Η ευρεία εφαρμογή των μηχανών καθαρισμού πλάσματος στη βιομηχανία ημιαγωγών Ελλάδα

Η εφαρμογή των μηχανών καθαρισμού πλάσματος στη βιομηχανία ημιαγωγών είναι πολύ εκτεταμένη, κυρίως αντανακλάται στις ακόλουθες πτυχές:

▘Καθαρισμός ενεργοποίησης επιφάνειας: Για καθαρισμό επιφανειακής ενεργοποίησης γκοφρετών, τσιπ IC, γκοφρέτες πυριτίου ημιαγωγών κ.λπ., η τεχνολογία καθαρισμού πλάσματος έχει τη λειτουργία της αφαίρεσης μεμβρανών οξειδίου, οργανικών ουσιών, μάσκες κ.λπ. από την επιφάνεια του πλακιδίου, επεξεργασίας καθαρισμού και ενεργοποίησης επιφάνειας , και αποφυγή του φαινομένου εικονικής συγκόλλησης.

▘Επεξεργασία μετά τη συσκευασία: Αφού ολοκληρωθεί η συσκευασία με τσιπ, το υλικό συσκευασίας καθαρίζεται για να αφαιρεθούν τα υπολείμματα συγκόλλησης και οι ρύποι που δημιουργούνται κατά τη διαδικασία συσκευασίας, διασφαλίζοντας την ποιότητα του προϊόντος. Τα μηχανήματα καθαρισμού πλάσματος μπορούν να επιτύχουν επεξεργασία χωρίς ρύπανση, αποφεύγοντας τη χρήση επιβλαβών διαλυτών που μπορούν να βλάψουν την ανθρώπινη υγεία.

▘Αφαίρεση υπολειμμάτων φωτοανθεκτικού: Χρησιμοποιείται στη διαδικασία φωτολιθογραφίας της κατασκευής ημιαγωγών για τον καθορισμό του σχεδίου του εξοπλισμού. Μετά την ολοκλήρωση της λιθογραφίας, η μηχανή καθαρισμού πλάσματος μπορεί γρήγορα και επιμελώς να αφαιρέσει τα υπολείμματα φωτοανθεκτικού για να διασφαλίσει την ακρίβεια του σχεδίου και την αξιοπιστία του εξοπλισμού.

▘Προεπεξεργασία της εναπόθεσης μεμβράνης: Κατά τη διαδικασία εναπόθεσης μεμβράνης, η επιφάνεια πρέπει να διατηρείται πολύ καθαρή για να διασφαλίζεται η πρόσφυση και η ομοιομορφία της μεμβράνης. Ο καθαρισμός με πλάσμα μπορεί να αφαιρέσει αποτελεσματικά τους ρύπους και τα υπολείμματα πριν από την εναπόθεση, βελτιώνοντας έτσι την ποιότητα των λεπτών μεμβρανών.

▘Τροποποίηση επιφάνειας: Η επεξεργασία πλάσματος δεν χρησιμοποιείται μόνο για καθαρισμό, αλλά μπορεί επίσης να επιτύχει τροποποίηση της επιφάνειας. Με την προσαρμογή της σύνθεσης αερίου και των παραμέτρων επεξεργασίας, η τεχνολογία πλάσματος μπορεί να βελτιώσει την υδροφιλία ή την υδροφοβικότητα των υλικών, να βελτιώσει την απόδοση και τη σταθερότητα των συσκευών.

▘ Βελτίωση της πρόσφυσης: Οι μηχανές καθαρισμού πλάσματος μπορούν να χρησιμοποιηθούν για τον καθαρισμό υλικών συσκευασίας, όπως πλαστικά, κεραμικά κ.λπ., για ενίσχυση της πρόσφυσης και της αξιοπιστίας των υλικών συσκευασίας. Βελτιώστε την απόδοση πρόσφυσης μεταξύ της αγώγιμης κόλλας κόκκων και μαξιλαριών, την απόδοση διείσδυσης της πάστας συγκόλλησης, ενισχύστε την τάση συγκόλλησης των καλωδίων και βελτιώστε την αξιοπιστία των συσκευασμένων συσκευών.