πάτου με προστασία από διαρροές: διαθέσιμο
3	Σερβοκινητήρας υψηλής ακρίβειας	Ποσότητα: 1
		Ταχύτητα: -3000~3000rpm	Άδειο φορτίο
		Μέγιστη επιτάχυνση περιστροφής του άξονα: 3000rpm/S	Άδειο φορτίο
		Ακρίβεια ταχύτητας: ± 1rpm (50rpm~3000rpm)
		Ανάλυση ταχύτητας: 1 rpm
4	Αυτόματος βραχίονας αιώρησης	Ποσότητα: 3
4	Αυτόματος βραχίονας αιώρησης	Ταχύτητα ταλαντευόμενου βραχίονα: 1~30 °/S
5	Μονάδα καθαρισμού	Βραχίονας καθαρισμού: 1 κανάλι απιονισμένου νερού, 1 κανάλι αερίου αζώτου Βραχίονας Megasonic: 1 Megasonic, 1 Νερό υψηλής πίεσης Βραχίονας βούρτσας: 1 βούρτσα, 1 νερό, 1 διάλυμα καθαρισμού
		Μέθοδος καθαρισμού: αυτόματος καθαρισμός
		Λειτουργία αναρρόφησης απιονισμένου νερού: διαθέσιμη
		Backwash (απιονισμένο νερό): 1 διαδρομή
		Τρόπος παροχής: Λύση καθαρισμού: Αντλία διαφράγματος Απιονισμένο νερό: παρέχεται απευθείας από το εργοστάσιο
		Δοχείο πίεσης με ανίχνευση στάθμης υγρού
6	Βούρτσα βούρτσας	Ποσότητα: 1 (με λειτουργία αυτοκαθαρισμού)
		Ταχύτητα: έως 1000 rpm, ρυθμιζόμενη ταχύτητα
		Ύψος ρυθμιζόμενο χειροκίνητα
7	Φόρτωση δίσκου	Ποσότητα: 5
		Υλικό: PPS + ανοξείδωτο ατσάλι
		Μέγεθος: Κατάλληλο για τετράγωνες πλάκες μάσκας 2/4/5/6/8 ιντσών
		Μέθοδος στερέωσης υποστρώματος: Μέθοδος στερέωσης με νύχια
8	Σύστημα ελέγχου	Σύστημα ελέγχου: με χρήση ελέγχου PLC
		Πρόγραμμα: 100 ομάδες, η κάθε ομάδα αποτελείται από 100 βήματα, με μέγιστο χρόνο ενός βήματος 3000.0 δευτερόλεπτα Ανάλυση: 0.1S
		Το πρόγραμμα μπορεί να αποθηκευτεί, να κληθεί, να τροποποιηθεί και να διαγραφεί
		Ορισμός αδειών κρυπτογράφησης: για χειριστές συσκευών, τεχνικούς, διαχειριστές και κατασκευαστές αντίστοιχα
		Τύπος πύργου σηματοδότησης: κόκκινο, κίτρινο, πράσινο 3 χρώματα