Projekt |
Sisaldus |
Toode tüüp |
6",8",12" plaad, 2.5D/3D pakendus |
2D Kontroll Esemed |
Võõrandobjektid, jääkliim, osakesed, kraadid, reviidid, saaste, CP hälve, üleliigsed naali märgid jne. |
2D Mõõtmine |
Nõrgenduse läbimõõt, naali märgi koordinaadid, RDL ja TSV mõõdmine jne. |
3D Kontroll Projekt |
Kõrgus, Ühisravilikkus |
Kasett ja edastusmeetod |
8"SMIF , 12" FOUP või kombinatsioon |
Linss ja resolutsioon |
2x(2.75µm)13.5x(1.57µm)5x(1.1µm)17.5x(0.73µm)110x(0.55µm) |
Täpsus |
0.55µm/pixelega |
Valikuline ja kohandatud |
Topelt pooled OCR, 3D moodul, toetatud E84 poolt |
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved