Τεχνική παράμετρος |
Λειτουργία μέτρησης |
PSI/VSI/υπερ βάθος πεδίου/φωτεινό πεδίο |
Μοναδικό πεδίο μέτρησης (20× φακός) |
500*350μm (αυτόματη συνδυασμένη εικόνα) |
|
Ρύθμιση γωνίας |
±12° χειροκίνητα |
|
Ρύθμιση άξονα Z |
20mm ηλεκτρικά + 50mm χειροκίνητα (μηχανισμός απλής και λεπτής ρύθμισης) |
|
Οριζόντιος χώρος σάρωσης |
0-10χιλ |
|
Οριζόντια ανάλυση |
<0.2nm |
|
Επαναληπτικότητα μέτρησης καταλόγιου αρθρώσεως |
0.01nm (ψηφιακό μοδάλι PSI) |
|
σφάλμα δείξης ύψους βήματος μέτρηση |
<0.75% (ψηφιακό μοδάλι VSI) |
|
Οριζόντια ανάλυση: @550nm |
0.69μm (διοπτρικό φακύ 20×) |
|
Μετρήσιμη ανακατασκευαστικότητα δείγματος |
0.1%-100% |
|
Χρόνος μέτρησης |
<5s (ψηφιακό μοδάλι PSI) |
|
Λειτουργία ανάλυσης |
Λειτουργία ανάλυσης |
μέτρηση ύψους 3D, ανάλυση ασθενού 3D, μέτρηση διαστάσεων 2D |
έξοδος δεδομένων 3D |
δεδομένα νεφώδους 3D, δεδομένα εικόνας σε γκρέισκেιλ, προσαρμοσμένος αποκομβωτής |
Διοπτρική ευρυθροπλάστηση |
2.5X |
5x |
10x |
20x |
50x |
100x |
Αριθμητικό διάφραγμα |
0.075 |
0.13 |
0.3 |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
Οπτική ανάλυση @550nm (μm) |
3.7 |
2.1 |
0.92 |
0.69 |
0.5 |
0.4 |
Βάθος εστίασης (μm) |
48.7 |
16.2 |
3.04 |
1.71 |
0.9 |
0.56 |
Απόσταση λειτουργίας (mm) |
10.3 |
9.3 |
7.4 |
4.7 |
3.4 |
2.0 |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved