ASKING DESCUM fotoresisti eemaldamine ICP kuivplasma fotoresisti eemaldamise masin , Hiina ASKING DESCUM fotoresisti eemaldamine ICP kuivplasma fotoresisti eemaldamise masinate tootjad, tarnijad, tehas

Tootekirjeldus

ICP kuivplasma fotoresisti eemaldamise masin

ICP kuiva plasma fotoresisti eemaldamise masinat kasutatakse peamiselt polümeeride eemaldamiseks, ASHING, DESCUM, fotoresisti eemaldamiseks pärast ioonide implanteerimist ja pinnajääkide eemaldamiseks. Õõnsus sobib 4-8 tolli proovide jaoks, 1-2 tükki töödeldakse ühe protsessiga.

TUHASTAMINE
Polümeeri eemaldamine
Kõva maskikihi kuiv eemaldamine
Fotoresistentsuse eemaldamine pärast ioonide implanteerimist
Fotoresistentsuse eemaldamine BAW/SAW protsessis
Peegeldusvastase graafilise kilekihi keemiline puhastus
Pinna jääkide eemaldamine
Pinna puhastamine pärast söövitamist
DESCUM

ASKING DESCUM fotoresisti eemaldamise ICP Dry Plasma Photoresisti eemaldamise masina üksikasjad

ASKING DESCUM fotoresisti eemaldamise ICP kuivplasma fotoresisti eemaldamise masina tehas

spetsifikatsioon

PLASMA			RF	RF
võim	ICP	1000w	1000w
võim		EELARVAMUS	600w (valikuline)	600w (valikuline)
Kohaldatav kohaldamisala			4~8寸	4~8寸
Ühe töötlemise viilude arv			1	2
Välimuse mõõtmed			1080x1840x1800mm	1340x2050x1800mm
Süsteemi juhtimine			Tööstuslik juhtimissüsteem	Tööstuslik juhtimissüsteem
Automatiseerimise tase			automaatne	automaatne