έργο
|
Περιεχόμενο
|
Τύπος Προϊόντος
|
6",8",12" φάιντερ, 2.5D/3D πακέτα
|
Έλεγχος 2D
Αντικείμενα |
Ξένα σώματα, υπόλοιπα κόλλης, σωματίδια, σχίσματα, σχίδια, μολύνσεις, απόκλιση CP, υπερβολικά σημάδια βελόνης κλπ.
|
Μετρολογία 2D
|
Διάμετρος κοβμώνας, συντεταγμένες σημάδιων βελόνης, μετρολογία RDL και TSV κλπ.
|
Έργο έλεγχου 3D
|
Ύψος κοβμώνας, συμπλάνεια κοβμώνας
|
Κασέτα και Μέθοδος Μετάδοσης
|
8"SMIF, 12" FOUP ή συνδυασμός
|
Φακός και Επίλυση
|
2x(2.75um)13.5x(1.57um)5x(1.1um)17.5x(0.73um)110x(0.55um)
|
Ακρίβεια
|
0.55μm/πιксελ
|
Προαιρετικά και Προσαρμοσμένα
|
Διπλή πλευρά OCR, 3D μονάδα, υποστηριζόμενη από το E84
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved