Joondusmasina fotolitograafia, Hiina Joondusmasina fotolitograafia Tootjad, tarnijad, tehas

Tooted Kirjeldus

Maski joondaja litograafiamasin

Mask Alignerit kasutatakse peamiselt väikese ja keskmise suurusega integraallülituste, pooljuhtkomponentide, optoelektrooniliste seadmete, pinnaakustiliste laineseadmete, õhukese kile vooluringide ja jõuelektroonikaseadmete väljatöötamiseks ja tootmiseks.
Mask Aligner Tuntud ka kui: maski joondamise säritusmasin, säritussüsteem, litograafiasüsteem jne, on kiipide valmistamise põhivarustus. See kasutab fotode printimisega sarnast tehnoloogiat, et trükkida maski peened mustrid räniplaadile valguse särituse abil
Peamiselt koosneb: ülitäpne joondustöölaud, binokulaarselt eraldatud vaatevälja vertikaalmikroskoop, binokulaarselt eraldatud vaatevälja horisontaalmikroskoop, digitaalkaamera, arvuti kujutise mälusüsteem, mitmepunktiline valgusallika (kärbsesilma) särituspea, PLC juhtimissüsteem, pneumaatiline süsteem, vaakumsüsteem, otseühendusega vaakumpump, sekundaarne vibratsioonivastane töölaud ja tarvikute kast

Joondus- / joondusmasina fotolitograafia tootmine

Iseloomulik

1. Kõrge ühtlusega lend-silma kokkupuute pea / õhu flotatsiooni nivelleerimismehhanism / usaldusväärne vaakumklambriga kokkupuude. kõrgresolutsiooniga.
2. Maski abil joondusmeetod hoiab stabiilsena ja substraadi söötmine, mis tagab juhtraskuse ja jõu järjepidevuse.
3. Kasutades lünkadeta sirget juhikut, suure täpsusega, kiire kiirusega.
4. Kõik mudelid, mis sobivad kasutamiseks kõigi standardsete fotoresistidega. nagu AZ, Shipley, SU 8.
5. Kõik mudelid Süsteemi poolt substraadile 5 maskirakendusele edastatava mustri kvaliteet peaks olema sama, mis mustri kvaliteet pärast esimese maski pealekandmist.
6. Säriaeg on reguleeritav vahemikus 1 sekund kuni 1 tund. Joondamise täpsus 1 µm

Joondus-/joondusmasina fotolitograafia tarnija

Joondus-/joondusmasina fotolitograafia üksikasjad

spetsifikatsioon

MUDEL	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Kokkupuute tüüp	Üks külg			Kahepoolne joondus ja kahepoolne säritus
Särituse režiim	Kontakt kõva, pehme ja kontaktivaba lähedus
Särituspea kogus	1 Särituspea			2 Särituspea
Valgusallika tüüp	GCQ350 sfääriline elavhõbedalamp						LED UV-kiirgusega pea
Jahutusmeetod	Õhu jahutamine
Kokkupuuteala	Φ100mm	110 × 110mm	Φ100mm		150mm × 150mm
Särituse režiim	Ühildub kontaktiga kõva, pehme
Särituse ebatasasused	Φ100mm<±3%<>	≤ ± 3%
Särituse eraldusvõime	2μm	1 μm
Kiire intensiivsus (365 nm)	≥6 mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0–30 mw/cm2
Tala ebahomogeensus	≤ ± 4%	≤ ± 3%
UV-valguse maksimaalne kõrvalekalde nurk	4 °	3 °
Valgustuse ulatus	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Esi- ja tagakülg ≥ Φ115mm
Kiilu vea kompenseerimise režiim	Poolkerakujuline automaatne kompensatsioon			Automaatne kõrvaldamine		3 punkti automaatne kompensatsioon
X- ja Y-telje käik	± 4mm	± 5mm	± 4mm		± 5 mm
θ teekond	3 ° ±	≤5 °	≤±5º		≤0.5 °
XYZ substraadi nihke eraldusvõime	0.5µm	0.3µm	0.3µm		0.01µm
Mikroskoobi süsteem	Kaks ühe silindriga mikroskoopi / kaks CCD-kaamerat
Kuva suurus	15 tolli
Pildisüsteemi eraldusvõime	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Mask ja substraadi mõõtmiskaugus	0.5 μm	0.3 μm
CCD sihtpinna diagonaalmõõde	1/3, (6 mm)						40 mm - 110 mm
Tabeli suuruse määramine	≤ Ruut 5 * 5 tolli (kohandatavad spetsifikatsioonid)
Substraatide suurus	Φ 100 mm või 100 * 100 mm ruut	60 * 49.5 mm ruut	2 "-4"		1"x1"–5"x5"
Substraadi paksus	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vaakumpump	Õlivaba vaigistus (-0.07～-0.08MPα）
Puhas suruõhk	≥0.4 MPα
Laboratooriumi toiteallikas	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Puhta ruumi klass	Klass 100
Puhas toatemperatuur	25 ℃ ± 2 ℃
Puhta ruumi suhteline õhuniiskus	≤60%
Puhta ruumi vibratsiooni amplituud	≤4μm
Seadme suurus	1300 × 720 × 1600mm				1500 × 800 × 1600mm
Seadme kaal	200kg				280kg

Suure täpsusega joondussüsteemi tootmisel peab olema peaaegu täiuslik täppismehaaniline protsess. Teine joondussüsteemi tehniline probleem on joondusmikroskoop. Mikroskoobi vaatevälja parandamiseks kasutavad paljud tipptasemel litograafiamasinad LED-valgustust. Fookusfunktsiooniga joondussüsteeme on kaks komplekti. See koosneb peamiselt kahest silmast ja kahest vaateväljast, mis on suunatud mikroskoobi põhikorpusele, ühest paarist okulaarist ja ühest paarist objektiivläätsedest (litograafiamasin pakub kasutajatele tavaliselt erineva suurendusega okulaari ja objektiivi). CCD joondussüsteemi ülesanne on suurendada maski ja proovi joondusmärke ning kuvada need monitorile.

Töödetail on litograafiamasina põhiosa, mis koosneb maski näidise üldisest liikumise etapist (XY), maski proovi suhtelise liikumise etapist (XY), pöörlemisetapist, proovi nivelleerimismehhanismist, proovi teravustamise mehhanismist. , vahvli staadium, maski klamber ja väljatõmmatava maski etapp. Proovide tasandusmehhanism koosneb kuulist ja poolkerast. Tasandusprotsessis juhitakse esiteks surveõhk pallipesale ja poolkerale ning seejärel liiguvad kuulipesa, poolkera ja proovitükk läbi fokuseeriva käsiratta ülespoole, nii et proovitükki saab vastu maski tasandada ja seejärel. kahe asendiga kolmekäiguline solenoidventiil lülitab pallipesa ja poolkera lukustamiseks vaakumiks, et säilitada tasandusseisund.

Minder-Hightech toob teieni täiustatud tehnoloogia fotolitograafiaks joondus-/joondusmasina kaudu.

Kas teil on probleeme ebapiisava täpsusega, kui prindite oma elektroonikaseadmetele vooluahelaid? Minder-Hightechi joondus-/joondusmasinaga saate puhata teadmisega, et saavutate oma trükkskeemide tootmisel kõrge täpsuse.

Selle revolutsioonilise esemega saate kõrge eraldusvõimega kujutise fotolitograafia abil sujuvalt tootele üle kanda. See masin tagab täpsuse materjali kujutisega joondamise operatsioonisüsteemi kaudu.

Pärast piltide printimist ja üleslaadimist arvutab masin välja vajaliku särituse ja selle, kuidas materjal on joondatud piltide mainimisega. See arvutus on tehtud uusima arvutitarkvara abil, mida saab tootmistööstuse tehnoloogilise arenguga vastavusse viia.

See võimaldab teil luua laias valikus, sealhulgas mikroskeeme, raadiosageduslikke (RF) ahelaid ja sisseehitatud vooluahelaid. Seade suudab saavutada parima söövitussügavuse, rööpme laiuse ja kihtidevahelise joonduse, lisades erinevaid täiendavaid protseduure, nagu keemiline söövitus ja galvaniseerimine.

Meie toote eelis seisneb selle võimes toota kõrget joondust, mis tagab mustrite suure täpsuse asetsemise materjalil. Saate mugavalt printida palju keerulisi kujundusi ilma deformatsioonideta.

See on kasutajasõbralik, kompaktne ja tõhus, mistõttu sobib see erinevatele tootmisrajatistele või ettevõtte suurusele. Lisaks on meie seadmega kaasas käsitsi hooldamine ja kohapealne koolitus meie tehnilise toe meeskonnaga.

Minder-Hightechi joondus-/joondamismasin kasutab fotolitograafiatehnoloogiat, mis aitab teil vooluringide printimisel saavutada parimaid tulemusi. Kogege uuel tasemel tehnoloogiat, mis pakub teile suurt täpsust ja täpsust, mida traditsioonilised printimismeetodid ei suuda võrrelda. Minder-Hightechi joondus-/joondamismasin on see, mida teie tootmisettevõte vajab, et olla konkurentidest sammu võrra ees. Võtke meiega ühendust juba täna, et nautida turu parima joondusmasina tehnoloogia eeliseid.

Kodu

Meist

MH seadmed

Lahendus

Ülemere kasutajad

Video

Võta meiega ühendust

Joondus-/joondusmasina fotolitograafia

rohkem tooteid

MD-FS seeria kondensaatorimähismasin

MD-FDS-seeria automaatne kondensaatorite kerimismasin

MD-EFS seeria kondensaatorimähismasin

MD-EDFS-seeria kilekondensaatorite kerimismasin

Küsitlus

Artiklid

Toodet

VÕTA ÜHENDUST