Minder-Hightech on halbikondüktorite tootja. Halbikondüktorid on olulised komponendid paljudes asjadest, mis moodustavad kaasaegset elu, näiteks mobiiltelefonides ja arvutites. Halbikondüktorite loomiseks on mitu sammu, kuid esimene samm on muster platelikult pinnalt, mida nimetatakse vaferiks.

Selle mustri joonistamiseks keemame vaferile erilise materjali. Seda aastetakse fotorezisti. Pärast fotorezisti keematamist paigutame selle valgusse. Valguse all muutub fotorezisti osa tugevaks ja kindlaks. Varjuosalad jäävad puhta ja neid saab ära puhkuda.

Pärast soovitud musteriga vaferi saamist peab fotorezist ära eemaldama need alad, kus me teeme edaspidi tööd. Siin tuleb kasutusele Plaasma puhastusmasin , tegelikult.

Plaasma meetodid fotorezisti eemaldamiseks

Plasma on gaasi olek, mis omab kõrget energiasüsteemi, sest sellele on rakendatud suur elektriladus. See aktiveeritud gaas on äärmiselt kasulik waagipinna fotoressisti eemaldamiseks. Plasma toimel saab fotoressist kitsaskana ja selle puhastamine muutub palju lihtsamaks.

Meil on kaks erinevat plasma kasutamise tehnikat fotoressisti eemaldamiseks: kuiv etseerimine ja härmimine.

Kuiv etseerimine: Selles tehnikas interageerib tõesti plasma fotoressistiga. Plasma reageerib fotoressistiga punktides, kus need kokku puutuvad. See reaktsioon hajutab fotoressisti ja teisendab selle gaasiks. Selle gaaseeseks muutunud aine võib seejärel waagipinnalt puhastada, mille tulemusena avanevad meie jaoks vajalikud piirkonnad puhastatuna ja edenemiseks valmis.

Asheerimine — See on erinev viis seda teha, selles meetodis kasutatakse fotorezistile mitteaktiivsete plasma. Plasma murdab fotorezisti väiksetesse osadeks. Need väiksed osad saavad siis puhastada kõrvitselt. See meetod sobib ja kaitseb kõrvitit samal ajal, kui eemaldatakse üleliigine fotorezist.

Reaktiivse plasma kasutamine fotorezisti eemaldamiseks

Plasma pinnakäsittlus on väga tugev tööriist, mis aitab meil eemaldada raskeim fotorezist kõrvitelt. Plasma on iseenda poolest imeline, kuid parim osa on see, et sellest saab teha super valikuagent. See tähendab, et selle reaktsiooni saab seatud ainult spetsifiliselt fotorezistiga, mitte teiste allpool olevate materjalidega.

Näiteks: Kui meil on kõvel paiknud muster, kus metall asub fotoresisti all, siis saame kasutada plasmaliiki, mis reageerib ainult fotoresistiga. Nii et me saame fotoresisti ära kerida ilma, et seda allpool olevat metalli kahjustada. See on väga oluline, sest kõigi kõve osade peab protsessi jooksul säilitama oma terviklikkuse.

Plasmatehnoloogia fotoresisti eemaldamiseks

Minder-Hightech kasutab uue generaatsiooni plasmatehnoloogiat oma kõvete fotoresisti eemaldamiseks. See võimaldab meil toota vigasteta semikonduktorid, mis on kõrge kvaliteediga.

Kiired, sobitavad teie vajadustele. Meie süsteemid on disainitud nii, et need integreeruvad seemmuste teie töövooga. See tähendab, et me suudame fotoresisti kiiresti eemaldada. Ja kuna me oleme nii kiired, rahuldame täielikult klientide nõudeid, tootega parimel ajal.

Aga meie plasma süsteemid on ka väga täpsed, lisaks oma tõhususele. Selle täpsuse tulemusena saame me eemaldada ainult fotoressistit ise. Meie tehnoloogia takistab kõiki muud käärimikku puudutamast protsessis ja seda me ei tohi ka teha. See meetodiline praktika muutub üha olulisemaks semikonduktorite kvaliteedi jaoks, mida me välja tootame.

Semikonduktoritel fotoressisti eemaldamine plasmaga

Seega, lühidalt öeldes, on plasma superjõud, mis võimaldab meil tõrkuva materjalivärke ära puhastada kivepindal väga efektiivselt. Minder-Hightech rakendab viimast ja parimat plasma tehnoloogiat nullpuutusega kvaliteediga semikonduktorite tootmiseks. Plasma süsteemide osas valmistame lahendusi, mis tasakaalu hoidavad kiiruse ja täpsuse vahel, jätkates samal ajal olema väga effektiivsed. See tähendab võimekust rahuldada klientide nõudeid ning kvaliteetsete toodete andmist ilma vigadeta. See aitab parandada semikonduktorite protsessi, mida me kasutame. plasma eemaldamine tehnoloogia, mis teeb meie semikonduktorid parimateks kõigis elektroonikaseadmetes, et need oleksid usaldusväärsed seadmed.