Τεχνική παράμετρος | Λειτουργία μέτρησης | PSI/VSI/σούπερ βάθος πεδίου/φωτεινό πεδίο |
Μονό οπτικό πεδίο μέτρησης (20× αντικειμενικός φακός) | 500*350μm (αυτόματη ραφή) | |
Ρύθμιση γωνίας | ±12° εγχειρίδιο | |
Ρύθμιση άξονα Z | 20mm ηλεκτρικό + 50mm χειροκίνητο (χοντρός και λεπτός μηχανισμός ρύθμισης) | |
Εύρος διαμήκους σάρωσης | 0-10mm | |
Διαμήκης ανάλυση | <0.2nm | |
Επαναληψιμότητα μέτρησης διαμήκους τραχύτητας | 0.01 nm (λειτουργία PSI) | |
σφάλμα ένδειξης ύψους βήματος μέτρηση | <0.75% (λειτουργία VSI) | |
Πλευρική ανάλυση: @550nm | 0.69μm (αντικειμενικός φακός 20×) | |
Μετρήσιμη ανακλαστικότητα δείγματος | 0.1%-100% | |
Χρόνος μέτρησης | <5s (λειτουργία PSI) | |
Λειτουργία ανάλυσης | Λειτουργία ανάλυσης | Τρισδιάστατη μέτρηση ύψους, τρισδιάστατη ανάλυση τραχύτητας, μέτρηση 3D διαστάσεων |
Έξοδος 3D δεδομένων | Δεδομένα τρισδιάστατου νέφους σημείων, δεδομένα εικόνας σε κλίμακα του γκρι, προσαρμοσμένη αναφορά |
Αντικειμενική μεγέθυνση | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x |
Αριθμητικό διάφραγμα | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 |
Οπτική ανάλυση @550nm (μm) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 |
Βάθος εστίασης (μm) | 48.7 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 |
Απόσταση εργασίας (mm) | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 | 2.0 |
Πνευματικά δικαιώματα © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. Με την επιφύλαξη παντός δικαιώματος