Joonistamismasina joonistusalingeering , China Joonistamismasina joonistusalingeering Manufacturers, Suppliers, Factory

Toodete kirjeldus

Maski joonestaja liitograafiamasina

Maski joonestaja kasutatakse peamiselt väikese ja keskmise integreeritud ringkondade, semantriku komponendi, optoelektronilise seadme, pindliku laine seadme, tippfilmide ringkondade ja võimsuse elektronikaseadmete arendamiseks ja tootmiseks
Maski joondur, mida teadmistakse ka kui: maski joondus-eksposuurikese masina, eksposuursüsteem, lithograafiasüsteem jne, on tuumaseadmeks kraadi tootmiseks. See kasutab teknoloogiat, mis on sarnane fotoprintimisega, et prindida maskil olevaid detaile valguseks eksponerides silikoomullile.
Põhjalikult koosneb see järgmistest: tarkustatud joondustöölaud, kahe silma eraldatud nähtavusväljaga vertikaalne mikroskoop, kahe silma eraldatud nähtavusväljaga horisontaalne mikroskoop, digitaalkaamera, arvutipõhine pildipuhastussüsteem, mitmepunktne valgusallikas (flue eye) eksposuuri pea, PLC juhtimissüsteem, pneumatiline süsteem, vakuumisüsteem, otseühendatud vakuumipump, teine värineteenindava töölaud ja lisakast.

Aligner /Alignment Machine photolithography manufacture

Aligner /Alignment Machine photolithography factory

Iseloomulik

1. Kõrge ühtsus flue eye eksposuuri peaga / õhususpensiooniga tasemejoondusmehhanismiga / usaldusväärne vakuumikleimidus ning eksposuuring. Kõrge resolutsioon.
2. Joondamismeetod maskiga tagab stabiilsuse ja aluse toimetamise, mis võimaldab jõudluse ja jõu ühtlustamist.
3. Väga täpsed ja kiired liiguvad juhised kasutatakse.
4. Kõik mudelid sobivad töötamiseks kõigi standardse fotoresistiga, nagu AZ, Shipley, SU 8.
5. Kõigi mudelite puhul peaks süsteemi poolt aluslehele üleandmise joonestuse kvaliteet viie maske rakendamise korral olema sama hea kui esimese masina rakendamise pärast saadud joonestuse kvaliteet.
6. Ekspoge aeg on muutuv vahemikus 1 sekund kuni 1 tund. Joondamiskummalus 1 µm

Aligner /Alignment Machine photolithography supplier

Aligner /Alignment Machine photolithography details

Spetsifikatsioon

Mudel	MD-G25A	MD-G25D	MD-G31		MD-G33
Ekspoge tüüp	Üks küljeline			Kaheküljeline joondamine ja kaheküljeline ekspoge
Ekspoodirežiim	Kontaktne pind, peenmine ja mittekontaktne lähedus
Ekspoodipeadi kogus	1 ekspoodipea			2 ekspoodipead
Valgusallika tüüp	GCQ350 kuulveelamp						LED UV ekspoodipea
Eraldamismeetod	Õhkjahutus
Ekspoodiala	Φ100mm	110×110mm	Φ100mm		150mm×150mm
Ekspoodirežiim	Kasutatav kontaktiga kerge, pehme
Ekspoodi mitmekesisus	Φ100mm<±3%<>	≤±3%
Ekspoodi resolutsioon	2μm	1 μm
Süvaujend intensiivsus (365 nm)	≥6mw/cm²	≤40mw/cm2	≥5mw/cm2		0～30mw/cm2
Sageduse mitmekesisus	≤±4%	≤±3%
UV-konna maksimaalne hälve nurga	4°	3°
Tuled	≤Φ117mm	Φ117mm	≤Φ117mm		Ees ja tagant ≥ Φ115mm
Kaldkujuline viga kompensatsiooni režiim	Puusugune automaatne kompensatsioon			Automaatne eemaldamine		3-punktne automaatne kompensatsioon
X- ja Y- telgede liikumispiirkond	±4mm	±5mm	±4mm		±5 mm
θ liikumispiirkond	±3°	≤5°	≤±5º		≤0,5°
XYZ alusliikumise resolutsioon	0,5µm	0,3µm	0,3µm		0,01µm
Mikroskoopisüsteem	Kaks üheksilist mikroskoopi /\: Kaks CCD kaamera
Näitaja suurus	15 tolli
Pildistamissüsteemi resolutsioon	2µm	1.5µm	1.5µm		1.5µm
Kaaslase ja alusplaatide mõõtkaugus	0.5 µm	0.3 µm
CCD sihtpindade diagonaalmõõt	1/3,（6mm）						40mm～110mm
Seadistustööla tähis	≤ Ruut 5*5 tolli (Kohandatavad spetsifikatsioonid)
Alusplaatide suurus	Φ 100mm või 100*100mm ruut	60*49.5mm ruut	2”-4”		1"x1"-5"x5"
Aluse paksus	1-3mm	≤5 mm	1-3mm		≤5 mm
Vaakumpump	Öli- ja hõimutu (-0,07～－0,08MPα)
Puhast kompresseeritud õhu	≥0,4MPα
Elektritoitus	AC 220V±10% 50HZ 1.5KW
Puhastuba klass	Klass 100
Puhastuba temperatuur	25℃±2℃
Puhastuba suhteline õhunemiskutus	≤60%
Puhastuba vibratsiooniamplituud	≤4μm
Seadmet suurus	1300 ×720×1600mm				1500 ×800×1600mm
Seadme kaal	200 kg				280KG

Tehinguprotsessi täpse joondussüsteemi jaoks on vaja peaaegu täpsust täitva mehaanilist protsessi. Joondussüsteemi tehniline probleem on joondusmikroskoop. Mikroskoobi nägemispiiri suurendamiseks kasutavad paljud kõrge tasete litograafilistes masinades LED-valgustust. On olemas kaks fookusefunktsiooniga joondussüsteemi. See koosneb peamiselt kahest silmast ja kahest nägemispiirist, mis on suunatud mikroskoobi kehale, üks paar nägemisobjekti ja üks paar objektiivlinsi (litograafiline masin pakub kasutajatele tavaliselt erinevate suurustega nägemisobjekte ja objektiive). CCD-joondussüsteemi funktsioon on suurendada maski ja proovi joondusmärke ning neid ekraanile kuvada.

Tööklubi on liitumismasinates oluline osa, mis koosneb maske ja näite kogu liikumise klubist (XY), maske ja näite suhtelisest liikumise klubist (XY), pöördeklubist, näite tasandamismeetodist, näite fookuseerimismeetodist, waferi klubist, maske hoidjast ja maske väljavõtmise klubist. Näite tasandamismeetod koosneb pallikohtadest ja poolkera kohtadest. Tasandamisprotsessis kasutatakse esmalt pallikohta ja poolkera kohta voodi õhku, seejärel liiguvad pallikoht, poolkera koht ja näiteks üles fookuseerimise käe kaudu, nii et näiteks võib olla tasakaalus maske vastu, ja siis lülitab kolme tee kolmekohaline elektromagnetiline vooltase pallikohta ja poolkera kohta vakuumiks lukustamiseks, et säilitada tasakaalu olek.

Minder-Hightech toob sulle edasipääsmise tehnoloogia fotoliitograafia jaoks läbi Aligneri/Aligneerimise masina.

Kas sul on raskusi piisava täpsusega, prindides sirgeid oma elektroonilistele toodetele? Minder-Hightech'i Aligner/Alignment Machine'iga saad olla kindel, et su prinditud sirgete tootmisel saavutatakse kõrge täpsus.

Selle revolutsioonilise seadmega saate mugavalt üle viia kõrgheliituseline pilt tootele fotoliitograafia abil. See masin tagab täpsuse materjalipildi joondamise operaatsioonisüsteemiga.

Pärast piltide prindimist ja üleslaadimist arvutab masin välja, kui palju eksponeerimist vajalik on ning kuidas materjal on joondatud piltidega. See arvutus teostatakse kasutades uusimat arvuti tarkvara, mida saab uuendada, et hoida kiirustega tootmissektori tehnoloogilise arenguga.

See võimaldab teil teha laia valikut, sealhulgas mikrotsükliseid, radifrekventsseid (RF) tsükleid ja sisseehitatud tsükleid. Selle ühikuga saab saavutada parim etch sügavus, joonelaius ja kihtide vaheline joondus täiendava meetodite, nagu keemiline etching ja elektroplaatimine, lisandmisel.

Meie toote eelis seisneb selle suutlikkuses toota kõrge joondusega, mis tagab, et mustrid asetatakse materjalile suure täpsusega. Saate mugavalt trükkida mitmeid keerukaid disainisid ilma muutuste tekkimata.

See on kasutajaliigene, kompaktne ja tõhus, mis teeb selle sobivaks erinevate tootmisasutuste või ettevõtte suuruse korral. Lisaks pakub meie seade käejuhise hoolduse ja kohtaliku treeningu meie tehnikatugi tiimi liikmetega.

Minder-Hightech'i Aligner/Alignment Machine kasutab fotoliitograafia tehnoloogiat, et aidata teil saavutada parimad tulemused oma sirgite printimisel. Kogenge uut tasandit tehnoloogias, mis pakub teile kõrget täpsust ja preciisust, mida traditsioonilised printimismeetodid ei suuda kaasaegsete lahenduste juures konkureerida. Minder-Hightech'i Aligner/Alignment Machine on see, mida teie tootjaettevõte vajab, et jääda võistkonna ees. Võtke meiega ühendust täna, et nautida parimate Aligner/Alignment Machine tehnoloogiate eeliseid turul.

avaleht

Meist

MH Equipment

LAHENDUS

Välismaelased kasutajad

video

Kontakt

Joonistamismasina joonistusalingeering

Rohkem tooteid

MD-FS Sarja kondensaatorite rullimasin

MD-FDS Sarja automaatne kondensaatorite rullimasin

MD-EFS Sarja kondensaatorite rullimasin

MD-EDFS Sarja filmikondensaatorite rullimasin

Päring

Articles

Products

Get In Touch