Βιομηχανία Εμβαθυντικών RIE PLASMA PR αφαίρεσης μηχανής Φωτορυθμιστής Αφαίρεση υπολοίπων , China Βιομηχανία Εμβαθυντικών RIE PLASMA PR αφαίρεσης μηχανής Φωτορυθμιστής Αφαίρεση υπολοίπων Manufacturers, Suppliers, Factory

Περιγραφή Προϊόντος

RIE ΠΛΑΣΜΑ Αφαίρεση photoresist

Εκτροχιλισμός καρβουρικού καλλίου
Καθαρισμός επιφάνειας μετά τον εκτροχιλισμό
DESCUM
Σκληρό διαμόρφωμα, ξερή αφαίρεση
Εκτροχιλισμός διοξειδίου καρβουνίου ή νιτρικού καρβουνίου
Αφαίρεση βλοπικής αντιστάσεως μεταξύ μεσιών
Αφαίρεση υπολοίπων στην επιφάνεια

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal details

Διαδικασία

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal factory

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal manufacture

Πλεονέκτημα:

Βασικό πλεονέκτημα

Ύψος ρυθμός απογονισμού: Υψηλής πυκνότητας πλάσμα, γρήγορος ρυθμός απογονισμού
Σταθερότητα: Μετά την μεταχείριση με πλάσμα, υψηλή αναπαραγωγικότητα
Απομακρυσμένο πλάσμα: Απομακρυσμένο πλάσμα, χαμηλή ζημιά ιόντων στο φύλλο
Λογισμικό με πρωταρχικές λειτουργίες: ανεξάρτητη έρευνα και ανάπτυξη λογισμικού, αναπαράσταση διαδικασίας με εικονικά στοιχεία, λεπτομερή δεδομένα και εγγραφές
Ομοιόμορφοτητα: Το πλάσμα μπορεί να ελέγχει την πίεση και τη θερμοκρασία μέσω διαφτέριου
Παράγοντας ασφαλείας: Χαμηλό πλάσμα μειώνει τη ζημιά στο προϊόν κατά την απελευθέρωση.
Υπηρεσία μετά την πώληση: Γρήγορη απάντηση και αρκετός αποθεματικός
Έλεγχος κονιών: Πληροφορείται τα απαιτήματα των πελατών.
Πυρήνια τεχνολογία: Με σχεδόν 40% των μελών της ομάδας R&D

Πλατφόρμα Κασέτας (MD-ST 6100/620)

1. 4 Φορείς Μπάφερ
2. Υψηλή συμβατότητα: η ευελιξία στην επιλογή μεγέθους φάινερων προσφέρει υψηλή αποδοτικότητα κόστους και λύσεων
3. Υψηλή σταθερότητα κενού μεταφορικού τομέα:
Η βιώμενη και σταθερή σχεδιασμένη μεταφορά κενού έχει εφαρμοστεί επιτυχώς στην αγορά για πολλά χρόνια και αναγνωρίζεται καλά από τους πελάτες.
Σχεδιασμός με πινάκι, συμπαγής χώρος, μειώνοντας σημαντικά τον κίνδυνο PARTICAL
4. Ανθρωποκεντρική διεπαφή λειτουργίας λογισμικού:
Αντιληπτική ανθρωποκεντρική διεπαφή λειτουργίας λογισμικού, πραγματικός επιτήρησης της κατάστασης λειτουργίας της μηχανής;
Ολοκληρωμένες συναρπαγές και λειτουργίες αντιπεριβολής για να αποφεύγονται λανθασμένες λειτουργίες.
Δυνατή λειτουργία εξαγωγής δεδομένων, αρχεία εγγραφών διαφόρων παραμέτρων διαδικασίας, και εξαγωγή εγγραφών παραγωγής προϊόντων.

Ρομπότ

1. Το σχεδιασμός μιας φοράς ανάκτησης και τοποθέτησης διπλών φυλλών φέρει υψηλή παραγωγικότητα
2. Βελτίωση της αποτελεσματικότητας χώρου.

Πλάκα θέρμανσης

1. Ελέγχιμη θερμοκρασία με υψηλή ακρίβεια πλάκα φύλλων
Πλάτος θερμαντικής πλάκας φύλλων από δωματιακή θερμοκρασία μέχρι 250°C, ακρίβεια ελέγχου θερμοκρασίας ±1°C
Η θερμαντική πλάτος φύλλων έχει καλιβρωθεί με επαγγελματικά όργανα, και η ομοιομορφία της είναι μέσα στα ±3°C, εξασφαλίζοντας την ομοιομορφία αφαίρεσης κόλλης
2. Επεξεργασία διπλών φυλλών σε μοναδικό καταστιγμό
Σχεδιασμός μοναδικού καταστίγματος με δύο φύλλα
Ανεξάρτητος σχεδιασμός διαφοράς δυναμικής για κάθε φύλλο, εξασφαλίζοντας τον ομοιόμορφο αποτέλειο αφαίρεσης PR σε κάθε φύλλο
Επ' αυτού της εξασφάλισης της αποτελεσματικότητας UPH, μείωση του κόστους προϊόντων. Ισχυρή συμβατότητα
3. Καπακιτικότητα παραγωγής: διπλός σχεδιασμός αντιδράσεων, υψηλή αποτελεσματικότητα παραγωγής.

Περιγραφή

ΠΛΑΣΜΑ πηγή			rf
Δύναμη	ICP	_
Δύναμη		BIAS	1000W(επιλογή)
Πεδίο εφαρμογής			4~8 εγχώμενα
Μοναδική επεξεργασία φύλλων			1
Διαστάσεις εμφάνισης			850mmx900mmx1850mm
Ελέγχος συστήματος			ΠΛΚ
Επίπεδο Αυτοματισμού			Χειροκίνητο

Δυνατότητα Υλικού
Χρόνος λειτουργίας / Διαθέσιμος χρόνος	≧95%
Μέσος χρόνος για καθαρισμό (MTTC)	≦6 ώρες
Μέσος χρόνος επισκευής (MTTR)	≦4 ώρες
Μέσος χρόνος μεταξύ αποτυχιών (MTBF)	≧350 ώρες
Μέσος χρόνος μεταξύ βοηθού (MTBA)	≧24 ώρες
Μέσος δίσκος μεταξύ συμβάντων (MWBB)	≦1 σε 10.000 δίσκους
Έλεγχος θερμαντικής πλάκας	50-250°

Έκθεση δοκιμής

Semiconductor industry RIE PLASMA PR removal machine Photoresist Residual Removal supplier

Εμφάνιση εργοστασίου

Συσκευασία & Παράδοση

Προφίλ Εταιρείας

Διαθέτουμε 16 χρόνια εμπειρίας στις πωλήσεις εξοπλισμών. Μπορούμε να σας προσφέρουμε μια ενιαία λύση για τις συσκευές Γραμμής Πακέτων Πρώτων και Δευτερεύων Σημαντικών (Semiconductor) από την Κίνα!