Minder-Hightech on pooljuhtide tootja. Pooljuhid on kriitilised komponendid paljudes tänapäeva elutegemises, nagu mobiiltelefonid ja arvutid. Nüüd on pooljuhtide loomisel mõned sammud, kuid esimene samm on mustri loomine tasasele pinnale, mida nimetatakse vahvliks.

Selle mustri renderdamiseks kanname vahvlile spetsiaalse materjali. Seda ainet tuntakse fotoresistina. Kui oleme fotoresisti maha pannud, paneme selle valguse kätte. Valguse all kõvastatakse ja muudetakse tugevaks fotoresisti piirkond. Varjus olevad alad jäävad pehmeks ja neid saab ära pühkida.

Pärast vahvlile soovitud mustri saamist tuleb fotoresist eemaldada piirkondadest, kus me edasist töötlemist teostame. See on koht Plasma puhastusvahend tuleb mängu sõna otseses mõttes.

Plasmapõhised meetodid fotoresisti eemaldamiseks

Plasma on gaasi olek, mille energiatase on kõrge, kuna sellele rakendub kõrge elektrilaeng. Ja see aktiveeritud gaas on väga kasulik vahvli pinnal oleva fotoresisti eemaldamiseks. Plasma kaudu võib fotoresist muutuda rabedaks ja selle puhastamine muutub palju lihtsamaks.

Meil on fotoresisti eemaldamiseks kaks erinevat plasmat kasutavat tehnikat: kuivsöövitus ja tuhastamine.

Kuivsöövitamine: selles tehnikas tegelik plasma, mis interakteerub fotoresistiga. Plasma reageerib fotoresistiga seal, kus see kokku puutub. See reaktsioon lagundab fotoresisti ja muudab selle gaasiks. Seda gaasilist ainet saab seejärel vahvli pinnalt eemaldada, mille tulemuseks on alad, mida vajame puhastamiseks ja arendamiseks kättesaadavaks.

Tuhastamine – see on teistsugune viis, selle meetodi puhul kasutatakse fotoresisti jaoks mittereaktiivset plasmat. Plasma purustab fotoresisti hoopis pisikesteks väikesteks tükkideks. Siis saab need väikesed tükid vahvlilt maha pesta. See lähenemine sobib ja kaitseb vahvlit, eemaldades samas mittevajaliku fotoresisti.

Reaktiivse plasma kasutamine fotoresisti eemaldamiseks

Plasma pinnatöötlus on väga võimas tööriist, mis aitab meil vahvlilt eemaldada kõige tugevama fotoresisti. Plasma on omaette uskumatu, kuid parim osa on see, et saame selle muuta üliselektiivseks aineks. See tähendab, et seda saab häälestada reageerima ainult spetsiaalselt fotoresistiga, mitte teiste selle all olevate materjalidega.

Näiteks: kui meil on vahvlil muster, kus metall on asetatud fotoresisti alla, saame kasutada plasmatüüpi, mis reageerib ainult fotoresistiga. Seega saame fotoresisti ära söövitada, kahjustamata selle all olevat metalli. Nüüd on see väga kriitiline, kuna vajame kõiki vahvli osi selle terviklikkuse säilitamiseks protsessi ajal.

Plasmatehnika fotoresisti eemaldamiseks

Minder-Hightech kasutab meie vahvlitelt fotoresisti eemaldamisel uue ajastu plasmatehnoloogiat. See võimaldab meil valmistada veatuid pooljuhte, mis on kvaliteetsed.

Kiire, kohandatav vastavalt teie vajadustele Meie süsteemid on loodud nii, et need integreeruvad sujuvalt teie töövoogu. See näitab, et suudame fotoresisti lühidalt eemaldada. Ja kuna oleme kiired, rahuldame oma klientide täielikku nõudlust, tarnides suurepäraseid tooteid, kui nad neid vajavad.

Kuid meie plasmasüsteemid on lisaks tõhususele ka väga täpsed. See täpsus annab meile võimaluse eemaldada ainult fotoresisti ise. Meie tehnoloogia takistab kõiki teisi vahvli osi meie protsessi käigus kahjustada ja me ei saa seda endale lubada. See metoodiline praktika muutub meie poolt toodetavate pooljuhtide kvaliteedi jaoks veelgi olulisemaks.

Plasma indutseeritud fotoresisti eemaldamine pooljuhtidelt

Lühidalt öeldes on plasma ülivõim, mis võimaldab meil väga tõhusalt eemaldada vahvli pinnalt fotoresisti. Meie, Minder-Hightech, rakendame uusimat ja parimat plasmatehnoloogiat, et toota täpselt nulldefektiga kvaliteetseid pooljuhte. Mis puutub plasmasüsteemidesse, siis meie lahendused on toodetud kiiruse ja täpsuse tasakaalustamiseks, olles samas väga tõhusad. See tähendab, et suudame vastata meie klientide nõudmistele ja tarnida kvaliteetseid tooteid tõrgeteta. See parandab pooljuhtide protsessi meie kasutamisel plasma eemaldamine tehnoloogia, mis muudab meie pooljuhid kõikvõimalike elektroonikaseadmete jaoks töökindlateks vidinateks võimalikult heaks.