Plasma
|
rf
|
rf
|
||
Δύναμη
|
ICP
|
1000W
|
1000W
|
|
BIAS
|
600w(επιλογή)
|
600w(επιλογή)
|
||
Πεδίο εφαρμογής
|
4~8 εγχώμενα
|
4~8 εγχώμενα
|
||
Μοναδική επεξεργασία φύλλων
|
1
|
2
|
||
Διαστάσεις εμφάνισης
|
1080x1840x1800mm
|
1340x2050x1800mm
|
||
Ελέγχος συστήματος
|
Σύστημα Βιομηχανικής Ελέγχου
|
Σύστημα Βιομηχανικής Ελέγχου
|
||
Επίπεδο Αυτοματισμού
|
αυτόματο
|
αυτόματο
|
Δυνατότητα Υλικού
|
||
Χρόνος λειτουργίας / Διαθέσιμος χρόνος
|
≧95%
|
|
Μέσος χρόνος για καθαρισμό (MTTC)
|
≦6 ώρες
|
|
Μέσος χρόνος επισκευής (MTTR)
|
≦4 ώρες
|
|
Μέσος χρόνος μεταξύ αποτυχιών (MTBF)
|
≧350 ώρες
|
|
Μέσος χρόνος μεταξύ βοηθού (MTBA)
|
≧24 ώρες
|
|
Μέσος δίσκος μεταξύ συμβάντων (MWBB)
|
≦1 σε 10.000 δίσκους
|
|
Έλεγχος θερμαντικής πλάκας
|
50-250°
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved