Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd.

avaleht
Meist
MH Equipment
LAHENDUS
Välismaelased kasutajad
video
Kontakt
Kodu> Plaadide koorustaja
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP
  • Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP

Kõrge täpsusega keemilis-mehaaniline plaanimisprotsess CMP

Toote kirjeldus

Kõrge täpsus Keemiline mehaaniline tasandamine (CMP) seadistus

Täpne CMP seade saavutab effektiivse üleliigsete materjalide eemaldamise plaadipinnadelt ja globaalse nanomitteline tasandamine keemilise korroosiooni ja mehaanilise riivimise koostöös.
Mitmekülgne keemiline poliirmasin, mis on spetsiaalselt disainitud CMP ja kaatepoliirimise rakendusteks, mis nõuavad rangelt geometrilist täpsust ja pindlaadet, võib saavutada alamnanomeetrilise Ra taseme.
See seade suudab teostada täpset nanomeetrite taseme lihvimist eraldi mooldidest ning ka lihvimist tipedest, mille läbimõõdud on kuni 8 tolli. Lisaks seda võib kasutada ka mitte-traditsioonilistes lihvimisrakendustes, nagu raskete aluse lihvimine, Epi pinnategevus ja kiipide taasesindamine.
Et sobitada CDP seriaalse masina erinevate materjalide ja protsessinõuetele, kohandavad tehnikud ja disainivad vastavalt kasutaja tehnilistele nõuetele lihvimisshabeoneid, mis täpselt rahuldavad CMP protsessinõudeid. Vasakul pool olev pilt näitab ulatust üheks waferiks, mille läbimõõt on 8 tolli.
Et tagada tõeline waferite või seadmete lihvimise täpsus CDP masinadel, oleme arendanud EPD süsteemi, mille kohandatud CDP skannigrafikaprogramm töötab laptopidel. See programmi jälgib ja joonistab graafiliselt lihvimisprotsessi ning lõpetab automaatselt, kui lõpppunkt on saavutatud.
Vältida ülelihmistamist. CDP skannimine võib ka teenida turvafunktsioonina. Kui tuvastatakse mingi jälgitava protsessiparameetri muutus, käivitab CDP Scan helisignaali, mis aitab vältida ülelihmistamist. Näidendeid sellest on näiteks kiiruse muutmine eelmääratletud väärtusest. EPD süsteem märkab seda olukorda, kuna lihustamismaterjalide ja padi vaheline ribastumisniveau muutub kiiruse muutmise tõttu, mis võib olla ohtlik waferi/C plaanariseerimise edukusele. Sel hetkel käivitab EPD süsteem helisignaali enne, kui eemaldada fikseerimisvahendid padi pinnalt, või seda saab seadistada automaatseks välja lülitamiseks.
ACP süsteemi saab paremini kasutada laias laiuses rakendustes, ja diagramm näitab CMP protsessi testitulemusi silikoonoksiidi, kuprises, silikooninitriidi, aluminiumpuhveri, siiliumigeermantsi ja wolframi puhul.
Diagramm näitab, et CMP protsessi pärast saab WTWNU jõuda 2,82%.
RAKENDUS
Silikoonwaferi plaanariseerimine
II-V liitmete plaanariseerimine
Oksidi plaanariseerimine
Infrapuna materjali alusplaatide tasandamine
Saapperi, gallium nitrati ja siloonkarbdiid alusplaatide plaanariseerimine, EPI alusplaatide plaanariseerimine
SOS ja SOI kettade äärinemõõgumine alla 20 miikroni
Hierarhilise pöördeprojekteerimise või FA rakenduste jaoks
Spetsifikatsioon
Elektritoitus
220v 10A
Waferi suurus
4”/100mm
6”/150mm
8”/200mm
12”/300mm
Töötava kettetelje diameeter
520mm, 780mm
Töötava kettetelje kiirus
0-120vmin
Fikseerija kiirus
0-120vmin
Fikseerija Swing sagedus
0-30spm
Waferi tagurpindu surve
0-150psi
Surve waferi keskpunktis
0-50psi
Ajastatud aeg
0-10 h
Toitumiskanal
≥2
Toimetamise kiirus
0-150ml/min
Pakendamine ja kohaletoimetamine
Ettevõtte profiil
Minder-Hightech on müüja ja teenuse esindaja semikonduktori- ja elektronikatootmise seadmete valdkonnas. Alates 2014. aastast on ettevõte pühendunud klientidele suuremate, usaldusväärsete ja ühekordsed lahendused masiniseadmete jaoks pakuma.
KKK
1. Hindade kohta:
Meie kõik hinnad on konkurentsivõimas ja läbipaistvad. Hind sõltub seadme konfiguratsiooni ja kohandamise keerukusest.

2. Mustrite kohta:
Võime pakkuda teil näidisetooteid, kuid te peate maksuma mõned tasud.

3. Makse kohta:
Kava kinnitamisel peate meile esmalt maksumaksandama, ning tehas hakkab varude ettevalmistamisega. Kui seade on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.
seadme on valmis ja te olete tasunud jäägi, saadame selle.

4. Toimetamine kohta:
Seadmete tootmise lõpetamise järel saadame teile vastuvõtuvideo, samuti võite te seda vajadusel kontrollida kohtadel.

5. Installimine ja silumine:
Kui seade on teie tööstuses, saadame meie insenerid selle installimiseks ja silumiseks. Selle eest pakume eraldi hindamist.

6. Tagasi kinnitusest:
Meie seadmed on tagatud 12 kuud. Tagakaitse perioodi möödudes, kui mingi osa on katki ja tuleb asendada, tehakse selle eest ainult materjalihind.

Päring

Päring Email Whatsapp Top
×

Oleme ühenduses