Μηχανή αφαίρεσης ICP PLASMA PR βιομηχανίας ημιαγωγών Photoresist Residual Removal , Κίνα Μηχανή αφαίρεσης ICP PLASMA PR βιομηχανίας ημιαγωγών Photoresist Residual Removal Κατασκευαστές, Προμηθευτές, Factory

ΠΕΡΙΓΡΑΦΗ ΠΡΟΪΟΝΤΟΣ

ICP PLASMA Photoresist Remover

Τέφρα
Αφαίρεση πολυμερούς
Ξηρή αφαίρεση του σκληρού στρώματος μάσκας
Αφαίρεση φωτοαντίστασης μετά από εμφύτευση ιόντων
Αφαίρεση φωτοαντίστασης στη διαδικασία BAW/SAW
Στεγνό καθάρισμα στρώματος αντιανακλαστικού γραφικού φιλμ
Αφαίρεση επιφανειακών υπολειμμάτων
Καθαρισμός επιφάνειας μετά από χάραξη
DESCUM

Βιομηχανία ημιαγωγών ICP PLASMA PR μηχανή αφαίρεσης Photoresist Residual Removal κατασκευή

Διαδικασία

Βιομηχανία ημιαγωγών Μηχανή αφαίρεσης ICP PLASMA PR Photoresist Residual Removal εργοστάσιο

Πλεονέκτημα:

Βασικό Πλεονέκτημα

Υψηλός ρυθμός αποκομμίωσης: Πλάσμα υψηλής πυκνότητας, γρήγορος ρυθμός αποκομμίωσης
Σταθερότητα: Μετά την επεξεργασία πλάσματος, υψηλή αναπαραγωγιμότητα
Απομακρυσμένο πλάσμα: Απομακρυσμένο πλάσμα, βλάβη με χαμηλά ιόντα στη γκοφρέτα
Επιλεγμένο λογισμικό: ανεξάρτητη έρευνα και ανάπτυξη λογισμικού, διαισθητική κινούμενη εικόνα διεργασιών, λεπτομερή δεδομένα και αρχεία
Ομοιομορφία: Το πλάσμα μπορεί να ελέγξει την πίεση και τη θερμοκρασία μέσω της βαλβίδας πεταλούδας
Συντελεστής ασφάλειας: Το χαμηλό πλάσμα μειώνει τη ζημιά στην εκκένωση του προϊόντος.
Εξυπηρέτηση μετά την πώληση: Γρήγορη απόκριση και επαρκής απόθεμα
Έλεγχος σκόνης: Ικανοποιήστε τις απαιτήσεις των πελατών.
Βασική τεχνολογία: Με σχεδόν το 40% των μελών της ομάδας Ε&Α

Πλατφόρμα κασέτας (MD-ST 6100/620)

1. 4 Γκοφρέτες
2. Υψηλή συμβατότητα: η ευελιξία της επιλογής μεγέθους γκοφρέτας φέρνει υψηλό κόστος και αποτελεσματικότητα λύσης
3. Θάλαμος μεταφοράς κενού υψηλής σταθερότητας:
Ο ώριμος και σταθερός σχεδιασμός μετάδοσης κενού εφαρμόζεται ώριμα στην αγορά εδώ και πολλά χρόνια και αναγνωρίζεται καλά από τους πελάτες.
Σχεδιασμός πικάπ, συμπαγής χώρος, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο ΜΕΡΙΚΗΣ
4. Εξανθρωπισμένη διεπαφή λειτουργίας λογισμικού:
Διαισθητική διεπαφή λειτουργίας ανθρωποποιημένου λογισμικού, παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο της κατάστασης λειτουργίας του μηχανήματος.
Ολοκληρωμένες λειτουργίες συναγερμού και ανόητων λειτουργιών για αποφυγή κακής λειτουργίας.
Ισχυρή λειτουργία εξαγωγής δεδομένων, καταγραφές διαφόρων παραμέτρων διεργασίας και εξαγωγή αρχείων παραγωγής προϊόντων.

Προμηθευτής μηχανής αφαίρεσης ICP PLASMA PR βιομηχανίας ημιαγωγών Photoresist Residual Removal

Βιομηχανία ημιαγωγών Μηχανή αφαίρεσης ICP PLASMA PR Photoresist Residual Removal Λεπτομέρειες

Ρομπότ

1. Ο σχεδιασμός μιας φοράς επιλογής και θέσης διπλής γκοφρέτας φέρνει υψηλή παραγωγικότητα
2. Βελτιώστε την απόδοση του χώρου.

Θέρμανση Plate

1. Πλάκα γκοφρέτας ελέγχου θερμοκρασίας υψηλής ακρίβειας
Πλάκα θέρμανσης γκοφρέτας από θερμοκρασία δωματίου έως 250°C, ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας ±1°C
Η πλάκα θέρμανσης γκοφρέτας έχει βαθμονομηθεί από επαγγελματικά όργανα και η ομοιομορφία. Εντός ±3°C, διασφαλίστε την ομοιομορφία αφαίρεσης της κόλλας
2. Επεξεργασία διπλής γκοφρέτας μονού θαλάμου
Σχέδιο διπλής γκοφρέτας ενός θαλάμου.
Ανεξάρτητος σχεδιασμός εκφόρτισης ισχύος για κάθε γκοφρέτα, διασφαλίζοντας ότι κάθε γκοφρέτα. Στρογγυλό αποτέλεσμα αφαίρεσης PR.
Με την προϋπόθεση της διασφάλισης της αποτελεσματικότητας του UPH, μειώστε το κόστος του προϊόντος. Ισχυρή συμβατότητα
3. Παραγωγική ικανότητα: θάλαμος αντίδρασης σχεδίου διπλού τεμαχίου, υψηλή απόδοση παραγωγής.

Χαρακτηριστικά

PLASMA			RF	RF
Power	ICP	1000w	1000w
Power		ΠΡΟΚΑΤΑΛΗΨΗ	600w (προαιρετικό)	600w (προαιρετικό)
Εφαρμοστέο πεδίο εφαρμογής			4 ~ 8 ιντσών	4 ~ 8 ιντσών
Αριθμός μεμονωμένων τμημάτων επεξεργασίας			1	2
Διαστάσεις εμφάνισης			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Έλεγχος συστήματος			Βιομηχανικό σύστημα ελέγχου	Βιομηχανικό σύστημα ελέγχου
Επίπεδο αυτοματισμού			αυτόματο	αυτόματο

Δυνατότητα υλικού
Χρόνος λειτουργίας/Διαθέσιμος χρόνος	≧ 95%
Μέση ώρα καθαρισμού (MTTC)	≦6 ώρες
Μέση ώρα για επισκευή (MTTR)	≦4 ώρες
Μέσος χρόνος μεταξύ αποτυχιών (MTBF)	≧350 ώρες
Μέσος χρόνος μεταξύ του βοηθού (MTBA)	≧24 ώρες
Μέση γκοφρέτα μεταξύ σπασμένων (MWBB)	≦1 στις 10,000 γκοφρέτες
Έλεγχος πλάκας θέρμανσης	50-250 °