Waferi suurus
|
4”~ 8” plaadilaua
|
Plaadilaua paksus
|
100~750 miikroneid
|
Plaadilaua tüüp
|
Si, SiC, GaN või muud materjalid
|
Filmi tüüp
|
Sinine film, UV-film
Laius: 230 ~ 300 mm Pikkus: 100 m Paksus: 0.05 ~ 0.2 mm |
Külgketta ring
|
6”, 8” DISCO
|
Laadimise ja unladeerimise meetod
|
Käsitsi külgketta ja ringi paigutamine ja eemaldamine
|
Filmi paigutus täpsus
|
±0.5mm
Tavalised 6” ja 8” kambad 6” ja 8” kambade jaoks |
Vaakumpump
|
Minder-Hightech
|
Elektrostatilise kontrolli funktsioon
|
Dejonisatsioonituuleja
|
Juhtimisüksus
|
PLC-kontrolliga, koos 10” puuvälimisnäitaajaga
|
Turvatõrje
|
Valgestikukaitse ja hädapeatusnupuga varustatud
|
Toiteallika pinge
|
Ühefäässeline AC 220V, 16A
|
Süüteained
|
0,45~0,6MPa, vooluhulk 70L/min
|
Seadme korpuse
|
Valge plastmalingutega metallkorpuse
|
Maht
|
850mm (laius)*1750mm (sügavus)*1970mm (kõrgus)
|
NETO Kaal
|
480kg
|
Copyright © Guangzhou Minder-Hightech Co.,Ltd. All Rights Reserved